L'effetto dei parametri di anodizzazione sullo strato didielettrico dell'ossido di alluminio dei transistor a film sottile

I parametri di anodizzazione per la crescita dello strato dielettrico di ossido di alluminio dei transistor a film sottile di ossido di zinco (TCT) sono diversi per determinare gli effetti sulle risposte dei parametri elettrici. L'analisi della varianza (ANOVA) viene applicata a una progettazione Plackett-Burman di esperimenti (DOE) per determinare le condizioni di produzione che determinano prestazioni ottimizzate del dispositivo.