Fabbricazione di dispositivi a onde acustiche superficiali su Liithium Niobate

Due tecniche di fabbricazione, il decollo e l'incisione a umido, sono descritte nella produzione di trasduttori di elettrodi interdigitali su un substrato piezoelettrico, il litio niobate, ampiamente usato per generare onde acustiche superficiali che ora trovano un'ampia utilità nei fluidici micro-nanoscala. Gli elettrodi prodotti sono mostrati per indurre in modo efficiente onde acustiche della superficie di Rayleigh ordine megahertz.