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シリコン平面皮質内微小電極の表面処理用ツール

DOI :

10.3791/63500-v

June 8th, 2022

June 8th, 2022

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1Department of Biomedical Engineering, Case Western Reserve University, 2Advanced Platform Technology Center, Rehabilitation Research and Development, Louis Stokes Cleveland Department of Veterans Affairs Medical Center, 3Department of Bioengineering, The University of Texas at Dallas

本プロトコルは、ガス堆積および水溶液反応 による 表面改質のための処理中にシリコン平面皮質内微小電極を処理するためのツールを記述する。手順全体を通してデバイスを処理するために使用されるコンポーネントのアセンブリが詳細に説明されています。

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