Name: modeling and experimental analysis of the single-shaft coaxial motor-pump assembly in electrohydrostatic actuators
Uploaded: 2022-06-13T14:00:00
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Este trabajo fue apoyado por el Proyecto de Aeronaves Civiles Chinas [No. MJ-2017-S49] y la Fundación de Ciencias Postdoctorales de China [No.2021M700331].

1. Simulación de las características del caudal de la bomba
<ol><li>Construir el modelo de simulación del conjunto motor-bomba. Abra la plataforma de simulación AMESim y entre en el modo SKETCH .<ol><li>Construir el modelo de simulación para un solo pistón de acuerdo con el modelo matemático cinemático y la curva de distribución (Figura 3). Encapsule el modelo de un solo pistón como un supercomponente (Figura...

<ol>
	<li>Yu, B., Wu, S., Jiao, Z., Shang, Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Multi-objective+optimization+design+of+an+electrohydrostatic+actuator+based+on+a+particle+swarm+optimization+algorithm+and+an+analytic+hierarchy+process.">Multi-objective optimization design of an electrohydrostatic actuator based on a particle swarm optimization algorithm and an analytic hierarchy process.</a> Energies. 11 (9), 2426 (2018).</li><li>Chao, Q., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Load-sensing+pump+design+to+reduce+heat+generation+of+electro-hydrostatic+actuator+systems.">Load-sensing pump design to reduce heat generation of electro-hydrostatic actuator systems.</a> Energies. 11 (9), 2266 (2018).</li><li>Zhao, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Experimental+research+on+tribological+characteristics+of+TiAlN+coated+valve+plate+in+electro-hydrostatic+actuator+pumps.">Experimental research on tribological characteristics of TiAlN coated valve plate in electro-hydrostatic actuator pumps.</a> Tribology International. 155, 106782 (2021).</li><li>Zhao, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Review+of+cylinder+block/valve+plate+interface+in+axial+piston+pumps:+Theoretical+models,+experimental+investigations,+and+optimal+design.">Review of cylinder block/valve plate interface in axial piston pumps: Theoretical models, experimental investigations, and optimal design.</a> Chinese Journal of Aeronautics. 34 (1), 111-134 (2021).</li><li>Chao, Q., Zhang, J., Xu, B., Huang, H., Pan, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+review+of+high-speed+electro-hydrostatic+actuator+pumps+in+aerospace+applications:+challenges+and+solutions.">A review of high-speed electro-hydrostatic actuator pumps in aerospace applications: challenges and solutions.</a> Journal of Mechanical Design. 141 (5), 050801 (2019).</li><li>Fu, Y., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Design+and+performance+analysis+of+position-based+impedance+control+for+an+electrohydrostatic+actuation+system.">Design and performance analysis of position-based impedance control for an electrohydrostatic actuation system.</a> Chinese Journal of Aeronautics. 31 (3), 584-596 (2018).</li><li>Alle, N., Hiremath, S. S., Makaram, S., Subramaniam, K., Talukdar, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Review+on+electro+hydrostatic+actuator+for+flight+control.">Review on electro hydrostatic actuator for flight control.</a> International Journal of Fluid Power. 17 (2), 125-145 (2016).</li><li>Chakraborty, I., Mavris, D. N., Emeneth, M., Schneegans, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+methodology+for+vehicle+and+mission+level+comparison+of+More+Electric+Aircraft+subsystem+solutions:+Application+to+the+flight+control+actuation+system.">A methodology for vehicle and mission level comparison of More Electric Aircraft subsystem solutions: Application to the flight control actuation system.</a> Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part G: Journal of Aerospace Engineering. 229 (6), 1088-1102 (2014).</li><li>Zhang, T., He, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=A+reliability-based+robust+design+method+for+the+sealing+of+slipper-swash+plate+friction+pair+in+hydraulic+piston+pump.">A reliability-based robust design method for the sealing of slipper-swash plate friction pair in hydraulic piston pump.</a> IEEE Transactions on Reliability. 67 (2), 459-469 (2018).</li><li>Guo, S., Chen, J., Lu, Y., Wang, Y., Dong, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Hydraulic+piston+pump+in+civil+aircraft:+current+status,+future+directions+and+critical+technologies.">Hydraulic piston pump in civil aircraft: current status, future directions and critical technologies.</a> Chinese Journal of Aeronautics. 33 (1), 16-30 (2020).</li><li>Habibi, S., Goldenberg, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Design+of+a+new+high-performance+electrohydraulic+actuator.">Design of a new high-performance electrohydraulic actuator.</a> IEEE/ASME Transactions on Mechatronics. 5 (2), 158-164 (1999).</li><li>Xu, B., Hu, M., Zhang, J., Mao, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Distribution+characteristics+and+impact+on+pump's+efficiency+of+hydro-mechanical+losses+of+axial+piston+pump+over+wide+operating+ranges.">Distribution characteristics and impact on pump's efficiency of hydro-mechanical losses of axial piston pump over wide operating ranges.</a> Journal of Central South University. 24 (3), 609-624 (2017).</li></ol>

Al realizar estos pasos experimentales, es importante asegurarse de que los puntos de medición de presión estén lo suficientemente cerca del puerto de aceite de la bomba, lo que influiría en gran medida en los resultados experimentales. Además, preste atención a la presión del puerto de entrada del conjunto motor-bomba para asegurarse de que no exista cavitación, especialmente en condiciones de trabajo de alta velocidad.
Este método permite un ajuste dinámico de la presión de sumini...

Conocido como un actuador típicamente integrado con alta densidad de potencia, el EHA tiene amplias perspectivas en áreas como la aeroespacial, la aviación, la maquinaria de construcción y la robótica 1,2. El EHA consiste principalmente en un servomotor, bomba, cilindro, depósito presurizado, bloque de válvulas, válvulas de control de modo, válvulas de control de módulo y sensores, que constituyen un sistema hidráulico cerrado, altamente integrado, controlado por bomba. El diagrama esquemático y el modelo físico se muestran en la figura 1 3,4,5,6,7. El conjunto motor-bomba es la potencia central y el componente de control, y determina el rendimiento estático y dinámico de la EHA7.
El conjunto motobomba convencional consiste en un motor y una bomba separados, cuyos ejes están conectados por un acoplamiento de eje8. Esta estructura tiene efectos negativos significativos en el rendimiento y la vida útil de la EHA. Primero, tanto el motor como la bomba soportarán una vibración relativamente grande debido a la precisión de ensamblaje, especialmente a alta velocidad5. La vibración no solo afectará las características de salida de la bomba, sino que también acelerará el desgaste de las interfaces de fricción en la bomba, lo que provocará la falla del conjunto motor-bomba9. En segundo lugar, los sellados deben colocarse en los extremos del eje de la bomba, lo que no puede evitar fundamentalmente las fugas. Mientras tanto, la eficiencia mecánica del conjunto motor-bomba disminuye con el aumento de la resistencia a la fricción10. En tercer lugar, la inversión frecuente del conjunto motor-bomba acelerará el desgaste del acoplamiento y aumentará la posibilidad de fractura por fatiga, reduciendo la fiabilidad del sistema de la EHA11,12.
Por lo tanto, se desarrolló un conjunto de motobomba coaxial de un solo eje dentro de una carcasa compartida para evitar estas deficiencias. La estructura se muestra en la Figura 2. Se adopta un diseño sin acoplamiento en este componente, que podría aumentar simultáneamente el rendimiento dinámico y el estado de lubricación del motor y la bomba. Este diseño coaxial de un solo eje garantiza la alineación de los dos rotores y mejora el equilibrio dinámico en condiciones de alta velocidad. Además, la carcasa compartida elimina fundamentalmente las fugas en el extremo del eje.
Probar las características de salida del conjunto de motobomba EHA es de gran importancia para la optimización y mejora del rendimiento de EHA. Sin embargo, hay relativamente pocos estudios sobre las pruebas de rendimiento del conjunto motobomba, especialmente para las EHA. Por lo tanto, realizamos un método de prueba de combinación de simulación y experimentos. Este método es adecuado para probar conjuntos de motobombas con una amplia gama de condiciones de funcionamiento, especialmente bombas EHA.
Hay dos desafíos principales: el primero es construir un modelo de simulación preciso para analizar las características del flujo de salida de la motobomba y proporcionar asistencia para el diseño óptimo del conjunto motor-bomba. Hemos establecido un modelo de simulación del conjunto motor-bomba a través de modelos jerárquicos y realizado el análisis de simulación del flujo de salida cambiando diferentes parámetros. El segundo es la cavitación del elemento de prueba causada por la alta velocidad, que es el aspecto más importante que lo distingue de las bombas ordinarias. Por lo tanto, nos centramos más en el diseño del sistema de suministro de aceite al diseñar el sistema de prueba para realizar la prueba en diversas condiciones de trabajo.
En este protocolo, se estableció un modelo de simulación unidimensional para simular inicialmente las características del flujo de la bomba, juzgando si las características del flujo de la bomba cumplen con los requisitos de EHA. Luego, las características del flujo y la eficiencia general se probaron experimentalmente en un banco de pruebas dedicado, obteniendo el mapa de eficiencia general que no se puede simular con precisión mediante simulación. Por último, las características del flujo de la bomba se compararon con los resultados experimentales para verificar la precisión de los resultados de la simulación. Mientras tanto, se obtuvo el mapa de eficiencia general para evaluar el rendimiento del conjunto de motobomba coaxial de un solo eje.

<table border="1" fo:keep-together.within-page="1" fo:keep-with-next.within-page="always">
	<tbody>
		<tr>
			<td>AmeSim simulation platform</td>
			<td>Siemens</td>
			<td>Amesim 16</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>DAQ card</td>
			<td>Advantech</td>
			<td>PCI1710</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Flowmeter</td>
			<td>KRACHT</td>
			<td>VC0.04E1RS, 0.02-4 L/min</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Flowmeter</td>
			<td>KRACHT</td>
			<td>VC0.4E1RS, 0.2-40 L/min</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Industrial Computer</td>
			<td>Advantech</td>
			<td>610H</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Oil supply motor</td>
			<td>Siemens</td>
			<td>1TL0001-1BB23-3JA5</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Oil supply pump</td>
			<td>Kangbaishi</td>
			<td>P222RF01DT</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>OriginPro</td>
			<td>OriginLab Corporation</td>
			<td>OriginPro 2021 (64-bit) 9.8.0.200</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Pressure sensor</td>
			<td>Feejoy</td>
			<td>PI131G(0-5 MPA)F4MCAH5C</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Proportional relief valve</td>
			<td>Huade hydraulic</td>
			<td>DBE10-30B/50YV</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Proportional relief valve</td>
			<td>Huade hydraulic</td>
			<td>DBE10-30B/315YV</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Spindle motor</td>
			<td>HAOZHI</td>
			<td>DGZX-18020 / 22A2-KFHWVJLS</td>
			<td>Max speed: 18,000 rpm;&#160; Power: 22 kW</td>
		</tr>
		<tr>
			<td>Temperature sensor</td>
			<td>Feejoy</td>
			<td>TI-A42M1A180/30+F1</td>
			<td></td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

modeling and experimental analysis of the single-shaft coaxial motor-pump assembly in electrohydrostatic actuators

Un actuador electrohidrostático (EHA) puede ser la alternativa más prometedora en comparación con los servoactuadores hidráulicos tradicionales por su alta densidad de potencia, facilidad de mantenimiento y confiabilidad. Como unidad de potencia central que determina el rendimiento y la vida útil de la EHA, el conjunto motor-bomba debe poseer simultáneamente un amplio rango de velocidad / presión y una alta respuesta dinámica.
Este artículo presenta un método para probar el rendimiento del conjunto motor-bomba a través de la simulación y la experimentación. Las características de salida del flujo se definieron a través de la simulación y el análisis del conjunto al comienzo del experimento, lo que llevó a la conclusión de si la bomba podría cumplir con los requisitos de la EHA. Se realizaron una serie de pruebas de rendimiento en el conjunto motor-bomba a través de un banco de pruebas de bomba en el rango de velocidad de 1.450-9.000 rpm y el rango de presión de 1-30 MPa.
Probamos la eficiencia general del conjunto motor-bomba en diversas condiciones de trabajo después de confirmar la consistencia entre los resultados de la prueba de las características de salida de flujo con los resultados de la simulación. Los resultados mostraron que el conjunto tiene una mayor eficiencia general cuando se trabaja a 4.500-7.000 rpm bajo la presión de 10-25 MPa y a 2.000-2.500 rpm por debajo de 5-15 MPa. En general, este método se puede utilizar para determinar de antemano si el conjunto motor-bomba cumple con los requisitos de EHA. Además, este documento propone un método de prueba rápida del conjunto motor-bomba en diversas condiciones de trabajo, que podría ayudar a predecir el rendimiento de EHA.

El resultado de la simulación del flujo de descarga (Figura 10A) indicó que el flujo de descarga disminuyó ligeramente con el aumento de la presión de carga cuando la velocidad era constante. Además, el caudal de salida aumentó linealmente con el aumento de la velocidad cuando la presión es constante, a juzgar por el mismo ancho de banda. Para evaluar directamente el rendimiento del conjunto motor-bomba en diferentes condiciones de trabajo, trazamos su diagrama de eficiencia volumétr...

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Modeling and Experimental Analysis of the Single-Shaft Coaxial Motor-Pump Assembly in Electrohydrostatic Actuators

Construimos un modelo de simulación para evaluar las características del flujo de la bomba y el rendimiento del conjunto de motobomba coaxial de un solo eje en actuadores electrohidrostáticos e investigar experimentalmente la eficiencia general en un amplio conjunto de condiciones de trabajo del conjunto motor-bomba.

Modelado y análisis experimental del conjunto de motobomba coaxial de un solo eje en actuadores electrohidrostáticos

An electrohydrostatic actuator (EHA) can be the most promising alternative compared with the traditional hydraulic servo actuators for its high power ...

Los conjuntos de motobombas son componentes clave de los activadores electrohidrostáticos. Este protocolo presenta un método de prueba eficiente sobre las características de salida del montaje de la bomba de motor y las amplias condiciones de trabajo. Este protocolo adopta la acumulación de simulación y deterioro, de modo que el rendimiento del conjunto de la bomba modelo se puede obtener rápidamente.Esta tecnología contribuye al desarrollo del conjunto de la bomba modelo. Al llevar a cabo el experimento, protéjase para evitar el daño del ruido y el aceite. Es importante asegurarse de que las tuberías de aceite estén bien conectadas antes de cargar.Demostrando el procedimiento estará Yuxuan Ma, un estudiante de posgrado del laboratorio. Para comenzar, establezca los parámetros principales del conjunto de la bomba de motor ingresando al modo de parámetro y establezca los parámetros principales haciendo doble clic en el componente específico en el modelo de simulación. Establezca la velocidad de rotación y la presión de prueba, como se describe en el texto.Establezca los parámetros previos a la ejecución del modelo como la hora de inicio de cero segundos, la hora final de un segundo y el intervalo de impresión de un milisegundo. Ejecute previamente la simulación y compruebe si el sistema alcanzará el estado estable al final de la simulación. Si el sistema alcanza el estado estable, marque la opción Usar valores finales antiguos en la ventana Ejecutar parámetros.Si no es así, reinicie el tiempo final a dos segundos o incluso más, hasta que el sistema alcance el estado estacionario. A continuación, establezca los parámetros de ejecución del modelo como la hora de inicio de cero segundos, el tiempo final de 0,2 segundos y el intervalo de impresión de 0,002 milisegundos. Para instalar las interfaces mecánicas, conecte la cara final del conjunto de la bomba del motor con el bloque de válvulas de prueba y use al menos cuatro tornillos para garantizar un buen rendimiento del techo.Fije el conjunto de la bomba del motor y el bloque de válvulas de prueba en el banco de trabajo del banco de pruebas. Conecte el conjunto de la bomba del motor y el bloque de la válvula de prueba a las herramientas dedicadas con cuatro tornillos, y las herramientas al banco de trabajo con dos tornillos. Instale dos grupos de sensores de presión y temperatura del puerto A y el puerto B en el bloque de válvulas de prueba.Conecte estos sensores directamente al puerto de fugas para el monitoreo de fugas. Para conectar las interfaces hidráulicas, conecte inicialmente los dos puertos de aceite de alta presión de la fuente de la bomba con el puerto A o B del bloque de válvulas de prueba. Luego conecte el puerto de aceite presurizado con el puerto de aceite de fugas de la bomba.Para el agotamiento de aire del conjunto de la bomba del motor, asegúrese de que la válvula de alivio del sistema de suministro de aceite esté en estado de descarga. Haga funcionar el motor de suministro de aceite durante tres minutos para expulsar el aire del sistema de prueba y calentarlo. Para verificar si hay fugas en el conjunto de la bomba del motor, cierre la válvula de alivio del sistema de suministro de aceite y busque fugas en el conjunto de la bomba del motor.Ajuste la presión de suministro de aceite a dos MegaPascal durante más de un minuto. Para conectar las interfaces eléctricas, primero conecte la interfaz de la fuente de alimentación y la interfaz de señal giratoria al controlador del conjunto de la bomba de motor. Conecte el controlador al controlador a través de RS-442, trabajando en un modelo dúplex completo, y luego a una alimentación de CC de 270 voltios.Para realizar la inspección sin carga del conjunto de la bomba de motor, haga funcionar la bomba de suministro de aceite y mantenga las válvulas de alivio de los sistemas de suministro y carga de aceite en el estado de descarga. Encienda el controlador y el controlador, y compruebe si el conjunto de la bomba del motor puede recibir el comando de control normalmente. Establezca una instrucción de 2000 rpm hacia adelante y luego invierta al conjunto de la bomba del motor.Observe el estado de funcionamiento del conjunto de la bomba del motor y compruebe si hay fugas en el bloque de válvulas. Para configurar el sistema de suministro de aceite, haga funcionar la bomba de suministro de aceite y cambie las válvulas de alivio del sistema de suministro de aceite y el sistema de carga al estado de carga. Para determinar el valor mínimo de presión de suministro de aceite, comience ajustando la presión de suministro de aceite a un MegaPascal o más, que se decide mediante el conjunto de la bomba de motor probado.Luego, ajuste la velocidad de rotación del conjunto de la bomba de motor probado a 9000 rpm, asegurándose de que el flujo de la bomba sea igual al flujo teórico de la bomba. De lo contrario, aumente la presión de suministro de aceite para evitar la cavitación. Reduzca lentamente la presión de suministro de aceite y registre el cambio del flujo de la bomba.Trazar el flujo relativo de la bomba frente a la presión de suministro de aceite y encontrar el punto de inflexión del flujo de la bomba denotado como la presión mínima de suministro de aceite. Ajuste la válvula de alivio de carga a la presión mínima de suministro de aceite. Encienda el sistema de control de temperatura y ajuste la temperatura del aceite a 30 grados centígrados.Además, encienda la cámara termográfica para detectar la temperatura de la superficie del conjunto de la bomba del motor. Envíe las instrucciones de control al conjunto de la bomba del motor, para que funcione continuamente a una velocidad específica. Ajuste la válvula de alivio de carga gradualmente.Aumente la presión de carga a un valor específico y mantenga durante cuatro segundos en cada presión crítica medida. Después de que la presión alcance el valor específico de la velocidad, ajuste la válvula de alivio de carga a un MegaPascal. Exporte los datos de flujo experimentales y trace el mapa característico del flujo de la bomba del conjunto de la bomba de motor.Calcule la eficiencia general del conjunto de la bomba de motor en diferentes condiciones de trabajo y trace el mapa de eficiencia general. El resultado de la simulación del flujo de descarga indicó que el flujo disminuyó ligeramente, con un aumento de la presión a una velocidad constante, mientras que aumentó linealmente con el aumento de la velocidad a presión constante. Se observó una ligera diferencia en los resultados experimentales y de simulación para el flujo de descarga.Cuando la velocidad es superior a 5000 rpm, donde el flujo de salida disminuye primero y luego aumenta con la presión creciente. Se determinó la eficiencia volumétrica, lo que demuestra que la eficiencia de la bomba fue mayor a baja presión y velocidad. A 3000 rpm, la presión máxima de salida era de cinco MegaPascal, mientras que a 8000 rpm, era de 23 MegaPascal.Los resultados experimentales difieren de la simulación, cuando el conjunto de la bomba del motor funciona a alta velocidad y baja presión. Sin embargo, a una presión de 10 MegaPascal, la eficiencia volumétrica disminuye, con el aumento de la velocidad de rotación. Se observó que la simulación y los resultados experimentales están más cerca a mayor velocidad y casi coinciden con los resultados experimentales en el rango de velocidad de 3500 a 9000 rpm.Los resultados experimentales de la eficiencia general muestran que en condiciones extremas, como baja velocidad y alta presión, o alta velocidad y baja presión, la eficiencia total es relativamente baja. Es importante asegurarse de que los puntos de medición de presión estén cerca de los puertos de petróleo. Además, preste atención a la presión de entrada para asegurarse de que no exista cavitación.Siguiendo este procedimiento, también podemos adoptar el método de inyección de fallas, para estudiar el rendimiento y el modo de falla del ensamblaje de la bomba de motor en condiciones de trabajo extremas.

Research

JoVE Journal

Engineering

Experimental Measurement of Settling Velocity of Spherical Particles in Unconfined and Confined Surfactant-based Shear Thinning Viscoelastic Fluids

Medición Experimental De La Velocidad De Sedimentación De Partículas Esféricas En Fluidos Viscoelásticos De Adelgazamiento No Confinados Y Confinados A Base De Surfactante

An experimental study is performed to measure the terminal settling velocities of spherical particles in surfactant based shear thinning viscoelastic ...

Investigación

Ingeniería

Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators

Real-Time DC-dinámico Método de polarización de conmutación Tiempo Mejoras en Severamente Subamortiguado Fleco campo electrostático MEMS actuadores

Mechanically underdamped electrostatic fringing-field MEMS actuators are well known for their fast switching operation in response to a unit step input ...

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