Amélioration de la sensibilité de capteurs de pression capacitifs souples à l’aide d’une technique de contrôle de porosité basée sur l’évaporation de solvant

Une méthode de fabrication simple et rentable basée sur la technique d’évaporation du solvant est présentée pour optimiser les performances d’un capteur de pression capacitif souple, qui est activé par le contrôle de la porosité dans la couche diélectrique en utilisant différents rapports de masse de la solution de moulage PDMS / toluène.