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Aumento da sensibilidade de sensores de pressão capacitivos macios usando uma técnica de controle de porosidade baseada em evaporação de solvente

DOI :

10.3791/65143-v

March 24th, 2023

March 24th, 2023

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1State Key Laboratory of Industrial Control Technology, College of Control Science and Engineering, Zhejiang University

Um método de fabricação simples e econômico baseado na técnica de evaporação de solvente é apresentado para otimizar o desempenho de um sensor de pressão capacitivo macio, que é possibilitado pelo controle de porosidade na camada dielétrica usando diferentes razões de massa da solução de moldagem PDMS/tolueno.

Tags

Engenharia

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