ابدأ بتشغيل برنامج AFM وتحميل ركيزة العينة على رقاقة في نظام AFM. تأكد من أن السطح السفلي الملامس للعينة مواز للسطح العلوي. لتحديد منطقة الاهتمام ، تأكد من ضبط مرحلة العينة قبل ضبط موضع XY داخل الطائرة باستخدام الميكرومتر في مرحلة AFM.
ثم قم بتركيب وتأمين مجموعة مسبار الكابولي AFM على حامل المسبار. قم بإجراء مسح تردد لتحديد تردد الرنين لكل ناتئ تلقائيا للتصوير. حدد الموضع النسبي للصفيف الكابولي على منطقة الاهتمام الأولى المراد تصويرها.
بعد ذلك ، قم بإنشاء إحداثيات عالمية بالنقر فوق الزر XYZ zero قبل إغلاق الدرع الصوتي وختمه. ابدأ التصوير الطبوغرافي وضبط المعلمات عن طريق تحديد علامة تبويب إعداد معلمة التصوير. أدخل إحداثيات الزاوية العلوية اليسرى قبل مسح الحجم ضوئيا للحصول على صورة بانورامية واحدة.
بعد ذلك ، أدخل دقة البكسل المطلوبة داخل الشاشة واستخدم سرعة مسح الخط الافتراضية الموصى بها للبرنامج للتصوير. لتشغيل وضع التنصت ، استخدم سعة محرك التنصت الافتراضي والتردد ونقطة الضبط في البرنامج الذي تم الحصول عليه من خصائص الكابولي. بعد ذلك ، دع النظام يتلامس تلقائيا مع العينة والمسبار.
اضبط معلمات وحدة التحكم المشتقة المتكاملة النسبية لكل ناتئ بناء على التتبع الممسوح ضوئيا لكل صورة قبل حفظ البيانات وإزالة المسبار. للتحقق من الدقة المكانية لصفيف الكابولي النشط ، تم التقاط صور عالية الدقة للجرافيت الانحلالي الحراري عالي التوجيه مع نطاق صور صغير داخل المستوى يبلغ خمسة × خمسة ميكرومتر و 1028 × 1028 بكسل. تم إثبات فعالية AFM باستخدام الكابوليات النشطة المتوازية من خلال التقاط الصور المخيطة لتصنيف المعايرة بأربعة ناتئات تعمل بالتوازي.
كشف مسح AFM أن هيكل معايرة رقاقة السيليكون يحتوي على ميزات بطول 45 ميكرومتر مع ارتفاع 14 نانومتر. غطى كل ناتئ مساحة 125 × 125 ميكرومتر ، مما أعطى صورة بانورامية مخيطة تبلغ 500 × 125 ميكرومتر. أظهر التصوير وقناع الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية الشديدة لإنشاء ميزات أشباه الموصلات صورة بانورامية شاملة مخيطة بدقة مكانية تبلغ خمسة نانومتر تغطي مساحة 505 × 130 ميكرومتر.
شوهدت مناطق مختلفة من الدائرة بوضوح في الصورة. عند 10 خطوط في الثانية ، تم التقاط 101،000 × 26،000 بكسل في حوالي 40 دقيقة ، وهو أسرع بكثير من أنظمة AFM التقليدية.
