يطلق على مجهر مسبار المسح الضوئي القائم على مجسات النظام الكهروميكانيكي الدقيقة الجديدة الكابوليات النشطة. توفر الكابوليات ذات التشغيل والاستشعار المدمجين العديد من المزايا مقارنة بالناتئات السلبية ، والتي تعتمد على الإثارة الكهرضغطية وقياس انحراف الحزمة البصرية. أحدث تطور في هذا المجال هو تحقيق صفائف من الكابوليات النشطة لتصوير SPM المتوازي عالي الإنتاجية.
تستخدم صفائف الكابوليات النشطة مستشعرات مدمجة مقاومة للضغط لتوفير حساسية مماثلة لطرق القراءة البصرية دون حدود الحيود للسماح بمجسات AFM أصغر حجما وأكثر ليونة وإحكاما. مهدت نتائج هذه التقنية الطريق لتشغيل وبناء مجاهر القوة الذرية عالية الإنتاجية باستخدام إلكترونيات متعددة القنوات عالية السرعة. يمكن للتقدم في هذه التقنية أن يسهل التشغيل الأسرع والأكثر موثوقية لأنظمة الكابولي النشطة المتوازية على نطاق واسع في المستقبل.