يمكن لهذه الطريقة إنشاء الجسيمات النانوية LSMO بشكل موحد على الركيزة أحادية الكريستال STO. أيضا، يمكن الحصول على الفيلم GBCO من خلال نفس الأسلوب في غرفة فراغ نفسه. والميزة الرئيسية لهذه التكنولوجيا هو أن جسيمات نانو LSMO مع حجم موحد وعالية الجودة فائقة التوصيل GBCO الفيلم يمكن أن تودع في غرفة فراغ نفسه.
يمكن أن توفر هذه الطريقة نظرة ثاقبة في مجال ترسب الفيلم ، منطقة نمو الجسيمات النانوية ، وهلم جرا. ويمكن أيضا أن تطبق على ترسب فيلم معدني، ترسب جسيمات نانوية معدنية، وهلم جرا. هذه الطريقة سوف تسمح للباحثين أن تصبح مألوفة مع معدات فراغ ومعرفة المزيد عن تكنولوجيا نمو الفيلم.
أولا، نظيفة بالتيار المتينة أكسيد التيتانيوم أحادية البلورة في isopropanol والمياه ديونيد لمدة 10 دقائق كل في درجة حرارة الغرفة في حمام بالموجات فوق الصوتية. ثم جفف الركائز بالنيتروجين. هذا يعزز تغطية موحدة للركيزة وحسن الانضمام الفيلم.
جبل 001-المنحى STO ركائز في أصحاب الركيزة مع الغراء موصل مسحوق الفضة. تحميل أصحاب في غرفة فراغ. جبل هدف LSMO في بندقية حقن المغنطير، ومن ثم إعادة تجميع البندقية.
اختبار المقاومة مع أوممتر لتجنب دائرة قصيرة بين المغناطيسية والدرع المحيطة بها. ثم، إغلاق غرفة الفراغ، وضخ أسفل. مرة واحدة في الفراغ هو أقل من واحد مرات 10 إلى ناقص أربعة باسكال، تسخين الركيزة إلى 850 درجة مئوية باستخدام معدل التدفئة من 15 درجة مئوية في الدقيقة الواحدة.
تعيين المسافة الركيزة الهدف إلى ثمانية سنتيمترات. بعد ذلك، تعيين وحدة تحكم تدفق الكتلة إلى 10 سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة من الأكسجين وخمسة سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة من الأرجون كما تدفق الغاز العامل. قبل الترسب، قبل sputter الهدف LSMO لمدة 20 دقيقة في 30 واط.
للحصول على ضغط الغرفة من 25 باسكال، وضبط صمام جبيرة مضخة الجزيئية. إذا أصبحت القيمة الفورية أكبر من 25 باسكال، قم بتدويرها عكس اتجاه عقارب الساعة. إذا أصبح أصغر من 25 باسكال، تدويره في اتجاه عقارب الساعة.
بعد ذلك، تحقق من أن درجة حرارة الركيزة لا تزال عند 850 درجة مئوية ومستقرة. زيادة قوة من المغنطرون من 30 إلى 80 واط. بعد استقرار البلازما، فتح مصراع الغلق وإيداع LSMO على الركيزة ساخنة.
بمجرد اكتمال الترسب، أغلق الغالق وأغلق الطاقة على المغنطرون. ثم، إغلاق صمام الغاز، وإيقاف الطاقة سخان. بعد تبريد العينات إلى درجة حرارة الغرفة، تنفيس الغرفة مع النيتروجين الجاف.
ثم، فتح الغرفة، وإزالة العينات. جبل gadolinium الباريوم النحاس الأكسجين الهدف في بندقية حقن المغنطير، ومن ثم إعادة تجميع البندقية. إيداع أفلام الأكسجين النحاس gadolinium الباريوم كما هو موضح سابقا، وذلك باستخدام ظروف مماثلة باستثناء الوقت sputtering، والتي ينبغي أن تكون 30 دقيقة.
بعد ذلك، خفض درجة حرارة العينة إلى 500 درجة مئوية. ثم، فتح صمام الغاز للأكسجين لإعطاء ضغط غرفة من 75،000 باسكال، وعقد العينات في هذه الدرجة لمدة ساعة واحدة. بعد تبريد العينات إلى درجة حرارة الغرفة، تنفيس الغرفة مع النيتروجين الجاف.
ثم، فتح الغرفة، وإزالة العينات. تظهر صورة AFM لجسيمات نانوية LSMO على ركائز STO نموًا موحدًا. أنماط XRD من أفلام الأكسجين النحاس gadolinium الباريوم ملفقة على غير مشوّه وLSMO نانو جسيمات مزينة ركائز STO تظهر هنا.
كانت درجة حرارة الانتقال فائق التوصيل قريبة من 90.5 كلفن للفيلم الأكسجين النحاسي gadolinium barium و 90.3 كلفن لأفلام LSMO ، مما يشير إلى أن الجسيمات النانوية لا تضر خاصية التوصيل الفائق للأفلام. على سبيل المقارنة ، فإن منطقة حلقة hysteresis المغنطيسية أكبر بكثير ، من صفر إلى ستة تسلا ، في 30 و 50 و 77 كلفن للأفلام المفبركة على ركائز مزينة بـ LSMO. يمتلك فيلم الأكسجين النحاسي gadolinium barium المودع على ركيزة مزخرفة بـ LSMO كثافة تيار حرج أعلى من 1.3 إلى ستة تسلا عند 30 كلفن ومن صفر إلى ستة تسلا عند 77 كلفن.
في 30 كلفن، العينة المزينة لديها أكبر كثافة قوة التثبيت فوق 1.3 تسلا. في 77 كلفن، انتقلت الكثافة إلى قيمة H أعلى للعينة المزينة. الاعتماد الزاوي للكثافة الحالية الحرجة في 3 تسلا و 77 كلفن للفيلم LSMO زينت يظهر زيادة على طول محور C, مما يشير إلى أنه أكثر فعالية في اتجاه المجال المغناطيسي بالتوازي مع اتجاه محور C.
يتضمن هذا الأسلوب العديد من الخطوات والتفاصيل، لذلك العرض التوضيحي المرئي أمر بالغ الأهمية لفهم وإتقان هذه الطريقة. بعد تطورها ، وهذه الطريقة تجعل من الممكن لإيداع أفلام أكسيد والجسيمات النانوية ، فضلا عن الأفلام المعدنية والجسيمات النانوية. بعد تطورها ، وهذه الطريقة تجعل من الممكن لإيداع أفلام أكسيد والجسيمات النانوية ، فضلا عن الأفلام المعدنية والجسيمات النانوية.
