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Epitaxie Perowskit Strontiumtitanat auf Germanium über Atomic Layer Deposition

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09:45 min

July 26th, 2016

DOI :

10.3791/54268-v

July 26th, 2016


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Chemie

Kapitel in diesem Video

0:05

Title

1:20

Cleaning the Germanium Substrate

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Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization

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Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film

7:23

Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis

8:41

Conclusion

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