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Microfabbricazione tramite fotolitografia

Panoramica

La fabbricazione di dispositivi BioMEM viene spesso eseguita utilizzando una tecnica di microfabbricazione chiamata fotolitografia. Questo metodo ampiamente utilizzato utilizza la luce per trasferire un modello su un wafer di silicio e fornisce la base per la fabbricazione di molti tipi di dispositivi BioMEM.

Questo video presenta la tecnica della fotolitografia, mostra come viene eseguito il processo nella camera bianca e introduce alcune applicazioni del processo.

Procedura

La crescente necessità di dispositivi portatili con volumi di campioni estremamente piccoli ha guidato la miniaturizzazione dei dispositivi chiamati BioMEM. I bioMEM sono prodotti tramite microfabbricazione. Un processo di fabbricazione di strutture su microscala utilizzando la tecnologia dei semiconduttori. Una tecnica di microfabbricazione chiamata fotolitografia, viene spesso utilizzata per modellare modelli complessi su un substrato usando la luce. Questo video introdurrà il processo di fotolitogr

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