まず、カーボンナノチューブ(CNT)を1対30の重量比でトルエン溶媒に分散させ、PDMSベースをトルエンで等しい重量比で希釈します。CNTトルエン懸濁液とPDMSトルエン溶液を室温で1時間磁気的に攪拌する。調製した懸濁液と溶液を混合して液体CNT PDMSトルエン混合物を形成し、摂氏80度のホットプレート上で磁気的に攪拌してトルエンを蒸発させる。
次に、PDMS硬化剤を10対1の重量比で混合物に添加して、ECPCスラリーの合成を完了します。マイクロ流体チャネルベースの伸縮性電極を作製するには、PDMSベースの溶液と硬化剤とを10対1の重量比で混合し、未硬化のPDMS混合物をすべての気泡が消えるまで真空乾燥機に入れる。シリコーンウェーハ上に従来のリソグラフィ技術を使用して、異なるマイクロ流体チャネルパターンを持つSU8ベースのモールドを準備します。
次に、脱気した混合物を作製した金型に注ぎ、金型を摂氏85度のホットプレートに1時間置き、PDMSを硬化させ、硬化したPDMSフィルムにSU8モールドパターンを転写します。次に、PDMS層を剥がします。次に、少量の合成ECPCスラリーをPDMS表面にキャストし、かみそりの刃を使用して、エンボス加工されたマイクロ流体チャネルに沿ってスラリーを注意深くこすります。
次に、スラリーを摂氏70度で2時間加熱します。最後に、作製した電極の両端に導電性銀ペーストを用いて銅線を接続し、接着ゴムシール剤で接続部をシールする。このプロトコルを使用して、さまざまなトレースデザインと印刷解像度のソフト電極を製造できます。
電極の抵抗は線幅の減少とともに増加し,蛇行電極は有効長が長いためライン構造電極よりも高い抵抗を示した。電極の抵抗は、幾何学的効果によって引き起こされる引張ひずみとともに直線的に増加しました。サーペンタイン電極の感度は、歪み放出効果のためにライン構造電極よりも低かった。
