먼저, 탄소 나노튜브(CNT)를 톨루엔 용매에 1:30 중량비로 분산시키고, PDMS 베이스를 동일한 중량비의 톨루엔으로 희석한다. CNT 톨루엔 현탁액과 PDMS 톨루엔 용액을 실온에서 1시간 동안 자기적으로 교반한다. 제조된 현탁액과 용액을 혼합하여 액체 CNT PDMS 톨루엔 혼합물을 형성하고, 섭씨 80도의 핫플레이트 상에서 자기적으로 교반하여 톨루엔을 증발시킨다.
그런 다음 PDMS 경화제를 10:1 중량비로 혼합물에 첨가하여 ECPC 슬러리의 합성을 완료합니다. 미세유체 채널 기반의 신축성 전극을 제작하기 위해, PDMS계 용액과 경화제를 10:1의 중량비로 혼합하고, 경화되지 않은 PDMS 혼합물을 모든 기포가 사라질 때까지 진공 데시케이터에 넣는다. 실리콘 웨이퍼에서 기존의 리소그래피 기술을 사용하여 서로 다른 미세유체 채널 패턴을 가진 SU8 기반 금형을 준비합니다.
그런 다음 탈기된 혼합물을 제작된 몰드에 붓고 섭씨 85도의 핫플레이트에 몰드를 1시간 동안 올려 PDMS를 경화시키고 경화된 PDMS 필름에 SU8 몰드 패턴을 전사한다. 그런 다음 PDMS 레이어를 떼어냅니다. 다음으로, 소량의 합성된 ECPCs 슬러리를 PDMS 표면에 주조하고, 면도날을 이용하여, 엠보싱된 미세유체 채널을 따라 슬러리를 조심스럽게 긁어낸다.
그런 다음 슬러리를 섭씨 70도에서 2 시간 동안 가열합니다. 마지막으로 전도성 실버 페이스트를 사용하여 준비된 전극의 양쪽 끝에 구리선을 연결하고 접착 고무 실란트로 연결을 밀봉합니다. 트레이스 디자인과 인쇄 해상도가 다른 소프트 전극은 이 프로토콜을 통해 제작할 수 있습니다.
전극의 저항은 선폭이 감소함에 따라 증가하고, 구불구불한 전극은 유효 길이가 더 길기 때문에 선 구조 전극보다 더 높은 저항을 나타냈다. 전극의 저항은 기하학적 효과로 인한 인장 변형과 함께 선형적으로 증가했습니다. 구불구불한 전극의 감도는 변형된 방출 효과로 인해 라인 구조 전극보다 낮았습니다.
