Fabrication of the Capacitive Pressure Sensor

Для сборки емкостного датчика давления изготовьте мягкий электрод с конструкцией с межпальцевым эффектом бахромы. Смешайте два компонента платиновой силиконовой гибкой пены в весовом соотношении один к одному и шесть к одному и быстро перемешайте, чтобы приготовить диэлектрические слои мягкой силиконовой пены с двумя размерами заливки. Вылейте смесь в форму, напечатанную на 3D-принтере, и накройте ее с помощью доски с несколькими отверстиями.

Как только смесь затвердеет, срежьте силиконовую пену, проходящую через отверстия, и снимите доску. Наконец, поместите подготовленную диэлектрическую пену на межцифровой слой мягкого электрода, чтобы завершить изготовление датчика давления. Устройство с шириной линии 200 микрометров имело более высокую чувствительность из-за более сильного эффекта поля бахромы.

И пена с более высоким массовым отношением части А к части В также имела более высокую чувствительность, чем пена с меньшей долей воздуха. Циклическое испытание показало, что изготовленный мягкий емкостный датчик сохраняет высокую повторяемость при 1000 циклических нагрузках под давлением.