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Characterization of Surface Modifications by White Light Interferometry: Applications in Ion Sputtering, Laser Ablation, and Tribology Experiments

In materials science and engineering it is often necessary to obtain quantitative measurements of surface topography with micrometer lateral resolution. ...

Argonne National Laboratory

&#x540C;&#x4F4D;&#x7D20;&#x6210;&#x5206;&#x7684;&#x948C; &#xFF08;Ru&#xFF09; &#x4E2A;&#x522B; presolar &#x78B3;&#x5316;&#x7845; (SiC) &#x661F;&#x5C18;&#x7C7D;&#x7C92;&#x4E2D;&#x8D1F;&#x6709;&#x6E10;&#x8FD1;&#x5DE8;&#x79D1;&#x661F; s-&#x8FC7;&#x7A0B;&#x6838;&#x5408;&#x6210;&#x518D;&#x52A0;&#x4E0A;&#x4E00;&#x4E2A;&#x5F02;&#x5E38;&#x73B0;&#x8C61;&#x7684;&#x89E3;&#x91CA;&#x662F;&#x951D;&#x540C;&#x4F4D;&#x7D20; 99Tc &#x8C37;&#x7269;&#x4E2D;&#x7684;&#x539F;&#x4F4D;&#x8870;&#x53D8;&#x7684; 99Ru &#x7B7E;&#x540D;&#x3002;&#x8FD9;&#x4E00;&#x53D1;&#x73B0;&#xFF0C;&#x52A0;&#x4E0A;&#x67D0;&#x4E9B;&#x661F;&#xFF0C;&#x663E;&#x793A; presolar SiC &#x9897;&#x7C92;&#x7684;&#x591A;&#x6570;&#x6765;&#x81EA;&#x4F4E;&#x8D28;&#x91CF;&#x6E10;&#x8FD1;&#x5DE8;&#x79D1;&#x661F; 99Tc &#x5728;&#x8FD9;&#x6837;&#x7684;&#x6052;&#x661F;&#x4EA7;&#x751F;&#x91CF;&#x4E0D;&#x8DB3;&#x4EE5;&#x63A2;&#x6D4B; 99Ru &#x5F02;&#x5E38;&#x5904;&#x4E8E;&#x65E9;&#x671F;&#x592A;&#x9633;&#x7CFB;&#x6750;&#x6599;&#x4E2D; Tc &#x8C31;&#x7EBF;&#x7684;&#x89C2;&#x5BDF;&#x3002;

&#x706D;&#x7EDD;&#x951D;&#x78B3;&#x5316;&#x7845;&#x661F;&#x5C18;&#x7C7D;&#x7C92;&#x4E2D;&#x7684;&#xFF1A; &#x5BF9;&#x6052;&#x661F;&#x6838;&#x5408;&#x6210;&#x7684;&#x5F71;&#x54CD;&#x3002;

The isotopic composition of ruthenium (Ru) in individual presolar silicon carbide (SiC) stardust grains bears the signature of s-process nucleosynthesis in asymptotic giant branch stars, plus an anomaly in 99Ru that is explained by the in situ decay of technetium isotope 99Tc in the grains. This finding, coupled with the observation of Tc spectral lines in certain stars, shows that the majority of presolar SiC grains come from low-mass asymptotic giant branch stars, and that the amount of 99Tc produced in such stars is insufficient to have left a detectable 99Ru anomaly in early solar system materials.

Extinct technetium in silicon carbide stardust grains: implications for stellar nucleosynthesis.

La composition isotopique du ruth&eacute;nium (Ru) en grains stardust individuels presolar carbure de silicium (SiC) porte la signature du processus s nucl&eacute;osynth&egrave;se dans les &eacute;toiles de la branche asymptotique des g&eacute;antes, plus une anomalie en 99Ru qui s&#39;explique par la d&eacute;gradation in situe de techn&eacute;tium 99Tc d&#39;isotopes dans les grains. Cette d&eacute;couverte, associ&eacute;e &agrave; l&#39;observation des raies spectrales Tc dans certaines &eacute;toiles, montre que la majorit&eacute; des grains presolar de SiC proviennent d&#39;&eacute;toiles de faible masse branche asymptotique des g&eacute;antes, et que le montant de 99Tc produit dans ces &eacute;toiles ne suffit pas &agrave; avoir quitt&eacute; une anomalie d&eacute;celable 99Ru en mati&egrave;res de syst&egrave;me solaire au d&eacute;but.

Techn&eacute;tium &eacute;teint dans les grains de carbure de silicium stardust : implications pour la nucl&eacute;osynth&egrave;se stellaire.

Die Isotopenzusammensetzung von Ruthenium (Ru) in einzelne pr&auml;solare aus Siliziumkarbid (SiC) Stardust K&ouml;rner tr&auml;gt die Unterschrift des s-Prozess Nukleosynthese in asymptotischen Riesenast Sterne plus eine Anomalie in 99Ru, die durch in-situ Zerfall von Technetium-Isotop 99Tc in die K&ouml;rner erkl&auml;rt wird. Diese Erkenntnis, gekoppelt mit der Beobachtung von Tc Spektrallinien in bestimmter Sterne zeigt, die die Mehrheit der pr&auml;solare SiC K&ouml;rner aus Low-Mass asymptotischen Riesenast Sternen ist, und dass die Menge des 99Tc produziert in solche Sterne nicht ausreicht, um eine nachweisbaren 99Ru Anomalie im fr&uuml;hen Sonnensystem Materialien verlassen haben.

Ausgestorbene Technetium in Siliciumcarbid Stardust K&ouml;rner: Implikationen f&uuml;r stellare Nukleosynthese.

La composizione isotopica del rutenio (Ru) in grani stardust singoli presolar carburo di silicio (SiC) porta la firma di s-processo di nucleosintesi in stelle di ramo asintotico delle giganti, pi&ugrave; un&#39;anomalia in 99Ru che &egrave; spiegata dal decadimento del tecnezio isotopo 99Tc in grani in situ. Questa constatazione, accoppiato con l&#39;osservazione delle linee spettrali Tc in certe stelle, dimostra che la maggior parte dei grani di SiC presolar provenienza da stelle di piccola massa ramo asintotico delle giganti, e che la quantit&agrave; di prodotto in tali stelle 99Tc &egrave; insufficiente a hanno lasciato un&#39;anomalia 99Ru rilevabili nei primi materiali del sistema solare.

Tecnezio estinto in carburo di silicio grane stardust: implicazioni per la nucleosintesi stellare.

&#x30EB;&#x30C6;&#x30CB;&#x30A6;&#x30E0; &#xFF08;Ru&#xFF09; &#x500B;&#x3005; &#x30D7;&#x30EC;&#x30BD;&#x30FC;&#x30E9;&#x30FC;&#x70AD;&#x5316;&#x30B1;&#x30A4;&#x7D20; &#xFF08;SiC&#xFF09; &#x30B9;&#x30BF;&#x30FC;&#x30C0;&#x30B9;&#x30C8;&#x7C92;&#x5B50;&#x306E;&#x540C;&#x4F4D;&#x4F53;&#x7D44;&#x6210;&#x306E;&#x904E;&#x7A0B;&#x5143;&#x7D20;&#x5408;&#x6210;&#x6F38;&#x8FD1;&#x5DE8;&#x661F;&#x5206;&#x679D;&#x661F;&#x30D7;&#x30E9;&#x30B9; &#x30C6;&#x30AF;&#x30CD;&#x30C1;&#x30A6;&#x30E0;&#x306E;&#x540C;&#x4F4D;&#x4F53;&#x306E; 99Tc&#x3001;&#x5168;&#x7C92;&#x306E;&#x5834;&#x306E;&#x5D29;&#x58CA;&#x306B;&#x3088;&#x3063;&#x3066;&#x8AAC;&#x660E;&#x3055;&#x308C;&#x308B; 99Ru &#x306E;&#x7570;&#x5E38;&#x306E;&#x7F72;&#x540D;&#x3092;&#x8CA0;&#x62C5;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;&#x898B;&#x3064;&#x3051;&#x308B;&#x3053;&#x308C; Tc &#x7279;&#x5B9A;&#x306E;&#x661F;&#x306F;&#x3001;&#x4F4E;&#x8CEA;&#x91CF;&#x6F38;&#x8FD1;&#x5DE8;&#x661F;&#x5206;&#x679D;&#x661F;&#x304B;&#x3089;&#x306E;&#x30D7;&#x30EC;&#x30BD;&#x30FC;&#x30E9;&#x30FC; SiC &#x7C92;&#x5B50;&#x306E;&#x5927;&#x534A;&#x306F;&#x3001;99Tc &#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306A;&#x661F;&#x306E;&#x751F;&#x7523;&#x91CF;&#x306F;&#x521D;&#x671F;&#x592A;&#x967D;&#x7CFB;&#x7269;&#x8CEA;&#x306E;&#x691C;&#x51FA; 99Ru &#x7570;&#x5E38;&#x304C;&#x6B8B;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x306F;&#x5341;&#x5206;&#x3067;&#x306F;&#x306A;&#x3044;&#x30B7;&#x30E7;&#x30FC; &#x30B9;&#x30DA;&#x30AF;&#x30C8;&#x30EB;&#x7DDA;&#x306E;&#x89B3;&#x6E2C;&#x3068;&#x7D44;&#x307F;&#x5408;&#x308F;&#x305B;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#x70AD;&#x5316;&#x73EA;&#x7D20;&#x306E;&#x7D76;&#x6EC5;&#x30C6;&#x30AF;&#x30CD;&#x30C1;&#x30A6;&#x30E0;: &#x6052;&#x661F;&#x306E;&#x5143;&#x7D20;&#x5408;&#x6210;&#x306E;&#x305F;&#x3081;&#x306E;&#x542B;&#x610F;&#x3002;

&#xB8E8; &#xD14C; &#xB284; (Ru) &#xAC1C;&#xBCC4; presolar &#xC2E4;&#xB9AC;&#xCF58; &#xCE74;&#xBC14; &#xC774;&#xB4DC; (SiC) &#xC2A4;&#xD0C0; &#xB354;&#xC2A4;&#xD2B8; &#xACE1;&#xBB3C;&#xC5D0;&#xC11C;&#xC758; isotopic &#xAD6C;&#xC131; &#xC810;&#xADFC; &#xAC70;&#xC131; &#xAC00;&#xC9C0; &#xBCC4;&#xC5D0;&#xC11C; s &#xD504;&#xB85C;&#xC138;&#xC2A4; &#xD575;&#xD569;&#xC131; &#xD50C;&#xB7EC;&#xC2A4; &#xACE1;&#xBB3C;&#xC5D0;&#xC11C; &#xD14C;&#xD06C;&#xB124;&#xD2AC; &#xB3D9;&#xC704; &#xC6D0;&#xC18C; 99Tc &#xC6D0;&#xB798;&#xC758; &#xBD80;&#xD328;&#xC5D0; &#xC758;&#xD574; &#xC124;&#xBA85; &#xD558;&#xB294; 99ru&#xC5D0; &#xC608;&#xC678;&#xC758; &#xC11C;&#xBA85;&#xC744; &#xB9FA;&#xB294; &#xB2E4;. &#xC774; &#xCC3E;&#xB294; Tc &#xC2A4;&#xD399;&#xD2B8;&#xB7FC; &#xC120;&#xC758; &#xD2B9;&#xC815; &#xBCC4; &#xC1FC; presolar SiC &#xACE1;&#xBB3C;&#xC758; &#xB300;&#xBD80;&#xBD84; &#xB0AE;&#xC740; &#xC9C8;&#xB7C9; &#xC810;&#xADFC; &#xAC70;&#xC131; &#xAC00;&#xC9C0; &#xBCC4;&#xC5D0;&#xC11C; &#xC628; &#xADF8;&#xB9AC;&#xACE0; 99Tc &#xB4F1; &#xBCC4;&#xC5D0;&#xC11C; &#xC0DD;&#xC0B0; &#xC6A9;&#xB7C9;&#xC740; &#xCD08;&#xAE30; &#xD0DC;&#xC591;&#xACC4; &#xC790;&#xB8CC; &#xAC10;&#xC9C0; 99Ru &#xC774;&#xC0C1; &#xB0A8;&#xC544; &#xC788;&#xB2E4; &#xCDA9;&#xBD84; &#xD55C; &#xAD00;&#xCC30;&#xACFC; &#xACB0;&#xD569;.

&#xC2E4;&#xB9AC;&#xCF58; &#xCE74;&#xBC14; &#xC774;&#xB4DC; &#xC2A4;&#xD0C0; &#xB354;&#xC2A4;&#xD2B8; &#xACE1;&#xBB3C; &#xBA78;&#xC885; &#xD14C;&#xD06C;&#xB124;&#xD2AC;: &#xBCC4;&#xC758; &#xD575;&#xD569;&#xC131;&#xC5D0; &#xB300; &#xD55C; &#xC758;&#xBBF8;.

La composici&oacute;n isot&oacute;pica del rutenio (Ru) en granos de stardust individuales presolares carburo de silicio (SiC) lleva la firma de nucleos&iacute;ntesis s-proceso en estrellas de rama asint&oacute;tica de gigante, adem&aacute;s de una anomal&iacute;a en la 99Ru que se explica por el decaimiento in situ de is&oacute;topos de tecnecio 99Tc en los granos. Este hallazgo, junto con la observaci&oacute;n de l&iacute;neas espectrales de Tc en ciertas estrellas, muestra que la mayor&iacute;a de granos presolares del SiC provienen de estrellas de baja masa asint&oacute;tica gigante rama, y que la cantidad de 99Tc producido en tales estrellas no es suficiente para haber dejado una anomal&iacute;a detectable 99Ru en principios materiales del sistema solar.

Tecnecio extinto en granos de carburo de silicio stardust: implicaciones para la nucleos&iacute;ntesis estelar.

&#x6709;&#x56F0;&#x6270;&#x7740;&#x5F88;&#x591A;&#x8D28;&#x8C31;&#x6D4B;&#x91CF;&#x7684;&#x5FAE;&#x91CF;&#x6210;&#x5206;&#x7684;&#x56DB;&#x4E2A;&#x4E92;&#x65A5;&#x4E00;&#x822C;&#x8981;&#x6C42;&#xFF1A; (1) &#xFF08;&#x7531;&#x63A2;&#x6D4B;&#x6DF1;&#x5EA6;&#x7684;&#x9650;&#x5236;&#xFF09; &#x7684;&#x89C4;&#x6A21;&#x8F83;&#x5C0F;&#x7684;&#x8BB8;&#x591A;&#x6709;&#x8DA3;&#x7684;&#x6750;&#x6599;&#x8981;&#x6C42;&#x9AD8;&#x6709;&#x7528;&#x7684;&#x6536;&#x76CA;&#x7387;&#x53EA;&#x662F;&#x68C0;&#x6D4B;&#x67D0;&#x4E9B;&#x5FAE;&#x91CF;&#x5143;&#x7D20;&#xFF0C;(2) &#x4F4E;&#x6D53;&#x5EA6;&#x7684;&#x4E00;&#x4E9B;&#x6709;&#x8DA3;&#x7684;&#x5143;&#x7D20;&#x9700;&#x8981;&#x4ECE;&#x7B49;&#x538B;&#x5E72;&#x6270;&#xFF0C;&#xFF08;3&#xFF09;&#xFF0C;&#x5F80;&#x5F80;&#x6709;&#x5FC5;&#x8981;&#x6765;&#x8861;&#x91CF;&#x5177;&#x6709;&#x9AD8;&#x7684;&#x8868;&#x9762;&#x548C;&#x4F4E;&#x6279;&#x91CF;&#x6350;&#x6B3E;&#x7684;&#x5143;&#x7D20;&#x6DF1;&#x5EA6;&#x5206;&#x5E03;&#x7684;&#x9AD8;&#x6548;&#x6B67;&#x89C6;&#x53CA; (4) &#x5F88;&#x591A;&#x5E94;&#x7528;&#x7A0B;&#x5E8F;&#x90FD;&#x9700;&#x8981;&#x7CBE;&#x786E;&#x7684;&#x540C;&#x4F4D;&#x7D20;&#x5206;&#x6790;&#x3002;&#x5171;&#x632F;&#x7535;&#x79BB;&#x8D28;&#x8C31;&#x6CD5;&#x5728;&#x8FC7;&#x53BB;&#x7684;&#x4E94;&#x5E74;&#x89E3;&#x51B3;&#x8FD9;&#x4E9B;&#x56F0;&#x96BE;&#x65B9;&#x9762;&#x53D6;&#x5F97;&#x4E86;&#x663E;&#x8457;&#x8FDB;&#x5C55;&#x3002;

&#x4E0E;&#x5171;&#x632F;&#x7535;&#x79BB;&#x8D28;&#x8C31;&#x79BB;&#x5B50;&#x663E;&#x5FAE;&#x955C;&#xFF1A; &#x98DE;&#x884C;&#x65F6;&#x95F4;&#x6DF1;&#x5EA6;&#x5206;&#x6790;&#x4E0E;&#x6539;&#x8FDB;&#x540C;&#x4F4D;&#x7D20;&#x7684;&#x7CBE;&#x5EA6;&#x3002;

There are four generally mutually exclusive requirements that plague many mass spectrometric measurements of trace constituents: (1) the small size (limited by the depth probed) of many interesting materials requires high useful yields to simply detect some trace elements, (2) the low concentrations of interesting elements require efficient discrimination from isobaric interferences, (3) it is often necessary to measure the depth distribution of elements with high surface and low bulk contributions, and (4) many applications require precise isotopic analysis. Resonant ionization mass spectrometry has made dramatic progress in addressing these difficulties over the past five years.

Ion microscopy with resonant ionization mass spectrometry: time-of-flight depth profiling with improved isotopic precision.

Il y a quatre exigences g&eacute;n&eacute;ralement mutuellement exclusives qui infestent les nombreuses mesures par spectrom&eacute;trie de masse des constituants de la trace: (1) la petite taille (limit&eacute;e par la profondeur sond&eacute;e) d&#39;un grand nombre int&eacute;ressant de mat&eacute;riaux n&eacute;cessite de hauts rendements utiles pour d&eacute;tecter tout simplement certains oligo-&eacute;l&eacute;ments, (2) les faibles concentrations d&#39;&eacute;l&eacute;ments int&eacute;ressants n&eacute;cessitent une discrimination efficace d&#39;interf&eacute;rences isobariques, (3), il est souvent n&eacute;cessaire de mesurer la r&eacute;partition en profondeur des &eacute;l&eacute;ments avec des contributions de haute en surface et faible masseet (4) de nombreuses applications requi&egrave;rent une analyse isotopique pr&eacute;cise. Spectrom&eacute;trie de masse &agrave; ionisation r&eacute;sonante a fait des progr&egrave;s spectaculaires pour r&eacute;soudre ces difficult&eacute;s au cours des cinq derni&egrave;res ann&eacute;es.

Microscopie ionique avec la spectrom&eacute;trie de masse &agrave; ionisation r&eacute;sonante : profilage en profondeur de temps de vol avec am&eacute;lior&eacute; la pr&eacute;cision isotopique.

Es gibt vier im allgemeinen gegenseitig Anforderungen, die viele massenspektrometrische Messungen von Spurenbestandteilen Pest: (1) klein (begrenzt durch die Tiefe sondiert) vieler interessante Materialien erfordert n&uuml;tzliche renditestarke einfach einige Spurenelemente erkennen, (2) die niedrigen Konzentrationen von interessante Elemente erfordern effiziente Diskriminierung von Isobare Interferenzen, (3) Es ist oft notwendig, die Tiefe Verteilung der Elemente mit massenweise Oberfl&auml;che und geringe Beitr&auml;ge zu messen, und (4) viele Anwendungen erfordern genaue Isotopenanalyse. Resonante Ionisation Massenspektrometrie hat dramatische Fortschritte bei der Bew&auml;ltigung dieser Schwierigkeiten in den letzten f&uuml;nf Jahren.

Ion-Mikroskopie mit resonanten Ionisation Massenspektrometrie: Time-of-Flight-Tiefe profiling mit Isotopen Pr&auml;zision verbessert.

Ci sono quattro requisiti generalmente escludono che affliggono molte misurazioni spettrometrihe di massa dei costituenti della traccia: (1) il di piccola dimensione (limitato dalla profondit&agrave; sondata) di molti interessanti materiali richiede alti rendimenti utili semplicemente rilevare alcuni elementi in traccia, (2) le basse concentrazioni di elementi interessanti richiedono efficiente discriminazione da interferenze isobarico, (3) &egrave; spesso necessario misurare la distribuzione della profondit&agrave; degli elementi con contributi di elevata massa superficiale e bassae (4) molte applicazioni richiedono precisa analisi isotopica. Spettrometria totale di ionizzazione risonante ha fatto progressi drammatici nell&#39;affrontare queste difficolt&agrave; negli ultimi cinque anni.

Microscopia dello ione con spettrometria totale di ionizzazione risonante: time-of-flight profondit&agrave; di analisi con migliorata precisione isotopica.

&#x591A;&#x304F;&#x306E;&#x8CEA;&#x91CF;&#x5206;&#x6790;&#x6CD5;&#x306B;&#x3088;&#x308B;&#x6E2C;&#x5B9A;&#x306E;&#x5FAE;&#x91CF;&#x6210;&#x5206;&#x306E;&#x30DA;&#x30B9;&#x30C8; 4 &#x3064;&#x306E;&#x4E00;&#x822C;&#x7684;&#x306B;&#x76F8;&#x4E92;&#x306B;&#x6392;&#x4ED6;&#x7684;&#x306A;&#x8981;&#x4EF6;&#x304C;&#x3042;&#x308A;&#x307E;&#x3059;: (&#x30D7;&#x30ED;&#x30FC;&#x30D6;&#x6DF1;&#x3055;&#x306B;&#x3088;&#x3063;&#x3066;&#x5236;&#x9650;) (1) &#x5C0F;&#x578B;&#x591A;&#x304F;&#x306E;&#x6750;&#x6599;&#x3092;&#x8208;&#x5473;&#x6DF1;&#x3044;&#x5358;&#x306B;&#x3044;&#x304F;&#x3064;&#x304B;&#x306E;&#x30C8;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B9;&#x8981;&#x7D20;&#x3092;&#x691C;&#x51FA;&#x3059;&#x308B;&#x305F;&#x3081;&#x306B;&#x5F79;&#x306B;&#x7ACB;&#x3064;&#x9AD8;&#x5229;&#x56DE;&#x308A;&#x3092;&#x5FC5;&#x8981;&#x3068;&#x3059;&#x308B;&#x3001;&#x52B9;&#x7387;&#x7684;&#x306A;&#x5DEE;&#x5225;&#x5B9A;&#x5727;&#x5E72;&#x6E09;&#x3001;&#xFF08;&#x305D;&#x308C;&#x306F;&#x3057;&#x3070;&#x3057;&#x3070;&#x8868;&#x9762;&#x3068;&#x4F4E;&#x3044;&#x5927;&#x91CF;&#x306E;&#x8CA2;&#x732E;&#x8981;&#x7D20;&#x306E;&#x6DF1;&#x3055;&#x5206;&#x5E03;&#x3092;&#x6E2C;&#x5B9A;&#x3059;&#x308B;&#x305F;&#x3081;&#x306B;&#x5FC5;&#x8981;&#x306A; 3) &#x304B;&#x3089; (2) &#x306E;&#x4F4E;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x306E;&#x8208;&#x5473;&#x6DF1;&#x3044;&#x8981;&#x7D20;&#x306E;&#x5FC5;&#x8981;&#x3068;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;&#x3001;(4) &#x591A;&#x304F;&#x306E;&#x30A2;&#x30D7;&#x30EA;&#x30B1;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x3092;&#x5FC5;&#x8981;&#x3068;&#x3059;&#x308B;&#x9AD8;&#x7CBE;&#x5EA6;&#x540C;&#x4F4D;&#x4F53;&#x5206;&#x6790;&#x3002;&#x5171;&#x9CF4;&#x30A4;&#x30AA;&#x30F3;&#x5316;&#x8CEA;&#x91CF;&#x5206;&#x6790;&#x6CD5;&#x306F;&#x3001;&#x904E;&#x53BB; 5 &#x5E74;&#x9593;&#x3053;&#x308C;&#x3089;&#x306E;&#x554F;&#x984C;&#x306B;&#x5BFE;&#x51E6;&#x3059;&#x308B;&#x5287;&#x7684;&#x306A;&#x9032;&#x6B69;&#x3092;&#x9042;&#x3052;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#x30A4;&#x30AA;&#x30F3;&#x9855;&#x5FAE;&#x93E1;&#x3068;&#x5171;&#x9CF4;&#x30A4;&#x30AA;&#x30F3;&#x5316;&#x8CEA;&#x91CF;&#x5206;&#x6790;&#x6CD5;: &#x98DB;&#x884C;&#x6642;&#x9593;&#x306E;&#x6DF1;&#x3055;&#x3068;&#x540C;&#x4F4D;&#x4F53;&#x6BD4;&#x306E;&#x7CBE;&#x5BC6;&#x3092;&#x6539;&#x5584;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#xCD94;&#xC801; &#xC131;&#xBD84;&#xC758; &#xB9CE;&#xC740; &#xB300;&#xB7C9; spectrometric &#xCE21;&#xC815; &#xC7AC;&#xC559; 4 &#xAC1C;&#xC758; &#xC77C;&#xBC18;&#xC801;&#xC73C;&#xB85C; &#xC0C1;&#xD638; &#xBC30;&#xD0C0;&#xC801;&#xC778; &#xC694;&#xAD6C; &#xC0AC;&#xD56D;&#xC774; &#xC788;&#xC2B5;&#xB2C8;&#xB2E4;: (1) &#xC791;&#xC740; &#xD06C;&#xAE30; (&#xD0D0;&#xC9C0; &#xAE4A;&#xC774; &#xC758;&#xD574; &#xC81C;&#xD55C;) &#xB9CE;&#xC740; &#xB2E8;&#xC21C;&#xD788; &#xC77C;&#xBD80; &#xCD94;&#xC801; &#xC694;&#xC18C;&#xB97C; &#xAC10;&#xC9C0; &#xD558; &#xACE0; &#xC720;&#xC6A9;&#xD55C; &#xC218;&#xC775;&#xB960; &#xD544;&#xC694; &#xC790;&#xB8CC; &#xC7AC;&#xBBF8; &#xC788;&#xB294;, &#xC7AC;&#xBBF8; &#xC788;&#xB294; &#xC694;&#xC18C; (2) &#xB0AE;&#xC740; &#xB18D;&#xB3C4; &#xC694;&#xAD6C; &#xB4F1; &#xAC04;&#xC12D;, (3) &#xB192;&#xC740; &#xD45C;&#xBA74; &#xBC0F; &#xB0AE;&#xC740; &#xB300;&#xB7C9; &#xAE30;&#xC5EC; &#xC694;&#xC18C; &#xAE4A;&#xC774; &#xBD84;&#xD3EC;&#xB97C; &#xCE21;&#xC815; &#xD558;&#xB294; &#xACBD;&#xC6B0;&#xAC00;&#xC5D0;&#xC11C; &#xD6A8;&#xC728;&#xC801;&#xC778; &#xCC28;&#xBCC4;&#xADF8;&#xB9AC;&#xACE0; (4) &#xB9CE;&#xC740; &#xC751;&#xC6A9; &#xD504;&#xB85C;&#xADF8;&#xB7A8;&#xC5D0;&#xC11C;&#xB294; &#xC815;&#xD655; &#xD558; &#xAC8C; isotopic &#xBD84;&#xC11D;. &#xACF5; &#xC9C4; &#xC774;&#xC628;&#xD654; &#xC9C8;&#xB7C9; &#xBD84;&#xC11D;&#xC740; &#xC9C0;&#xB09C; 5 &#xB144; &#xB3D9;&#xC548; &#xC774;&#xB7EC;&#xD55C; &#xC5B4;&#xB824;&#xC6C0;&#xC744; &#xD574;&#xACB0;&#xC5D0; &#xADF9;&#xC801;&#xC778; &#xC9C4;&#xC804;&#xC774; &#xC788;&#xB2E4;.

&#xACF5; &#xC9C4; &#xC774;&#xC628;&#xD654; &#xC9C8;&#xB7C9; &#xBD84;&#xC11D;&#xC73C;&#xB85C; &#xC774;&#xC628; &#xD604;&#xBBF8;&#xACBD;: isotopic &#xC815;&#xBC00;&#xB3C4; &#xD5A5;&#xC0C1; &#xB41C; &#xBE44;&#xD589; &#xC2DC;&#xAC04; &#xAE4A;&#xC774;&#xC640; &#xD504;&#xB85C; &#xD30C;&#xC77C;&#xB9C1;.

Hay cuatro requisitos generalmente mutuamente excluyentes que plagan muchas medidas de espectrometr&iacute;a de masa de constituyentes en trazas: (1) el tama&ntilde;o peque&ntilde;o (limitado por la profundidad de sondeo) de muchos interesantes materiales requiere altos rendimientos &uacute;tiles para detectar simplemente algunos oligoelementos, (2) las bajas concentraciones de elementos interesantes requieren eficiente discriminaci&oacute;n de interferencias isob&aacute;ricos, (3) a menudo es necesario medir la distribuci&oacute;n en profundidad de elementos con contribuciones de alta superficie y baja a granely (4) muchas aplicaciones requieren an&aacute;lisis isot&oacute;pico precisa. Espectrometr&iacute;a de masas de ionizaci&oacute;n resonante ha hecho progresos espectaculares para hacer frente a estas dificultades en los &uacute;ltimos cinco a&ntilde;os.

Microscop&iacute;a de ion con espectrometr&iacute;a de masas de ionizaci&oacute;n resonante: tiempo de vuelo profundidad perfilado con mejorado precisi&oacute;n isot&oacute;pica.

&#x6DF1;&#x5EA6;&#x5206;&#x8FA8;&#x7387;&#x7684;&#x4E8C;&#x6B21;&#x79BB;&#x5B50;&#x8D28;&#x8C31;&#x6CD5;&#x7684;&#x57FA;&#x672C;&#x7269;&#x7406;&#x9650;&#x5236;&#x4E5F;&#x5145;&#x5206;&#x4E86;&#x89E3;&#x7406;&#x8BBA;&#x4E2D;&#x5B9E;&#x73B0;&#x548C;&#x8BC1;&#x660E;&#x4ED6;&#x4EEC;&#x7684;&#x5B9E;&#x9A8C;&#x5DE5;&#x4F5C;&#x867D;&#x4ECD;&#x5728;&#x8FDB;&#x884C;&#x4E4B;&#x4E2D;&#x3002;&#x6211;&#x4EEC;&#x62A5;&#x544A;&#x9AD8;&#x5206;&#x8FA8;&#x7387; TOF SIMS &#xFF08;&#x98DE;&#x884C;&#x65F6;&#x95F4;&#x4E8C;&#x6B21;&#x79BB;&#x5B50;&#x8D28;&#x8C31;&#x6CD5;&#xFF09; &#x6DF1;&#x5EA6;&#x5206;&#x6790; nanolayered &#x7ED3;&#x6784;&#xFF0C;&#x5806;&#x6808;&#x7684;&#x4EA4;&#x66FF;&#x539F;&#x5B50;&#x5C42;&#x6C89;&#x79EF;&#x7845;&#x886C;&#x5E95;&#x4E0A;&#x751F;&#x957F;&#x7684;&#x6C27;&#x5316;&#x9541;&#x3001; &#x6C27;&#x5316;&#x950C; ~5.5 nm &#x5C42; 16 &#x5B9E;&#x9A8C;&#x7684;&#x7ED3;&#x679C;&#x3002;

&#x9AD8;&#x5206;&#x8FA8;&#x7387;&#x7684;&#x4E8C;&#x6B21;&#x79BB;&#x5B50;&#x8D28;&#x8C31;&#x6CD5;&#x7684; nanolayers &#x5206;&#x6790;&#x6DF1;&#x5EA6;&#x3002;

Although the fundamental physical limits for depth resolution of secondary ion mass spectrometry are well understood in theory, the experimental work to achieve and demonstrate them is still ongoing. We report results of high-resolution TOF SIMS (time-of-flight secondary ion mass spectrometry) depth profiling experiments on a nanolayered structure, a stack of 16 alternating MgO and ZnO ~5.5 nm layers grown on a Si substrate by atomic layer deposition.

High-resolution secondary ion mass spectrometry depth profiling of nanolayers.

Bien que les limites physiques fondamentaux pour la r&eacute;solution de la profondeur de la spectrom&eacute;trie de masse des ions secondaires comprennent bien en th&eacute;orie, les travaux exp&eacute;rimentaux pour atteindre et d&eacute;montrer leur sont toujours en cours. Nous rapportons les r&eacute;sultats de la profondeur de TOF SIMS (spectrom&eacute;trie de masse d&#39;ions secondaires de temps de vol) &agrave; haute r&eacute;solution des exp&eacute;riences sur une structure nanocouches, une pile de 16 couches nm de MgO et ZnO ~5.5 cultiv&eacute;s sur un substrat Si par d&eacute;p&ocirc;t de couches atomiques de profilage.

Ionique secondaire spectrom&eacute;trie de masse profilage d&#39;&eacute;paisseur nanocouches.

Obwohl die grundlegenden physikalischen Grenzen f&uuml;r tiefe Aufl&ouml;sung von Sekund&auml;rionen-Massenspektrometrie in der Theorie gut verstanden sind, ist die experimentelle Arbeit zu erreichen und zeigen ihnen noch nicht abgeschlossen. Wir berichten &uuml;ber Ergebnisse von hochaufl&ouml;senden TOF SIMS (Time-of-Flight Sekund&auml;rionen-Massenspektrometrie) Tiefe Profilierung Experimente auf eine Nanolayered-Struktur, die einen Stapel von 16 abwechselnd MgO und ZnO ~5.5 nm-Schichten auf einem Si-Substrat von atomic Layer Deposition angebaut.

Hochaufl&ouml;sende Sekund&auml;rionen-Massenspektrometrie Tiefe Profilierung von Nanoschichten.

Nonostante i limiti fisici fondamentali per la risoluzione di profondit&agrave; di spettrometria di massa di ioni secondari sono ben comprese in teoria, il lavoro sperimentale di raggiungere e dimostrare loro &egrave; ancora in corso. Riportiamo i risultati di profondit&agrave; di TOF SIMS (spettrometria di massa di ioni secondari a tempo di volo) ad alta risoluzione profilatura esperimenti su una struttura di nanolayered, una pila di 16 MgO e ZnO ~5.5 nm strati coltivati su un substrato Si da deposizione di strati atomici alternati.

Spettrometria di massa ioni secondari ad alta risoluzione profondit&agrave; profilatura di nanolayers.

&#x6DF1;&#x3055;&#x5206;&#x89E3;&#x80FD;&#x4E8C;&#x6B21;&#x30A4;&#x30AA;&#x30F3;&#x8CEA;&#x91CF;&#x5206;&#x6790;&#x6CD5;&#x306E;&#x57FA;&#x672C;&#x7684;&#x306A;&#x7269;&#x7406;&#x7684;&#x306A;&#x9650;&#x754C;&#x3082;&#x7406;&#x8AD6;&#x7684;&#x306B;&#x306F;&#x7406;&#x89E3;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x304C;&#x3001;&#x9054;&#x6210;&#x3059;&#x308B;&#x305F;&#x3081;&#x3001;&#x305D;&#x308C;&#x3089;&#x3092;&#x793A;&#x3059;&#x305F;&#x3081;&#x306B;&#x5B9F;&#x9A13;&#x7684;&#x306A;&#x4F5C;&#x54C1;&#x304C;&#x307E;&#x3060;&#x9032;&#x884C;&#x4E2D;&#x3067;&#x3059;&#x3002;&#x7A4D;&#x5C64;&#x69CB;&#x9020;&#x3001;16 &#x306E;&#x4EA4;&#x4E92; Si &#x57FA;&#x677F;&#x4E0A;&#x539F;&#x5B50;&#x5C64;&#x84B8;&#x7740;&#x306B;&#x3088;&#x308A;&#x6210;&#x9577;&#x3057;&#x305F; ~5.5 nm &#x306E; MgO &#x53CA;&#x3073; ZnO &#x306E;&#x5C64;&#x306E;&#x30B9;&#x30BF;&#x30C3;&#x30AF;&#x5B9F;&#x9A13;&#x9AD8;&#x5206;&#x89E3;&#x80FD; TOF &#x30B7;&#x30E0;&#x30BA; &#xFF08;&#x98DB;&#x884C;&#x6642;&#x9593;&#x578B;&#x4E8C;&#x6B21;&#x30A4;&#x30AA;&#x30F3;&#x8CEA;&#x91CF;&#x5206;&#x6790;&#x6CD5;&#xFF09; &#x6DF1;&#x3055;&#x65B9;&#x5411;&#x306E;&#x7D50;&#x679C;&#x3092;&#x5831;&#x544A;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#x9AD8;&#x5206;&#x89E3;&#x80FD;&#x4E8C;&#x6B21;&#x30A4;&#x30AA;&#x30F3;&#x8CEA;&#x91CF;&#x5206;&#x6790;&#x6CD5;&#x306F;&#x30CA;&#x30CE;&#x30EC;&#x30A4;&#x30E4;&#x30FC;&#x306E;&#x6DF1;&#x3055;&#x3002;

2 &#xCC28; &#xC774;&#xC628; &#xC9C8;&#xB7C9; &#xBD84;&#xC11D;&#xC758; &#xAE4A;&#xC774; &#xD574;&#xC0C1;&#xB3C4; &#xB300; &#xD55C; &#xADFC;&#xBCF8;&#xC801;&#xC778; &#xBB3C;&#xB9AC;&#xC801; &#xD55C;&#xACC4; &#xC774;&#xB860;&#xC5D0; &#xC774;&#xD574; &#xC798; &#xB418; &#xC788;&#xC9C0;&#xB9CC; &#xB2EC;&#xC131; &#xD558;&#xAE30; &#xC704;&#xD574; &#xADF8;&#xB4E4;&#xC744; &#xBCF4;&#xC5EC; &#xC2E4;&#xD5D8; &#xC791;&#xC5C5; &#xC5EC;&#xC804;&#xD788; &#xC9C4;&#xD589; &#xC911; &#xC774;&#xB2E4;. &#xC6B0;&#xB9AC;&#xB294; &#xACE0;&#xD574;&#xC0C1;&#xB3C4; TOF &#xC2EC;&#xC988; (&#xBE44;&#xD589; &#xC2DC;&#xAC04; 2 &#xCC28; &#xC774;&#xC628; &#xC9C8;&#xB7C9; &#xBD84;&#xC11D;) &#xAE4A;&#xC774; &#xD504;&#xB85C; &#xD30C;&#xC77C;&#xB9C1; 16 &#xAD50;&#xB300;&#xB85C; &#xBC18;&#xBCF5; &#xB418;&#xB294; &#xC6D0;&#xC790; &#xCE35; &#xC99D; &#xCC29; &#xD558; &#xC5EC; Si &#xAE30;&#xD310;&#xC5D0; &#xC131;&#xC7A5; MgO &#xBC0F; ZnO ~5.5 nm &#xB808;&#xC774;&#xC5B4; &#xC2A4;&#xD0DD; nanolayered &#xAD6C;&#xC870;&#xC5D0; &#xB300; &#xD55C; &#xC2E4;&#xD5D8;&#xC758; &#xACB0;&#xACFC; &#xBCF4;&#xACE0; &#xD569;&#xB2C8;&#xB2E4;.

&#xACE0;&#xD574;&#xC0C1;&#xB3C4; 2 &#xCC28; &#xC774;&#xC628; &#xC9C8;&#xB7C9; &#xBD84;&#xC11D; &#xAE4A;&#xC774; nanolayers&#xC758; &#xD504;&#xB85C; &#xD30C;&#xC77C;&#xB9C1;.

Aunque los l&iacute;mites f&iacute;sicos fundamentales para la resoluci&oacute;n de la profundidad de la espectrometr&iacute;a de masas de iones secundarios se entienden bien en teor&iacute;a, el trabajo experimental para lograr y demostrarles est&aacute; a&uacute;n en curso. Divulgamos resultados de alta resoluci&oacute;n profundidad de TOF SIMS (espectrometr&iacute;a de masas de iones secundarios de tiempo de vuelo), perfiles de experimentos sobre una estructura Polymeric, una pila de 16 alternando MgO y ZnO capas de nm ~5.5 crecidas sobre un sustrato de Si por la deposici&oacute;n de la capa at&oacute;mica.

C. Emil Tripa

Materials Science Division

Argonne National Laboratory

Characterization of Surface Modifications by White Light Interferometry: Applications in Ion Sputtering, Laser Ablation, and Tribology Experiments

C. Emil Tripa

.css-o250i3{font-size:18px;font-family:Open Sans,sans-serif;line-height:21.6px;}Materials Science Division

Argonne National Laboratory

Characterization of Surface Modifications by White Light Interferometry: Applications in Ion Sputtering, Laser Ablation, and Tribology Experiments

Materials Science Division