تصنيع وتوصيف الدليل الموجي الكريستال الضوئية الخفيفة بطيئة وتجاويف

Summary

استخدام الدليل الموجي الكريستال الضوئية ضوء بطيئة وتجاويف اعتمد على نطاق واسع من قبل المجتمع الضوئيات في العديد من التطبيقات المختلفة. ولذلك تصنيع وتوصيف هذه الأجهزة ذات أهمية كبيرة. هذه الورقة التقنية لدينا تصنيع وتوصيف بصري طريقتين، هما: نثر التداخل (الدليل الموجي) والرنانة (تجاويف).

Abstract

كان ضوء بطيئة واحدة من القضايا الساخنة في المجتمع الضوئيات في العقد الماضي، وتوليد اهتمام كبير سواء من وجهة نظر أساسية للمشاهدة وإمكاناتها الكبيرة للتطبيقات العملية. مرشد _ الموجة البطيئة ضوء الكريستال الضوئية، على وجه الخصوص، لعبت دورا رئيسيا ولقد استخدمت بنجاح لتأخير الإشارات الضوئية ^{8-11 1-4} وتعزيز كلا الجهازين الخطية ^5-7 و غير الخطية.

تجاويف الكريستال الضوئية تحقيق تأثيرات مماثلة لتلك التي مرشد _ الموجة الخفيفة بطيئة، ولكن على مدى انخفاض عرض النطاق الترددي هذه التجاويف نسبة عرض عالية Q-factor/volume، لتحقيق بصريا من ¹² و ¹³ كهربائيا ضخ الليزر عتبة منخفضة للغاية، وتعزيز الآثار غير الخطية. ^14-16 وعلاوة على ذلك، والمرشحات السلبي ¹⁷ و ^18-19 جهري أثبتت، معرض ضيقة جدا خط العرض، وارتفاع مجانا الأطياف صأنجي وسجل قيم استهلاك الطاقة منخفضة.

لتحقيق هذه النتائج مثيرة، لا بد من وضع بروتوكول تصنيع قوية للتكرار. ونحن في هذه الورقة إلقاء نظرة معمقة على بروتوكول تلفيق لدينا والتي تستخدم شعاع الإلكترون الطباعة الحجرية لتعريف أنماط الكريستال الضوئية ويستخدم تقنيات النقش الرطب والجاف. لدينا وصفة تصنيع الأمثل النتائج في البلورات الضوئية التي لا تعاني من التباين العمودي ويحمل جيدة جدا حافة الجدار خشونة. نناقش نتائج متفاوتة المعلمات الحفر والآثار الضارة التي يمكن أن يكون على جهاز، مما يؤدي إلى طريق التشخيص التي يمكن اتخاذها لتحديد والقضاء على قضايا مماثلة.

المفتاح لتقييم الدليل الموجي ضوء بطيئة هو توصيف السلبي للنقل ومجموعة أطياف الفهرس. تم الإبلاغ عن أساليب مختلفة، وأبرزها حل هامش فابري بيرو، من الطيف انتقال إلى ^20-21تقنيات التداخل د. ^22-25 وهنا، نحن تصف المباشر، وتقنية النطاق العريض قياس التداخل الطيفي مع الجمع بين تحليل تحويل فورييه ²⁶ طريقة لدينا تبرز لبساطته والسلطة، ونحن يمكن أن تميز الكريستال الضوئية عارية مع مرشد _ الموجة الوصول، دون الحاجة لمكونات تدخل على الرقاقة، والإعداد يتكون فقط من تداخل ماخ زيندر، ولا حاجة لنقل قطع الغيار وعمليات الفحص تأخير.

عندما تميز تجاويف الكريستال الضوئية، والتقنيات التي تنطوي على مصادر داخلية ²¹ أو مرشد _ الموجة الخارجية بالإضافة مباشرة إلى الأثر ²⁷ تجويف على أداء تجويف نفسها، وبالتالي تشويه القياس. هنا، نحن تصف تقنية جديدة وغير تدخلية الذي يجعل من استخدام شعاع التحقيق عبر الاستقطاب وكما هو معروف نثر الرنانة (RS)، حيث يقترن التحقيق خارج الطائرة في تجويف من خلال الهدف. كان أول تقنية البرهانتيد بنسبة ^28. ماك كوتشون وآخرون وتطويرها من قبل جالي وآخرون ²⁹

Protocol

تنويه: البروتوكول التالي يعطي تدفق العملية العامة التي تغطي تقنيات التصنيع والتوصيف للمرشد _ الموجة الضوئية الكريستال وتجاويف. تم تحسين عملية تدفق للمعدات محددة متاحة في مختبرنا، والمعلمات قد تختلف إذا تم استخدام الكواشف الأخرى أو المعدات.

1. تحضير العينة

1. الانفطار عينة - اتخاذ السيليكون على العازل (SOI) رقاقة واستخدام الماس الكاتب الى نقطة الصفر تقريبا خط 1-2 ملم طويلة من على حافة سطح السيليكون، وضمان أن لا شيء يمتد على حافة الرقاقة. محاذاة الصفر إلى حافة مستقيمة (على سبيل المثال أن من شريحة المجهر) وممارسة الضغط حتى إيجابية لكلا الجانبين من نقطة الصفر: الرقاقة سوف يلتصق على طول الطائرة الكريستال في الموقع الصفر كرر هذا الإجراء لتحديد الشريحة بأكملها.
2. تنظيف العينة - مكان العينة في الأسيتون باستخدام ملاقط لتنبيهتنظيف الثانية في حمام بالموجات فوق الصوتية لمدة 1-2 دقيقة. إزالة عينة من الأسيتون، شطف أي الأسيتون المتبقية من العينة باستخدام الأيزوبروبانول تنبيه (30 ثانية) (كل من الأسيتون والأيزوبروبانول قابلة للاشتعال: استخدام التهوية الجيدة وتجنب كل مصادر الإشعال). تجفيف العينة باستخدام بندقية نظيفة النيتروجين الجاف.
3. تدور مقاومة - وضع العينة على أن المغطي الجانبية. ماصة الإلكترون الحساسة مقاومة ZEP520A تنبيه (ZEP520A هو قابل للاشتعال، ضار عن طريق الإستنشاق وملامسة الجلد والعينين وينبغي تجنب) على عينة - استخدام ما يكفي لتغطية مقاومة تماما العينة دون مقاومة تدفق على الحافة. تدور العينة وذلك لإعطاء تقريبا. 350 نانومتر سميكة فيلم ويخبز على موقد على حرارة 180 درجة مئوية لمدة 10 دقيقة. وجدنا هذا ليكون سمك سمك الأمثل الذي يوازن القرار ومقاومة حفر (انظر لاحقا).

2. نمط تعريف

1. تصميم - باستخدام البرامج المناسبة، محاكاة نمط الكريستال الضوئية المطلوبة. A خدرإيه من حزم البرامج المفيدة المتاحة، بما في ذلك سبيل المثال لا الحصر: MIT البولنجر الضوئية (MPB)، FullWAVE (RSoft)، MIT الدعوة المعادلات الكهرومغناطيسية (MEEP).
2. الجيل نمط - إنشاء الملفات التعرض (GDS تنسيق بشكل عام) والخطأ القرب الصحيح باستخدام البرامج المناسبة ^30.
3. التعرض نمط - تحميل العينة إلى غرفة للنظام الطباعة الحجرية شعاع الإلكترون (LEO 1530 / Elphy رايث) وضخ أسفل. مرة واحدة وقد تحقق فراغ، والتبديل على توريد EHT وتعيين إلى 30 كيلو فولت. ترك النظام في هذه الدولة لمدة 1 ساعة للسماح للعينة، وغرفة المرحلة للوصول إلى درجة حرارة التوازن. انشاء تعرض كما هو مبين في دليل المستخدم الخاص بك من نظام الطباعة الحجرية شعاع الإلكترون محددة. كشف العينة باستخدام المناسبة حجم الخطوة الأساسية (على سبيل المثال 2 نانومتر) (وهذا يجري بكسل حجم الحد الأدنى الذي يمكن أن يعرض النظام)، وهو وقت تسوية ما لا يقل عن 1 مللي ثانية (وهذا يجري في الوقت الذي ينتظر نظام نقل بين الحزم وتعريضوجزء معين من نمط)، وجرعة مساحة 55 μAcm ^-2.
4. التنمية عينة - الزيلين باستخدام تنبيه (الزيلين العمل على حد سواء القابلة للاشتعال وشديدة السمية في منطقة جيدة التهوية بعيدا عن مصادر الاشتعال وتجنب ملامسة الجلد والعينين) عند درجة حرارة 23 ° C تطوير نموذج لمدة 45 ثانية. شطف في الأيزوبروبانول.

3. نقل باتن

1. RIE غرفة التنظيف - لضبط معدلات تدفق الأرجون والهيدروجين إلى 200 SCCM. خنق أسفل المضخة، صمام فراشة عن طريق، لتحقيق الضغط غرفة 1 × 10 ^-1 ميللي بار. تعيين السلطة RF إلى 100 W، إشعال البلازما وتشغيل ما لا يقل عن 10 دقيقة - وجود تحيز DC حوالي ينبغي مراعاتها 700 V. بعد إيقاف ع / H ₂ البلازما، والسماح للغرفة على ضخ ما يقرب من 1 دقيقة. تعيين معدل تدفق الأوكسجين إلى غرفة إلى 200 SCCM وخنق الضغط مرة أخرى وصولا الى غرفة 1 × ^-1 ميللي بار 10. إشعال البلازما 2من الأكسجين مع قوة من 100 W وتشغيل لمدة 5 دقائق. بعد هذه الإجراءات، وأضاف أن الغرفة تكون خالية من الملوثات، مثل مخلفات البوليمر، من أي حفر الجافة السابقة. نحن تنفيذ هذا الإجراء قبل كل تغيير في صفة حفر لضمان أقصى قدر من التكرار. هو الأمثل لهذا الإجراء نظامنا الذي يتكون من لوحة موازية، محملة الكاثود، RIE؛ بوصة مع الرئيسي 12 غرفة في قطر بنسبة 14 بوصة في الارتفاع، بما في ذلك منفذ 12 بوصة مع كل صمام اختناق ومضخة توربو الجزيئية المرفقة.
2. النقش كريستال الضوئية - تحميل العينة في غرفة RIE الرئيسية ونظام ضخ وصولا الى ضغط خلفية <3 × 10 ^-6 ميللي بار لضمان مجانية وغرفة بخار الماء. بدء حفر من قبل تكييف غرفة مع الغازات الحفر (أي CHF ₃ و SF _6): تحديد معدل تدفق الغازات على حد سواء إلى 100 ​​SCCM (أي تحديد نسبة الغاز من 1:1) واستخدام دواسة الوقود جعل غرفة الضغط إلى 5 × 10 ؛ سماح للغازات بالتدفق لا يقل عن 10 دقيقة. بعد تكييف المسبق، تعيين الطاقة RF لحوالي 20 W وإشعال البلازما؛ حفر العينة لحوالي 2 دقيقة (معدل حفر من السيليكون لهذه المعلمات حفر ما يقرب من 150 نانو متر / دقيقة)، مع ضمان أن الضغط غرفة ويحتفظ 5 × 10 ^-2 ميللي بار. وينبغي تحقيق التحيز A 200-220 V DC بين طوال فترة الحفر.
3. عينة تنظيف لإزالة ما تبقى من مقاومة الإلكترون الحساسة - بعد النمش الجاف، وتنظيف العينة وذلك بدهن في تنبيه مزيل 1165 (1165 قابلة للاشتعال ويمكن أن يسبب تهيج للعيون الجهاز التنفسي الأنف و،) مع الإثارة بالموجات فوق الصوتية لمدة 1-2 دقيقة، تليها الأسيتون والأيزوبروبانول على النحو المبين أعلاه (الخطوة 1.2).
4. عزل الغشاء - تدور معطف العينة مع الصور الحساسة للأشعة فوق البنفسجية مقاومة تنبيه Microposit S1818 G2 (S1818 G2 على حد سواء القابلة للاشتعال ويسبب تهيج للعيون والأنف والجهاز التنفسي) (انظر الخطوة 1.3). باستخدام appropriatه ألواح photomask تحديد النوافذ في مقاومة فوق أنماط الكريستال الضوئية باستخدام قناع اليجنر UV. تعرض العينة لحوالي 30-45 ثانية. تطوير مقاومة في تنبيه Microposit المطور MF-319 (MF-319 هو السائل القلوي ويمكن أن يسبب تهيج للعيون الجهاز التنفسي الأنف و،) لمدة 30-45 ثانية، الشطف بعد ذلك في دي المتأينة المياه. إعداد كوب من البلاستيك مع مزيج من حمض الهيدروفلوريك تنبيه 01:05 (1.1499 جم / مل 48-51٪ HF) (HF هو تآكل للغاية ويدمر الأنسجة بسهولة، عند التعامل مع كامل استخدام معدات الوقاية الشخصية تقييما للHF) لدي المتأينة المياه. نلاحظ أن لأسباب تتعلق بالسلامة وينبغي استخدام الأكواب البلاستيكية وملاقط فقط مع حمض الهيدروفلوريك. غمر العينة في خليط حامض الهيدروفلوريك لمدة 15 دقيقة. بعد الحفر، وشطف العينة بدقة في دي المتأينة المياه. إزالة ما تبقى من الصور باستخدام الأسيتون ومقاومة الأيزوبروبانول (راجع الخطوة 1.2) - لا يمكن من هذه المرحلة فصاعدا والتحريض بالموجات فوق الصوتية يمكن استخدامها. لضمان عينةنظيفة قدر الإمكان، اتبع الأسيتون والأيزوبروبانول غسيل شطف مع البيرانا في حل تنبيه (البيرانا الحل هو نشيط جدا، ويهاجم انفجار المواد العضوية، عند التعامل مع كامل استخدام معدات الوقاية الشخصية) (3:1 حامض الكبريتيك تنبيه (الكبريتيك حمض تآكل والسامة جدا، عند التعامل مع استخدام معدات الوقاية الشخصية وتجنب استنشاق الأبخرة أو الرذاذ) لتنبيه بيروكسيد الهيدروجين (فوق أكسيد الهيدروجين إلا أنها شديدة الخطورة في حالة ملامسة الجلد والعين، وعند التعامل مع استخدام معدات الوقاية الشخصية)) لمدة 5 دقائق ، ثم شطف العينة في دي المتأينة الأسيتون، والأيزوبروبانول المياه. نلاحظ أن لأسباب تتعلق بالسلامة وينبغي استخدام الأكواب الزجاجية وملاقط معدنية فقط مع الحل البيرانا. كحل البيرانا يمكن أن تنفجر في اتصال مع الأسيتون أو الأيزوبروبانول، ينبغي التعامل معها بعيدا عن هذه الكواشف.
5. الانفطار الوجه - إذا إعداد الضوئية الكريستال بطيئة ضوء الدليل الموجي، العينة يتطلب الانفطار الوجه. ويلتصق SAوينبغي أن تستخدم mple باتباع نفس الإجراء كما هو موضح في الخطوة 1.1، إلا أن الصفر كما صغير ممكن. يمكن أن يكون رقاقة SOI مع الركيزة ~ 700 ميكرون سميكة المشقوق موثوق وصولا الى عينات مم 4-5 طويلة.

4. كريستال الضوئية توصيف الدليل الموجي للضوء بطيئة

1. إعداد الأولية من الإعداد - ربط الناتج من تضخيم النطاق العريض تنبيه الانبعاثات العفوية (ASE) مصدر الضوء (غير مرئية IR الإشعاع: تجنب القوى عالية لا لزوم لها، وتغطي مسار الشعاع إن أمكن) إلى التقسيم 3 ديسيبل الألياف واستخدام كل من النواتج ضوء الزوجين في أحضان اثنين من interferometeter ماخ زيندر في الفضاء الحر (MZI)، كما هو مبين في الشكل 9. استخدام العدسات شبه كروي لcollimate إخراج الضوء من الألياف. في واحدة من الأسلحة للتداخل، استخدام اثنين من العدسات شبه كروي إضافية لزوجين شعاع ضوء ويخرجون من شريحة العينة. وضع الاستقطاب شعاع الخائن (PBS) في الذراع عينة لligh في استقطاب TE-ر إدخال العينة. استخدام العدسات شبه كروي لزوجين الحزم خرج خارجي ذي مسارات متوازية من كل الأسلحة مرة أخرى إلى الثاني 3 ديسيبل الخائن الألياف، حيث أنها سوف إعادة تجميع. الاتصال احدة من المخرجات إلى كاشف الأشعة تحت الحمراء واستخدام القراءة من كاشف لتحقيق أقصى قدر من اقتران الضوء في العينة؛ توصيل الإخراج الأخرى إلى محلل الطيف الضوئي (OSA). ينبغي أن الأسلحة اثنين من MZI لها تقريبا نفس الطول البصرية عندما تكون في وجود العينة: تأكد من أن الألياف في أحضان اثنين من MZI وطول نفس الاسمية وتشمل المرحلة تأخير الانضباطي في الذراع مرجع للسماح لتعديل غرامة طوله. في الذراع العينة، تحميل العدسات شبه كروي على مراحل الدقة XYZ للحصول على أفضل اقتران في العينة.
2. ضبط إشارة طول الذراع - زوجين شعاع ضوء إلى الدليل الموجي فارغة ريدج (أي بدون الكريستال الضوئية) (من نفس النوع عن وصول ضوء ذلك الدليل الموجي الأعلاف داخل البلورات الضوئية) وايرقيقة الشريحة نفسها في الذراع العينة. تشغيل تفحص المستمر على OSA ومراقبة الطول الموجي أطياف المقاسة. إذا كانت الأسلحة اثنين من MZI لها تقريبا نفس الطول البصرية، ومعرض أطياف هامش بسبب تدخل البناء والهدام، وهذه الأهداب سوف لن تظهر اذا أحضان MZI لها أطوال مختلفة جدا البصرية (> ~ سم). التباعد هامش تتناسب عكسيا مع الفرق في طول مسار بصري بين ذراعي. نقل المرحلة تأخير لجعل الذراع المرجعية أقصر ومراقبة هامش في OSA: إذا أصبحت أكثر كثافة (تناثرا)، الذراع إشارة أقصر (أطول) من الذراع العينة. تعيين المرحلة تأخير للتأكد من أن ذراع المرجعية أقصر من ذراع العينة والنتائج في تباعد هامش حوالي 5 إلى 10 في هامش مجموعة الطول الموجي 10 نانومتر (انظر الشكل 10A). وأخيرا، تنفيذ هذا التحسين على الجهاز الذي يوفر أقصى قدر من التأخير ومن ثم الحفاظ على تأخير ثابتة طول القياسمن العينة كلها.
3. معايرة تشغيل - في حين لا يزال على محاذاة الدليل الموجي فارغة، تشغيل ثلاثة بالاشعة على OSA: واحد المسح الضوئي للطيف تدخل واحد المسح الضوئي لكل من ذراعي بشكل منفصل (عن طريق عرقلة الحصول على الذراع الأخرى). استخدام قرار من 0،05-0،1 نانومتر. تسجيل كل الطيف المقاسة.
4. بطء الحصول على البيانات ضوء - تشغيل وتسجيل ثلاث الأطياف كما في الخطوة 4.3 لكل الدليل الموجي الكريستال الضوئية على الشريحة.
5. فورييه تحليل البيانات - الطيف تدخل (تداخل) ويعبر عن رياضيا I (ω) من قبل:
   I (ω) = S (ω) + R (ω) + الجذر التربيعي [S (ω) R (ω)] {إكسب [iΦ (ω) - iωτ] + نسخة}،
   حيث S (ω) وR (ω) هي الكثافة الطيفية قياس حدة من العينة المرجعية والأسلحة، على التوالي. تم تعيين τ تأخير من موقف للمرحلة التأخير في الذراع مرجع. وترد المعلومات على تشتت الدليل الموجي الكريستال الضوئية في المرحلةالمدى، التي يجب أن استخراج البيانات من قياس.
   طرح غير التدخل الخلفية S (ω) + R (ω) من تداخل فقط لعزل مصطلح التدخل. حساب تحويل فورييه للمصطلح التدخل: في المدى الجذر التربيعي (SR) إكسب [I (Φ-ωτ)] والمتقارن المعقدة التي تتوافق مع قمم تركزت في T = T = τ و-τ، على التوالي. تصفية عدديا واحد من المصطلحين وتحويل مرة أخرى إلى المجال الترددي. التفريق بين مرحلة Φ (ω) - ωτ من البيانات الناتجة فيما يتعلق ω للحصول على Δτ _غرام، الفرق في تأخير المجموعة بين ذراعي. المجموعة يعطى مؤشر ن _ز = ج / ت _{ز، ز} ت مع سرعة الفريق، من خلال:
   ن _ز = _(ز Δτ ^{الرعاية الصحية الأولية} - Δτ _ز ^CAL) ج / L + N _كال،
   حيث يتم الحصول على Δτ _ز ^كال من البيانات المعايرة اتخذت الابام الدليل الموجي فارغة، L هو الدليل الموجي الكريستال الضوئية طول _وكال ن = 2.7 هو مؤشر الفعال للإشارة الدليل الموجي ريدج. يتم أخذ مساهمة في تأخير من العناصر البصرية المختلفة من الإعداد في الاعتبار على المدى المعايرة، وبالتالي يتم طرح في هذه الخطوة.

6. منحنى انتقال - حساب منحنى انتقال المرض من خلال تطبيع الطيف عينة من الدليل الموجي الكريستال الضوئية إلى أن من الدليل الموجي فارغة.

5. توصيف الضوئية التجويف البلوري

1. إعداد - إعداد الإعداد (الشكل 14) لRS تشمل: تحويل عنصر إلى صرف الخائن شعاع الاستقطاب؛ إدراج polariser في الذراع المدخلات فضلا عن محلل في الذراع الناتج؛ الوجه مرآة في الذراع التحقيق للسماح للاستخدام مصدر الأشعة تحت الحمراء القريبة؛ السماح للإضاءة العينة. تحميل العينة رأسيا مع التوجه إلى محور 45 °من المستقطب (الشكل 18) على الفرق الصغيرة مدفوعة XYZ منع وضبط كتلة صغيرة بحيث تكون العينة في التركيز ويمكن رؤية تجويف مع الكاميرا، كما في الشكل 15 (اليسار). باستخدام الانبعاثات تضخيم عفوية (ASE) المصدر، محاذاة شعاع مع مركز الشكل تجويف 15 (الحق). الوجه مرآة بعيدا الإضاءة والسماح للذراع إخراج لدخول مطياف (مستوحد اللون مع مجموعة كاشف المرفقة). بدء فحص واسعة النطاق مع منخفضة إلى معتدلة القرار من أجل تحديد القمم تجويف. الحصول على الطول الموجي الخشنة من صدى في مسح ASE (16A الشكل) مع دقة من 1 نانومتر. ومن الممكن أيضا للحصول على مسح واسعة النطاق مع ليزر مصدر تنبيه الانضباطي (TLS) (الشكل 16B) (IR الإشعاع غير مرئية: تجنب القوى عالية لا لزوم لها، وتغطي مسار الشعاع إذا كان ذلك ممكنا). على المرء أن يكون حذرا من أن يتم تعيين الدقة إلى أعلى قيمة من أجلأخذ عينات من خط بعرض كل الذروة.
2. أداء عالية الدقة مسح على القمم التي تم تحديدها - ربط TLS على الذراع المدخلات والتخفيف من شعاع إلى مستوى ميغاواط. الاستعداد لمسح عالية الدقة عن طريق السماح ليتم جمع الذراع الناتج عن photodetector وإقامة مسح الاجتياح المستمر مع قرار من 1 مساء لمجموعة نانومتر 2 تركزت في الطول الموجي وجدت صدى في السابق. على أهمية هذه الخطوة في تحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء (SNR) بهدف الحصول على شكل خط Lorentzian صدى: تغيير موقف XYZ من كتلة الجزئي وإعادة تشغيل المسح الضوئي وحتى يتم تكبير SNR والخط الشكل على مقربة من تلك التي من Lorentzian، كما هو موضح في القسم نتيجة ممثل.

النتائج

Fabricated samples

Figure 1 shows a scanning electron microscope (SEM) image of an exposed and developed pattern in electron beam resist - it is evident from the "clean" edge between the resist and the silicon substrate that complete exposure/development has been accomplished. Exposure of dose test patterns, consisting of simple repeated shapes (in our case 50 × 50 μm squares), each with a differing base dose, are used to determine the correct dose factor and developmen...

Discussion

عينة تلفيق

اختيارنا للمقاومة شعاع الإلكترون (أي ZEP 520A) ويرجع ذلك إلى ارتفاع قرارها في وقت واحد والمقاومة حفر. ونحن نعتقد أن قد تتأثر 520A ZEP من ضوء الأشعة فوق البنفسجية المنبعثة من مصابيح المختبر النفقات العامة، على هذا النحو فإن?...

Materials

Name	Company	Catalog Number	Comments
Acetone	Fisher Scientific	A/0520/17	CAUTION: flammable, use good ventilation and avoid all ignition sources.
Isopropanol	Fisher Scientific	P/7500/15	CAUTION: flammable, use good ventilation and avoid all ignition sources.
Electron Beam resist	Marubeni Europe plc.	ZEP520A	CAUTION: flammable, harmful by inhalation, avoid contact with skin and eyes.
Xylene	Fisher Scientific	X/0100/17	CAUTION: flammable and highly toxic, use good ventilation, avoid all ignition sources, avoid contact with skin and eyes.
Microposit S1818 G2	Chestech Ltd.	10277866	CAUTION: flammable and causes irritation to eyes, nose and respiratory tract.
Microposit Developer MF-319	Chestech Ltd.	10058721	CAUTION: alkaline liquid and can cause irritation to eyes, nose and respiratory tract.
Hydrofluoric Acid	Fisher Scientific	22333-5000	CAUTION: extremely corrosive, readily destroys tissue; handle with full personal protective equipment rated for HF.
Microposit 1165 Remover	Chestech Ltd.	10058734	CAUTION: flammable and causes irritation to eyes, nose and respiratory tract.
Sulphuric Acid	Fisher Scientific	S/9120/PB17	CAUTION: corrosive and very toxic; handle with personal protective equipment and avoid inhalation of vapours or mists.
Hydrogen Peroxide	Fisher Scientific	BPE2633-500	CAUTION: very hazardous in case of skin and eye contact; handle with personal protective equipment.
Equipment
Silicon-on-Insulator wafer	Soitec	G8P-110-01
Diamond Scribe	J M Diamond Tool Inc.	HS-415
Microscope slides	Fisher Scientific	FB58622
Beakers	Fisher Scientific	FB33109
Tweezers	SPI Supplies	PT006-AB
Ultrasonic Bath	Camlab	1161436
Spin-Coater	Electronic Micro Systems Ltd.	EMS 4000
Pipette	Fisher Scientific	FB55343
E-beam Lithography System	Raith Gmbh	Raith 150
Reactive Ion Etching System	Proprietary In-house Designed	--
UV Mask Aligner	Karl Suss	MJB-3
ASE source	Amonics	ALS-CL-15-B-FA	CAUTION: invisible IR radiation.
Single mode fibers	Thorlabs	P1-SMF28E-FC-2
3 dB fiber splitters	Thorlabs	C-WD-AL-50-H-2210-35-FC/FC
Aspheric lenses	New Focus	5720-C
XYZ stages	Melles Griot	17AMB003/MD
Polarizing beamsplitter cube	Thorlabs	PBS104
IR detector	New Focus	2033
100× Objective	Nikon	BD Plan 100x
Oscilloscope	Tektronix	TDS1001B
Optical Spectrum Analyzer	Advantest	Q8384
IR sensor card	Newport	F-IRC2
TLS source	Agilent	81940A	CAUTION: invisible IR radiation.
IR Camera	Electrophysics	7290A
IR Detector	New Focus	2153
Digital Multimeter	Agilent	34401A
Illumination	Stocker Yale	Lite Mite
Monochromator	Spectral Products	DK480
Array Detector	Andor	DU490A-1.7
GIF Fiber	Thorlabs	31L02