JoVE Logo

Sign In

A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.

In This Article

  • Summary
  • Abstract
  • Introduction
  • Protocol
  • النتائج
  • Discussion
  • Disclosures
  • Acknowledgements
  • Materials
  • References
  • Reprints and Permissions

Summary

ويرد عملية تصنيع الرقائق الدقيقة التي تتضمن ملاقط plasmonic هنا. رقاقة تمكن التصوير من الجسيمات المحاصرين لقياس قوات محاصرة القصوى.

Abstract

ملاقط Plasmonic استخدام بولاريتون مأكل سطح لحصر الأجسام النانوية قطوب. بين تصاميم مختلفة من ملاقط plasmonic، سوى عدد قليل يمكن أن نلاحظ جزيئات يجمد. وعلاوة على ذلك، فإن عددا محدودا من الدراسات قياسها تجريبيا قوات exertable على الجسيمات. يمكن تصنيف التصاميم وجاحظ نوع nanodisk أو قمعها نوع nanohole. لهذا الأخير، والمراقبة المجهرية هي صعبة للغاية. في هذه الورقة، وإدخال نظام منتاش plasmonic جديد لرصد الجسيمات، سواء في اتجاهات متوازية ومتعامدة مع محور متماثل هيكل nanohole plasmonic. هذه الميزة تتيح لنا مراقبة حركة كل جسيم بالقرب من حافة nanohole. وعلاوة على ذلك، يمكننا تقدير كمي لقوات محاصرة القصوى باستخدام قناة الموائعية جديدة.

Introduction

القدرة على التعامل مع الأشياء الميكروسكيل هي ميزة لا غنى عنها للعديد من التجارب الصغيرة / نانو. يمكن التلاعب الاتصال مباشرة يضر الكائنات التلاعب بها. الافراج عن الكائنات التي عقدت سابقا هو أيضا تحديا بسبب مشاكل stiction. للتغلب على هذه القضايا، العديد من الطرق غير المباشرة باستخدام فلويديك 2 الكهربائية، والمغناطيسية أو قوات الضوئية 8 تم اقتراحها. تستند ملاقط Plasmonic التي تستخدم قوات الضوئية على فيزياء استثنائية تعزيز المجال عدة أوامر أكبر من شدة الحادث 9. هذا التعزيز ميداني قوي للغاية تمكن محاصرة من جزيئات صغيرة جدا. على سبيل المثال، فقد تبين لشل والتلاعب النانوالأشياء، مثل جزيئات البوليستيرين 7 و 10 و 11 و 12 و 13 و 14 و 15 سلاسل البوليمر والبروتينات 16، النقاط الكمومية 17، وجزيئات DNA 18. دون ملاقط plasmonic، فمن الصعب أن الجسيمات النانوية فخ لأنها تختفي بسرعة قبل أن يتم فحصها بشكل فعال أو لكانت معطوبة بسبب كثافة عالية من الليزر.

وقد استخدمت العديد من الدراسات plasmonic مختلف الهياكل الذهب النانوية. يمكننا تصنيف الهياكل الذهب وجاحظ أنواع nanodisk 12، 13، 14، 15، 19 ، 20، 21 أو قمعها أنواع nanohole 10، 11، 22، 23. من حيث الراحة والتصوير، وأنواع nanodisk هي أكثر ملاءمة من أنواع nanohole لأن لهذا الأخير، يمكن للركائز الذهب عرقلة عرض الملاحظة. وعلاوة على ذلك، يحدث محاصرة plasmonic بالقرب من هيكل plasmonic ويجعل المراقبة أكثر تحديا. إلى حد علمنا، محاصرة plasmonic على أنواع nanohole تم التحقق فقط باستخدام إشارات نثر غير المباشرة. ومع ذلك، لا الملاحظات المباشرة الناجحة، مثل الصور المجهرية، فقد تم الإبلاغ عنها. ووصف عدد قليل من الدراسات الموقف من الجسيمات المحاصرين. وقدم واحدة من هذه النتيجة وانغ وآخرون. وأنشأوا عمود الذهب على ركيزة الذهب، ولاحظ عالمادة الحركة باستخدام المجهر الفلورسنت 24. ومع ذلك، هذا هو فعالة فقط لرصد الحركات الجانبية وليس في اتجاه مواز لمحور الحزمة.

في هذه الورقة، ونحن نقدم تصميم رقاقة وتلفيق إجراءات الموائعية جديدة. باستخدام هذه الشريحة، علينا أن نظهر رصد الجسيمات المحاصرين plasmonically، سواء في اتجاهات متوازية ومتعامدة مع البنية النانوية plasmonic. وعلاوة على ذلك، فإننا قياس القوة القصوى للجسيمات يجمد عن طريق زيادة سرعة السائل للعثور على سرعة تحول في رقاقة. هذه الدراسة هي فريدة من نوعها لأن معظم الدراسات على ملاقط plasmonic لا يمكن أن تظهر من الناحية الكمية قوات محاصرة القصوى المستخدمة في الاجهزة الخاصة بهم التجريبية.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Protocol

تنبيه: يرجى الرجوع إلى جميع أنظمة السلامة المواد ذات الصلة قبل الاستخدام. العديد من المواد الكيميائية المستخدمة في تصنيع الرقائق الدقيقة هي شديدة السمية ومسرطنة. الرجاء استخدام جميع ممارسات السلامة المناسبة عند تنفيذ عمليات ضوئيه والنقش، بما في ذلك استخدام الضوابط الهندسية (غطاء الدخان، صفيحة ساخنة، واليجنر)، ومعدات الوقاية الشخصية (النظارات الواقية والقفازات ومعطف المختبر، والسراويل كامل طول، وأغلق -أحذية اصبع القدم).

1. تصنيع متناهية PDMS

  1. تصنيع القالب متناهية من قبل عملية طبعة حجرية ضوئية
    1. تماما إزالة المواد الغريبة على 4 بوصة سطح سي رقاقة مع تنظيف سمكة البيرانا (الشكل 1A). مزيج حمض الكبريتيك (H 2 SO 4) وبيروكسيد الهيدروجين (H 2 O 2) في نسبة 3: 1 لجعل الحل البيرانا في الطبق. مزيج من خلال إضافة تدريجيا كميات صغيرة من حمض قوي (H 2 O 2) إلى حمض ضعيف (H 2 SO 4)؛ عكس هذا الأمر قد يسبب انفجار بسبب حامض قوي شديد التفاعل.
    2. تزج الرقاقة في حل سمكة البيرانا لمدة 10 دقيقة. وفي وقت لاحق، تزج الرقاقة في (DI) منزوع الأيونات الماء لمدة 3 دقائق لإزالة حل البيرانا المتبقية. شطف الرقاقة مع المياه المتدفقة DI لمدة 10 ثانية. كرر الإجراء الشطف 3 مرات والجافة مع غاز N 2 لإزالة ما تبقى من DI.
    3. وضع رقاقة على طبق ساخن لمدة 20 دقيقة على حرارة 180 درجة مئوية لزيادة يذوى الرقاقة.
    4. صب 5 مل من مقاومة للضوء سلبي على رأس رقاقة وتدور معطف لمدة 45 ق في 1500 دورة في الدقيقة (الشكل 1B). بعد طلاء زيادة ونقصان، يتم إنشاء حبة مقاومة للضوء على حافة رقاقة بسبب اللزوجة العالية نسبيا من مقاومة للضوء.
    5. تحقيق التوازن بين الرقاقة المغلفة مقاومة للضوء عن طريق planarization على موقف التسوية لمدة 5 ساعات.
    6. وضع رقاقة المغلفة مقاومة للضوء على طبق ساخن لمدة 12 دقيقة في 65° C، 35 دقيقة في 95 درجة مئوية، و 12 دقيقة في 65 ° C (الخبز لينة).
    7. إصلاح قناع الفيلم على حامل القناع ورقاقة لينة خبز على المسرح ركيزة من اليجنر. تعرض للأشعة فوق البنفسجية (UV) ضوء لمدة 43 ق 650 ميغا جول / سم 2 إلى ترسيخ مقاومة للضوء.
    8. وضع رقاقة على طبق ساخن لمدة 5 دقائق عند 65 درجة مئوية، لمدة 15 دقيقة في 95 درجة مئوية، و 5 دقائق عند 65 درجة مئوية (بعد التعرض الخبز).
    9. تزج الرقاقة في تطوير مقاومة للضوء لمدة 30 دقيقة لإزالة مقاوم الضوء unsolidified.
    10. شطف الرقاقة مع ايزوبروبيل (IPA) والجافة مع غاز N 2 لإزالة ما تبقى IPA.
  2. صناعة متناهية PDMS
    1. علاج سطح الرقاقة والعفن مقاومة للضوء لمدة 1 دقيقة في قوة 200 واط باستخدام جهاز البلازما في الغلاف الجوي 25. تدفقات الغاز من CH 4 وينبغي أن يكون 6 و 30 SCCM، على التوالي. أداء هذا العلاج مسعور لفصل بسهولة polydimethylsiloxane (PDMS) متناهية من سطح الرقاقة والعفن مقاومة للضوء (الشكل 1C).
    2. إعداد الحل PDMS عن طريق خلط قاعدة PDMS وكيل علاج في نسبة 10: 1. يحرك الخليط لمدة 2 دقيقة.
    3. وضع رقاقة داخل طبق بتري (150 ملم × 15 ملم) وإضافة 100 مل من محلول PDMS. إزالة الفقاعات التي تم إنشاؤها من اثارة باستخدام مجفف.
    4. وضع طبق بتري في الفرن لمدة 2 ساعة عند 80 درجة مئوية إلى ترسيخ حل PDMS (1D الشكل) و (ح).
    5. قطع على طول الخطوط العريضة للمتناهية PDMS بشفرة حلاقة وسلخه من الرقاقة. يجب أن يكون متناهية PDMS ملفقة الأبعاد التالية: 13 مم لونغ، و 300 ميكرون واسعة، و 150 ميكرون عالية (أرقام 1E، وأنا).
      ملاحظة: يتم إنتاج نوعين من الثقوب عن طريق بزل مجهري لإدراج الألياف أحادية النمط (SMF) الكابل وأنابيب (مدخل لالثانية مخرج) على PDMS متناهية (الشكل 1G). يتم استخدام كابل SMF إلى تنبعث منها شعاع الليزر إلى nanohole المضروب على طبق من ذهب. يتم استخدام أنبوب لادخال / استخراج حل الجسيمات من / متناهية PDMS.
    6. ثقب مدخل 1.5 ملم ومنفذ ثقوب في كل نهاية متناهية PDMS. ثقب 0.3 ملم SMF حفرة كابل في مركز متناهية PDMS.

2. عملية الحفر لوحة من الذهب

  1. إعداد لوحة من الذهب المتاحة تجاريا مع أبعاد 25 × 6.25 مم 2 (الشكل 2A).
  2. إزالة أي مواد أخرى غريبة على طبق من ذهب للإجراءات التنظيف التالية. نظيفة في الترتيب التالي من تخبط في الأسيتون والميثانول والماء DI لمدة 5 دقائق لكل منهما.
  3. شطف طبق من ذهب 3 مرات بالماء DI لمدة 10 ق وتجفيف لوحة بالغاز N 2 لإزالة المياه DI المتبقية.
  4. وضع طبق من ذهب على طبق ساخن ل20 دقيقة على حرارة 180 درجة مئوية لإزالة تماما أي الرطوبة المتبقية.
  5. صب 0.5 مل من hexamethyldisilazane (HMDS) على طبق من ذهب ومعطف تدور لمدة 40 ق في 3000 دورة في الدقيقة.
  6. صب 0.5 مل من مقاومة للضوء إيجابي على أعلى HMDS المغلفة تدور وتدور معطف ل40 ق في 3000 دورة في الدقيقة (الشكل 2B).
  7. وضع لوحة من الذهب المطلي مقاومة للضوء على طبق ساخن لمدة 90 ق في 110 ° C (الخبز لينة).
  8. إصلاح قناع الفيلم على رقاقة الزجاج ووضع لوحة من الذهب لينة خبز على المسرح الركيزة. فضح لضوء الأشعة فوق البنفسجية ل4.5 الصورة في 64 ميغا جول / سم 2 على حل مقاومة للضوء.
  9. تزج وحة من الذهب في تطوير مقاومة للضوء لمدة 1 دقيقة لإزالة مقاوم الضوء المنحل (الشكل 2C). شطف طبق من ذهب بماء DI والجافة مع غاز N 2.
  10. تزج وحة من الذهب في منمش الاتحاد الافريقي لمدة 45 ق بمعدل النقش من 28 A / S لإزالة الاتحاد الافريقي يتعرض (الشكل 2D). شطف وحة من الذهب مع توفير المياه DIص والجافة مع غاز N 2.
  11. تزج وحة من الذهب في منمش تي لمدة 5 ق بمعدل النقش 25 A / S لإزالة تي يتعرض (2E الشكل). شطف طبق من ذهب بماء DI والجافة مع غاز N 2.
  12. إزالة مقاوم الضوء المتبقية على طبق من ذهب من تخبط في الأسيتون والميثانول والماء DI لمدة 3 دقائق لكل منهما (الشكل 2F)؛ تزج لوحة في أمر مكتوب.
  13. شطف طبق من ذهب 3 مرات بالماء DI لمدة 10 ثانية. الجافة مع غاز N 2 لإزالة المياه DI.
  14. وضع طبق من ذهب على طبق ساخن لمدة 3 دقائق في 120 ° C تماما لإزالة الرطوبة. يجب أن تكون كتلة الذهب أنتجت 400 س 150 ميكرون 2 (الشكل 2H).
  15. مطحنة nanohole 400 نانومتر باستخدام شعاع أيون تركيزا (FIB) في وسط كتلة الذهب التي كانت ملفقة بعد الحفر (أرقام 2G و ط). خلق نمط الدائرة 370 نانومتر إلى التركيز على از الذهباوك مع أيون تسريع الجهد 30 كيلو فولت في 28 السلطة الفلسطينية لمدة 3 ق.

3. جمعية رقاقة

  1. علاج الأسطح اثنين من متناهية PDMS ولوحة من الذهب لمدة 1 دقيقة مع O 2 البلازما لإرفاقها مع نظام البلازما في السلطة 80 W والضغط من 825 mTorr 25.
    ملاحظة: إنه لا سيما من الصعب إرفاقها مع الدقة لأن كتلة الذهب وPDMS متناهية وعلى مستوى ميكرون. وبالتالي، استخدام اليجنر مع كاميرا ومرحلة اليدوية.
  2. إصلاح رقاقة الزجاج الذي يستخدم لإرفاق قناع فيلم لصاحب قناع اليجنر (الشكل 3A).
  3. إرفاق O 2-تعامل -plasma PDMS متناهية إلى رقاقة الزجاج، لأن PDMS غير ماء، وسوف نعلق بسهولة إلى رقاقة الزجاج دون أي حل التصاق. إصلاح وحة من الذهب على الساحة ركيزة من اليجنر (الشكل 3A).
  4. تحديد المراكز من الخامسالبريد SMF حفرة الكابل والذهب كتلة، والتي تتماشى على نفس المحور، وذلك باستخدام الكاميرا على اليجنر. رفع مرحلة اليدوية الجمع بين شطري (أرقام 3B و ج).

4. تحسين رقاقة الجانبية خشونة السطح PDMS طلاء

ملاحظة: لوحة من الذهب مع أبعاد ثابتة من 400 س 150 ميكرون 2 هو أكثر صعوبة نسبيا لقطع من مادة PDMS. لذلك، لفصل متناهية PDMS من الرقاقة، يتم استخدام شفرة حلاقة لقطع قطعة أكبر من طبق من ذهب. بعد الجمع بين شطري، ثم يجب قطع أجزاء الزائدة من PDMS بالنسبة للوحة من الذهب بحيث داخل القناة ويمكن ملاحظة من الجانب باستخدام المجهر (الشكل 4A). ومع ذلك، فإن سطح قطع، والذي يستخدم كإطار، لديها خشونة السطح عالية وبالتالي تنتج صورا غائم من الجسيمات التي تتدفق في القناة (الشكل4B). يتم تنفيذ طلاء مع حل PDMS مرة أخرى لحل هذه المشكلة.

  1. إعداد الحل PDMS عن طريق خلط قاعدة PDMS وكيل علاج في 10: 1 نسبة ويقلب لمدة 2 دقيقة.
  2. صب 2 مل من محلول PDMS في طبق بتري وتنفيذ أعمال طلاء تدور لمدة 30 ثانية في 1000 دورة في الدقيقة (الشكل 4C).
  3. وضع سطح رقاقة التي سوف يكون موجودا على المجهر على طبق بيتري (الشكل 4D). وضع طبق بتري في الفرن لمدة 1 ساعة عند 80 درجة مئوية إلى ترسيخ حل PDMS.
  4. قطع الحدود من رقاقة وPDMS باستخدام شفرة حلاقة، وبعد ذلك سلخه من طبق بيتري (أرقام 4E، و).

5. يزر اقتران إلى إدراج كابل SMF إلى رقاقة

ملاحظة: بالنسبة للنظام منتاش plasmonic، يتم استخدام البصرية الحادث الألياف الليزر مع الطول الموجي 1064 نانومتر. يتم استخدام كابل SMF لأن قطر INCIالليزر يقيد في (5 ملم) هائلة جدا لينبعث شعاع الليزر في nanohole المضروب على كتلة الذهب (400 س 150 ميكرون 2) في الرقائق. قطر الكسوة من كابل SMF 125 ميكرون. وبالتالي، يجب أن يقترن الليزر الحادث وكابل SMF.

  1. توصيل 40X عدسة الهدف إلى الهدف المجهر جبل على مقرنة SMF. إصلاح كابل SMF على المشبك الألياف مقرنة SMF. محاذاة شعاع الليزر الحادث لملء الفتحة الخلفية للعدسة الهدف.
  2. تركيز شعاع الليزر إلى جوهر كابل SMF عن طريق ضبط اليدوي ثلاثة محاور مرحلة مجهزة على مقرنة SMF.
  3. أدخل الطرف الآخر من كابل SMF في حفرة كابل SMF من رقاقة. قياس قوة الليزر قبل الإدراج عند حافة كابل الألياف، لأن كابل الألياف ثابت في رقاقة لا يمكن أن تكون منفصلة.
  4. اغلاق فتحة كابل SMF باستخدام الغراء الايبوكسي لمنع تسرب من الحل الجسيمات المتدفقة من الفجوة بين سيارة أجرة SMFلو حفرة (300 ميكرون) والكسوة من كابل SMF (125 ميكرون). نهاية كابل الألياف إدراجها لا ينبغي أن تدخل متناهية لتجنب تدفق السوائل. محاذاة يدويا باستخدام كابل الألياف البصرية ردود الفعل بحيث يكون عموديا على كتلة الذهب الذي يستضيف nanohole.

6. الجسيمات Plasmonic محاصرة من واحدة نيون البوليستيرين في رقاقة

  1. نعلق حقنة، وهي مليئة الحل الجسيمات، لMICROPUMP حقنة. وضع غطاء زجاجي على المسرح عينة من المجهر الفلورسنت. توصيل الأنابيب إلى الثقوب مدخل / مخرج من رقاقة. وضع سطح رقاقة المغلفة PDMS على أعلى من الزجاج غطاء.
  2. وضع رقاقة متعامد إلى 60X غمر المياه عدسة الهدف من خلال مراقبة داخل القناة مع كاميرا مثبتة على المجهر الفلورسنت. استخدام الشريط الشفاف لتثبيت رقاقة في المكان. توصيل أنبوب مدخل رقاقة مع شمال شرق حقنةedle.
  3. إدراج الحل الجسيمات إلى رقاقة عن طريق التحكم في MICROPUMP في 20 ميكرون / ثانية. في هذه اللحظة، تأكد من أن الجسيمات الفلورية يمكن ملاحظتها جيدا في القناة عند تشغيل مصباح الفلورسنت على.
  4. انتظر حتى يخرج الحل الجسيمات من منفذ للرقاقة. ضبط السرعة إلى 3.4 ميكرون / ثانية.
  5. تشغيل الجهاز مصدر الليزر بحيث تنبعث الليزر في nanohole. سيتم المحاصرين الجسيمات الفلورية في حافة nanohole.
  6. منحدر سرعة السائل في الزيادات من 0.4 ميكرون / ثانية عن طريق التحكم في MICROPUMP حتى يهرب الجسيمات المحاصرين. قياس سرعة السائل عند هربا من الجسيمات المحاصرين. الحصول على قوة محاصرة القصوى لكل كثافة الليزر باستخدام هذه السرعة السائل قياس.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

النتائج

يظهر عملية تصنيع متناهية والذهب nanohole لوحة PDMS في أرقام 1 و 2. طريقة الجمع بين البابين الثاني ويظهر رقاقة الفعلية في الشكل (3). تم قطع PDMS للكشف داخل القناة من جانب رقاقة. ومع ذلك، فإنه من الصعب مراقبة الجزيئات المتدفقة في القنا?...

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Discussion

تم إدراج كابل SMF في حفرة كابل SMF على رقاقة، كما هو مبين في نقطة مستطيلة الشكل 6A. لأن الكابل حفرة SMF أكبر من قطر الكابل، تم استخدام الايبوكسي الغراء لاغلاق الفجوة لمنع تسرب من الحل الجسيمات المتدفقة. قبل تطبيق الغراء الايبوكسي، كتلة الذهب وحافة كابل يجب أن تكون ...

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Disclosures

الكتاب ليس لديهم ما يكشف.

Acknowledgements

وأيد هذا العمل من قبل R تكنولوجيا المعلومات والاتصالات وبرنامج D من MSIP / IITP (R0190-15-2040، تطوير نظام إدارة التكوين محتويات وجهاز محاكاة للطباعة 3D باستخدام المواد الذكية).

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Materials

NameCompanyCatalog NumberComments
Negative photoresist MicroChemSU-8 2075
DeveloperMicroChemSU-8 Developer
Positive photoresist Merck Ltd.AZ GXR-601
AZ Photoresist DevelopersMerck Ltd.AZ 300 MIF
HMDSMerck Ltd.AZ Adhesion Promoter
AlignerMidas SystemMDA 400M
Atmospheric plasma machine Atmospheric Process
Plasma Co.
IDP-1000
Polydimethylsiloxane (PDMS)Dow CorningSylgard 184 A/B
Gold coated test slidesEMF Co.TA124(Ti/Au)
Au etchant Transene Inc.TFA
Ti etchant Transene Inc.TFT
40X objective lens Edmund Optics40X DIN
60X water immersion
objective lens 
OlympusLUMPLFLN 60XW
Optical fiber incident laser IPG PhotonicYLR 10
SMF couplerThorlabsMBT612D/M
Syringe micropumpHarvardPC2 70-4501
Fluorescent microscope OlympusIX-51
Plasma systemFemto Science IncCUTE-MPR

References

  1. Crane, N. B., Onen, O., Carballo, J., Ni, Q., Guldiken, R. Fluidic assembly at the microscale: progress and prospects. Microfluid. Nanofluid. 14 (3), 383-419 (2013).
  2. Yao, B., Luo, G. A., Feng, X., Wang, W., Chen, L. X., Wang, Y. M. A microfluidic device based on gravity and electric force driving for flow cytometry and fluorescence activated cell sorting. Lab Chip. 4 (6), 603-607 (2004).
  3. Zhang, K., et al. On-chip manipulation of continuous picoliter-volume superparamagnetic droplets using a magnetic force. Lab Chip. 9 (20), 2992-2999 (2009).
  4. Park, I. Y., Sung, S. Y., Lee, J. H., Lee, Y. G. Manufacturing micro-scale structures by an optical tweezers system controlled by five finger tips. J. Micromech. Microeng. 17, N82-N89 (2007).
  5. Kim, J. D., Hwang, S. U., Lee, Y. G. Traceable assembly of microparts using optical tweezers. J. Micromech. Microeng. 22, 105003(2012).
  6. Kim, J. D., Lee, Y. G. Construction and actuation of a microscopic gear assembly formed using optical tweezers. J. Micromech. Microeng. 23, 065010(2013).
  7. Kim, J. D., Choi, J. H., Lee, Y. G. A measurement of the maximal forces in plasmonic tweezers. Nanotechnology. 26 (42), 425203(2015).
  8. Kim, J. D., Lee, Y. G. Trapping of a single DNA molecule using nanoplasmonic structures for biosensor applications. Biomed. Opt. Express. 5 (8), 2471-2480 (2014).
  9. Quidant, R. Plasmonic tweezers - the strength of surface plasmons. MRS Bull. 37 (8), 739-744 (2012).
  10. Juan, M. L., Gordon, R., Pang, Y., Eftekhari, F., Quidant, R. Self-induced back-action optical trapping of dielectric nanoparticles. Nat. Phys. 5, 915-919 (2009).
  11. Pang, Y., Gordon, R. Optical trapping of 12 nm dielectric spheres using double-nanoholes in a gold film. Nano Lett. 11 (9), 3763-3767 (2011).
  12. Tanaka, Y., Kaneda, S., Sasaki, K. Nanostructured potential of optical trapping using a plasmonic nanoblock pair. Nano Lett. 13 (5), 2146-2150 (2013).
  13. Kang, J. H., et al. Low-power nano-optical vortex trapping via plasmonic diabolo nanoantennas. Nat. Commun. 2, 582(2011).
  14. Roxworthy, B. J., et al. Application of plasmonic bowtie nanoantenna arrays for optical trapping, stacking, and sorting. Nano Lett. 12 (2), 796-801 (2012).
  15. Shoji, T., Tsuboi, Y. Plasmonic optical tweezers toward molecular manipulation: tailoring plasmonic nanostructure, light source, and resonant trapping. J. Phys. Chem. Lett. 5 (17), 2957-2967 (2014).
  16. Pang, Y., Gordon, R. Optical trapping of a single protein. Nano Lett. 12 (1), 402-406 (2012).
  17. Tsuboi, Y., et al. Optical trapping of quantum dots based on gap-mode-excitation of localized surface plasmon. J. Phys. Chem. Lett. 1, 2327-2333 (2010).
  18. Shoji, T., et al. Permanent fixing or reversible trapping and release of DNA micropatterns on a gold nanostructure using continuous-wave or femtosecond-pulsed near-infrared laser light. J. Am. Chem. Soc. 135 (17), 6643-6648 (2013).
  19. Grigrenko, A. N., Roberts, N. W., Dickson, M. R., Zhang, Y. Nanometric optical tweezers based on nanostructured substrates. Nat. Photonics. 2, 365-370 (2008).
  20. Righini, M., et al. Nano-optical trapping of rayleigh particles and escherichia coli bacteria with resonant optical antennas. Nano Lett. 9 (10), 3387-3391 (2009).
  21. Chen, K. Y., Lee, A. T., Hung, C. C., Huang, J. S., Yang, Y. T. Transport and trapping in two-dimensional nanoscale plasmonic optical lattice. Nano Lett. 13 (9), 4118-4122 (2013).
  22. Berthelot, J., et al. Three-dimensional manipulation with scanning near-field optical nanotweezers. Nat. Nanotechnol. 9 (4), 295-299 (2014).
  23. Chen, C., et al. Enhanced optical trapping and arrangement of nano-objects in a plasmonic nanocavity. Nano Lett. 12 (1), 125-132 (2011).
  24. Wang, K., Schonbrun, E., Steinvurzel, P., Crozier, K. B. Trapping and rotating nanoparticles using a plasmonic nano-tweezer with an integrated heat sink. Nat. Commun. 2, 469(2011).
  25. Byun, D., Cho, S. J., Kim, S. Fabrication of a flexible penetrating microelectrode array for use on curved surfaces of neural tissues. J. Micromech. Microeng. 23, 125010(2013).

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Reprints and Permissions

Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article

Request Permission

Explore More Articles

122 plasmonics plasmonic microfluidics nanohole

This article has been published

Video Coming Soon

JoVE Logo

Privacy

Terms of Use

Policies

Research

Education

ABOUT JoVE

Copyright © 2025 MyJoVE Corporation. All rights reserved