JoVE Logo
Authors
Contact Us

Sign In

A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.

In This Article

  • Summary
  • Abstract
  • Introduction
  • Protocol
  • النتائج
  • Discussion
  • Disclosures
  • Acknowledgements
  • Materials
  • References
  • Reprints and Permissions

Summary

نحن نبرهن على تصنيع قنوات nanoheight مع دمج أجهزة تشغيل الموجات الصوتية السطحية على النيوبات الليثيوم للسائل النانوي الصوتي عبر الليليثالضوئي الإقلاع الضوئي ، وحفر الأيونات التفاعلي على عمق النانو ، والبلازما درجة حرارة الغرفة الترابط متعدد الطبقات المنشط على السطح من النيوبات الليثيوم أحادي الكريستال ، وهي عملية مفيدة بالمثل لترابط النيوبات الليثيوم إلى الأكاسيد.

Abstract

ومن المعروف أن التلاعب النانوي الخاضع للرقابة من السوائل يكون صعبًا بشكل استثنائي بسبب هيمنة القوى السطحية واللزجة. ميجاهيرتز من أجل أجهزة الموجة الصوتية السطحية (SAW) تولد تسارعًا هائلًا على سطحها ، حتى 108 م / 82، مسؤولة بدورها عن العديد من التأثيرات الملاحظة التي أصبحت تحدد الموجات الصوتية: التدفق الصوتي وقوى الإشعاع الصوتي. وقد استخدمت هذه الآثار للجسيمات والخلايا، والتلاعب السوائل على نطاق صغير، على الرغم من أن في الآونة الأخيرة وقد استخدمت SAW لإنتاج ظواهر مماثلة على نطاق النانو من خلال مجموعة مختلفة تماما من الآليات. يوفر التلاعب بالسوائل النانوية القابلة للتحكم مجموعة واسعة من الفرص في ضخ السوائل فائقة السرعة وديناميكيات الجزيئات الحيوية المفيدة للتطبيقات الفيزيائية والبيولوجية. هنا، ونحن نشرح تصنيع قناة نانو-ارتفاع عبر درجة حرارة الغرفة الليثيوم niobate (LN) الترابط متكاملة مع جهاز SAW. نحن نصف العملية التجريبية بأكملها بما في ذلك تصنيع قناة نانو الارتفاع عن طريق الحفر الجاف ، والترابط المنشط بالبلازما على النيوبات الليثيوم ، والإعداد البصري المناسب للتصوير اللاحق ، وتنشيط SAW. نعرض نتائج تمثيلية لملء الشعيرات الدموية السائلة وتصريف السوائل في قناة نانوية الحجم ناتجة عن SAW. يقدم هذا الإجراء بروتوكولًا عمليًا لتصنيع القنوات النانوية والتكامل مع أجهزة SAW المفيدة للبناء عليها لتطبيقات nanofluidics المستقبلية.

Introduction

يحدث نقل السوائل النانوية القابلة للتحكم في القنوات النانوية —النانووية السائلة1— على نفس مقاييس الطول مثل معظم الجزيئات البيولوجية، وهو واعد للتحليل والاستشعار البيولوجيين، والتشخيص الطبي، ومعالجة المواد. وقد وضعت تصاميم مختلفة والمحاكاة في nanofluidics للتلاعب السوائل وتعليق الجسيمات على أساس درجة الحرارة التدرجات2، كولوم سحب3، موجات سطحية4، الحقول الكهربائية الساكنة5،6،7، وthermophoresis8 على مدى السنوات الخمس عشرة الماضية. في الآونة الأخيرة ، وقد تبين SAW9 لإنتاج ضخ السوائل النانوية واستنزاف مع الضغط الصوتي الكافي للتغلب على هيمنة القوى السطحية واللزجة التي تمنع نقل السوائل الفعالة في القنوات النانوية. الفائدة الرئيسية من تدفق الصوتية هو قدرته على دفع تدفق مفيدة في الهياكل النانوية دون القلق بشأن تفاصيل الكيمياء من تعليق السائل أو الجسيمات، مما يجعل الأجهزة التي تستخدم هذه التقنية مفيدة على الفور في التحليل البيولوجي، والاستشعار، وغيرها من التطبيقات الفيزيائية الكيميائية.

يتطلب تصنيع الأجهزة النانوية المدمجة SAW تصنيع الأقطاب الكهربائية - محول رقمي (IDT) - على ركيزة كهربائية ، ليثيوم نيوبات10، لتسهيل توليد SAW. يتم استخدام النقش الأيوني التفاعلي (RIE) لتشكيل منخفض نانوي في قطعة LN منفصلة ، والربط LN-LN من القطعتين تنتج nanochannel مفيدة. وقد تم عرض عملية تصنيع أجهزة SAW في العديد من المنشورات ، سواء باستخدام الطباعة الضوئية الطبيعية أو الرفع فوق البنفسجية إلى جانب الترسب المعدني أو ترسب التبخر11. لعملية LN RIE لحفر قناة في شكل معين، والآثار على معدل حفر وخشونة سطح القناة النهائي من اختيار التوجهات LN مختلفة، والمواد قناع، وتدفق الغاز، والطاقة البلازما وقد تم التحقيق12،13،14،15، 16. وقد استخدم تنشيط سطح البلازما لزيادة الطاقة السطحية بشكل كبير، وبالتالي تحسين قوة الترابط في أكاسيد مثل LN17،18،19،20. وبالمثل فمن الممكن لغير متجانس السندات LN مع أكاسيد أخرى، مثل SiO2 (الزجاج) عن طريق اثنين من خطوتين البلازما تنشيط طريقة الترابط21. الغرفة درجة حرارة LN-LN الترابط، على وجه الخصوص، وقد تم التحقيق باستخدام مختلف معالجات التنظيف وتنشيط السطح22.

هنا ، ونحن نصف بالتفصيل عملية لتصنيع 40 ميغاهرتز SAW المتكاملة 100 نانومتر الارتفاع القنوات النانوية ، وغالبا ما تسمى قنوات nanoslit (الشكل 1ألف). فعالية السوائل الشعيرات الدموية ملء واستنزاف السوائل عن طريق الكفاءة SAW يدل على صحة كل من تصنيع nanoslit وأداء SAW في مثل هذه القناة النانوية. نهجنا يقدم نظام نانو acoustofluidic تمكين التحقيق في مجموعة متنوعة من المشاكل الفيزيائية والتطبيقات البيولوجية.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Protocol

1. نانو ارتفاع قناة قناع إعداد

  1. التصوير الضوئي: مع نمط يصف الشكل المطلوب من قنوات الارتفاع النانوي(الشكل 1B)،استخدم الطباعة الحجرية الضوئية العادية وإجراءات الإقلاع لإنتاج المنخفضات النانوية في رقاقة LN. هذه المنخفضات سوف تصبح قنوات nanoheight على الترابط رقاقة في خطوة لاحقة.
    ملاحظة: الأبعاد الجانبية للمنخفضات النانوية هي مقياس صغير في هذا البروتوكول. يمكن استخدام شعاع الإلكترون أو الطباعة الحجرية لشعاع الأيون He/Ne لتصنيع القنوات ذات الأبعاد الجانبية النانوية؛ Ga+القائم على الطباعة الحجرية شعاع أيون يسبب تورم وملامح الركيزة متفاوتة23. وينبغي أن يتطابق اتجاه رقاقات LN اثنين ، وإلا ، قد يؤدي الإجهاد الحراري الرقائق أو السندات بينهما إلى الفشل.
  2. ترسب سبوت لحماية المناطق من الحفر الجاف: ضع الرقاقة في نظام ترسب السُبُر. سحب أسفل فراغ الغرفة إلى 5 × 10-6 mTorr، والسماح Ar لتدفق في 2.5 mTorr، وsputter Cr في 200 W لإنتاج قناع التضحية سميكة 400 نانومتر حيث سيتم منع النقش أيون رد الفعل عند استخدامها في الخطوة 3 أدناه.
  3. الإقلاع: نقل رقاقة في كوب مع الأسيتون كافية لتزج تماما رقاقة. سونيكات في كثافة متوسطة لمدة 10 دقيقة. شطف مع ماء DI وتجفيف رقاقة مع تدفق N2 الجافة.
  4. التقطيع: استخدام منشار مكعبات لالزهر رقاقة كامل في رقائق الفردية مع (عادة) نمط نانوسليت واحد لكل رقاقة.
    ملاحظة: يمكن إيقاف البروتوكول مؤقتاً هنا.

2. نانو ارتفاع قناة تلفيق

  1. الحفر الأيون التفاعلي (RIE): استخدام RIE لحفر المنخفضات النانوية في المناطق المكشوفة من الركيزة LN. المناطق التي تركت مغطاة بالتضحية Cr ستكون محمية من النقش. تعيين قوة RIE إلى 200W، تسخين الغرفة إلى 50 درجة مئوية، سحب أسفل فراغ الغرفة إلى 20 mTorr، تعيين معدل تدفق SF6 إلى 10 sccm، وحفر لمدة 20 دقيقة لإنتاج نانوسليت عميق 120 نانومتر في LN.
  2. حفر حفرة للمداخل القناة ومنافذ البيع: مع الشريط على الوجهين، نعلق رقاقة LN محفورة إلى لوحة صغيرة من الصلب ولوحة إلى الجزء السفلي من طبق بيتري. يجب أن يكون طبق بيتري كبيرًا بما يكفي للسماح بالغمر الكامل لشريحة LN ولوحة الصلب. ملء طبق بيتري بالماء لتزج تماما رقاقة. قم بإرفاق جزء من حفر الماس قطره 0.5 مم إلى مطبعة الحفر ، وحفر بسرعة عالية لا تقل عن 10000 دورة في الدقيقة لآلة المداخل والمنافذ المطلوبة. الحفر من خلال الركيزة 0.5 ملم سميكة ينبغي أن يستغرق حوالي 10 إلى 15 ق24 (الشكل 1B).
    ملاحظة: الغمر أثناء الحفر يمنع التدفئة المحلية المفرطة والتشويش على الجسيمات في موقع الحفر. من غير المرجح أن تعمل أنواع أخرى من بت الحفر ، والحفر اليدوي غير ممكن بأي سرعة على حد علمنا. يوصى بسرعات دوران بت الحفر التي تبلغ 10,000 دورة في الدقيقة أو أكثر لتجنب تحطيم LN.
  3. Cr الرطب الحفر: استخدام قلم النقش تلميح الماس لوضع علامة واضحة على الوجه المسطح، unetched من LN حفر لتتبع الجانب الذي يقع قناة nanoheight في الخطوات المتبقية. سونيكات رقائق في Cr etchant.
    ملاحظة: يمكن إيقاف البروتوكول مؤقتاً هنا. من الصعب للغاية تحديد أي جانب من رقاقة LN لديه الاكتئاب النانوي المحفور بعد إزالة Cr. يعتمد وقت صوتنة على معدل النقش وسمك قناع Cr.

3. غرفة درجة حرارة البلازما تنشيط الترابط

  1. المذيبات تنظيف رقائق LN: جمع أزواج رقاقة - جهاز واحد SAW (ملفقة من قبل الطباعة الحجرية الضوئية العادية، وترسب sputter، وإجراءات الإقلاع) ورقاقة اكتئاب نانوية محفورة واحدة - معا لإعدادهم للترابط. تزج أزواج رقاقة في كوب من الأسيتون وضعت في حمام سونيكيشن وسونيكات لمدة 2 دقيقة نقل رقائق إلى الميثانول وسونيكات لمدة 1 دقيقة نقل رقائق إلى المياه DI.
  2. تنظيف البيرانا: إعداد حمض البيرانا في كوب زجاجي في غطاء جيد التهوية، مخصص لاستخدام الحمض، عن طريق إضافة H2O2 (30٪ في الماء) إلى H2SO4 (96٪) بنسبة 1:3. ضع جميع الرقائق في حامل تفلون. ضع الحامل في الكأس واغمر جميع الرقائق في محلول البيرانا لمدة 10 دقيقة، ثم اشطف الرقائق وحاملها بالتتابع في حمامين مائيين منفصلين. تجفيف رقائق مع الجافة N2 ونقلها على الفور إلى الأكسجين (O2)معدات تنشيط البلازما، والاحتفاظ بها مغطاة أثناء التعامل معها لتجنب التلوث.
    تنبيه: حلول البيرانا هي تآكل للغاية، وتتأكسد بقوة، وخطيرة. اتبع القواعد المحددة التعامل معها في مؤسستك، ولكن على الأقل تأخذ الرعاية القصوى وارتداء معدات السلامة المناسبة. عند الانتهاء من العمل ، يجب تبريد محلول البيرانا لمدة ساعة واحدة على الأقل قبل أن يصب في حاوية نفايات مخصصة.
    ملاحظة: من الضروري شطف رقائق LN مرتين في حمامين مائيين DI. الإنتقال لهم مرة واحدة يترك بقايا وراء ذلك من المرجح أن تدمر الترابط. وتستخدم أقطاب الذهب لIDTs بسبب مقاومتها الجيدة لمحلول البيرانا.
  3. تنشيط سطح البلازما: تنشيط الأسطح رقاقة باستخدام البلازما مع 120 واط من الطاقة في حين تتعرض لتدفق O2 في 120 sccm لمدة 150 s. نقل العينات على الفور إلى حمام ماء DI جديدة لمدة 2 دقيقة على الأقل.
    ملاحظة: المعالجة السطحية البلازما تليها بسرعة DI الغمر المياه سوف تشكل مجموعات الهيدروكسيل على سطح LN، وزيادة الطاقة السطحية الحرة لتعزيز الترابط في وقت لاحق.
  4. ربط درجة حرارة الغرفة: تجفيف العينات مع تدفق N2 الجافة ووضع بعناية رقاقة nanoslit على رقاقة جهاز SAW في الموقف المطلوب. إعادة المحاذاة لإنتاج الاتجاه المطلوب. ثم استخدم ملاقط أو ما شابه ذلك لدفع أسفل على العينة من مركزها لبدء السندات. دفع بلطف إلى أسفل في المناطق التي فشلت في السندات بعد الدفع الأولي.
    ملاحظة: يمكن بسهولة رؤية الترابط من خلال LN شفافة. المناطق المستعبدة شفافة تماما. LN التي ليست مزدوجة الجانب مصقول سيكون من الصعب تقييم.
  5. التدفئة بعد الترابط: ضع العينات المستعبدة في المشبك ظهرت لممارسة الأحمال بأمان على الرغم من التوسع الحراري، ووضع العينات فرضت في الفرن في درجة حرارة الغرفة (25 درجة مئوية). تعيين درجة حرارة الفرن التدفئة إلى 300 درجة مئوية، ومعدل منحدر إلى 2 درجة مئوية / دقيقة كحد أقصى، ويسكن الوقت إلى 2 ساعة، ومن ثم إيقاف تلقائيا للسماح لها والعينات فرضت داخل لتبرد بشكل طبيعي لدرجة حرارة الغرفة.
    ملاحظة: يمكن إيقاف البروتوكول مؤقتاً هنا. الترابط بين مجموعات الهيدروكسيل تنتج المياه في السندات، والتدفئة يزيل المياه لزيادة كبيرة في قوة السندات. قوات لقط متواضعة كافية. محاولة السندات رقاقتين من اتجاهات مختلفة أو مواد قد يسبب الشقوق بسبب التوسع الحراري غير متطابقة والإجهاد الناجم عن ذلك.

4. الإعداد والاختبار التجريبي

  1. ملاحظة: مراقبة نانوسمضاء تحت المجهر المقلوب. قم بتضمين وتدوير مرشح استقطاب خطي في المسار البصري لمنع مضاعفة الصورة المستندة إلى birefringence بشكل مناسب في LN. استخدام مياه DI فائقة النقاء عبر مدخل لمراقبة حركة السوائل في nanoslit الانتهاء.
    ملاحظة: ينصح بشدة السائل Ultrapure لمنع انسداد، وخاصة بعد التبخر.
  2. تشغيل SAW: إرفاق ممتصات في نهايات جهاز SAW لمنع الموجات الصوتية المنعكسة. استخدم مولد إشارة لتطبيق حقل كهربائي جيبي على IDT عند تردد الرنين الخاص به حوالي 40 ميغاهرتز. استخدم مكبر للصوت لتضخيم الإشارة. استخدم منظار الذبذبات لقياس الجهد الفعلي والتيار والطاقة المطبقة على الجهاز. سجل حركة السوائل أثناء تشغيل SAW داخل nanoslit باستخدام كاميرا متصلة بالمجهر.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

النتائج

نقوم بإجراء إيداع الشعيرات الدموية السائلة واستنزاف السوائل الناجمعن SAW في حزات LN عالية نانو بعد التصنيع الناجح والترابط لأجهزة النانو السائل ة المتكاملة SAW. يتم إنشاء الموجات الصوتية السطحية بواسطة IDTs التي تعمل بواسطة إشارة جيبية مضخمة في تردد الرنين IDTs من 40 ميغاهرتز، وينشذ SAW في نانوسلي...

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Discussion

الترابط درجة حرارة الغرفة هو المفتاح لتصنيع أجهزة nanoslit المتكاملة SAW. وينبغي النظر في خمسة جوانب لضمان الترابط الناجح وقوة الترابط الكافية.

الوقت والطاقة لتنشيط سطح البلازما
زيادة طاقة البلازما سوف تساعد على زيادة الطاقة السطحية وبالتالي زيادة قوة الترابط. ولكن ?...

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Disclosures

وليس لدى صاحبي البلاغ ما يكشفان عنه.

Acknowledgements

ويعرب المؤلفون عن امتنانهم لجامعة كاليفورنيا ومرفق NANO3 في جامعة كاليفورنيا في سان دييغو لتوفيرهما الأموال والتسهيلات لدعم هذا العمل. تم تنفيذ هذا العمل جزئيًا في البنية التحتية للتكنولوجيا النانوية في سان دييغو (SDNI) في UCSD ، وهي عضو في البنية التحتية الوطنية المنسقة لتكنولوجيا النانو ، والتي تدعمها المؤسسة الوطنية للعلوم (Grant ECCS -1542148). وقد تم دعم العمل المقدم هنا بسخاء من خلال منحة بحثية من مؤسسة W.M. Keck. كما يشعر المؤلفون بالامتنان لدعم هذا العمل من قبل مكتب البحوث البحرية (عن طريق المنحة 12368098).

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Materials

NameCompanyCatalog NumberComments
AbsorberDragon Skin, Smooth-On, Inc., Macungie, PA, USADragon Skin 10 MEDIUM
AmplifierMini-Circuits, Brooklyn, NY, USAZHL–1–2W–S+
CameraNikon, Minato, Tokyo, JapanD5300
DeveloperFuturrex, NJ, USARD6
Diamond tip engraving penMalco, Memphis, TN, USAMalco A50 USA Made Carbide Tipped Scribe
Dicing sawDisco, Tokyo, JapanDisco Automatic Dicing Saw 3220
Heating ovenCarbolite, Hope Valley, UKHTCR 6/28High Temperature Clean Room Oven - HTCR
Hole drillerDremel, Mount Prospect, IllinoisModel #40004000 High Performance Variable Speed Rotary
Inverted microscopeAmscope, Irvine, CA, USAIN480TC-FL-MF603
Lithium niobate substratePMOptics, Burlington, MA, USAPWLN-4312324" double-side polished 0.5 mm thick 128° Y-rotated cut lithium niobate
Mask alignerHeidelberg Instruments, Heidelberg, GermanyMLA150
Nano3 cleanroom facilityUCSD, La Jolla, CA, USAFabrication process is performed in it.
Negative photoresistFuturrex, NJ, USANR9-1500PY
OscilloscopeKeysight Technologies, Santa Rosa, CA, USAInfiniiVision 2000 X-Series
Plasma surface activationPVA TePla, Corona, CA, USAPS100Tepla Asher
Polarizer sheetEdmund Optics, Barrington, NJ, USA#86-182
RIE etcherOxford Instruments, Abingdon, UKPlasmalab 100
Signal generatorNF Corporation, Yokohama, JapanWF1967 multifunction generator
Sputter depositionDenton Vacuum, NJ, USADenton 18Denton Discovery 18 Sputter System
Teflon wafer dipperShapeMaster, Ogden, IL, USASM4WD1Wafer Dipper 4"

References

  1. Eijkel, J. C., Van Den Berg, A. Nanofluidics: what is it and what can we expect from it? Microfluidics and Nanofluidics. 1 (3), 249-267 (2005).
  2. Longhurst, M. J., Quirke, N. Temperature-driven pumping of fluid through single-walled carbon nanotubes. Nano Letters. 7 (11), 3324-3328 (2007).
  3. Wang, B., Král, P. Coulombic dragging of molecules on surfaces induced by separately flowing liquids. Journal of the American Chemical Society. 128 (50), 15984-15985 (2006).
  4. Insepov, Z., Wolf, D., Hassanein, A. Nanopumping using carbon nanotubes. Nano Letters. 6 (9), 1893-1895 (2006).
  5. Gong, X., et al. A charge-driven molecular water pump. Nature Nanotechnology. 2 (11), 709(2007).
  6. Joseph, S., Aluru, N. R. Pumping of confined water in carbon nanotubes by rotation-translation coupling. Physical Review Letters. 101 (6), 064502(2008).
  7. Rinne, K. F., Gekle, S., Bonthuis, D. J., Netz, R. R. Nanoscale pumping of water by AC electric fields. Nano Letters. 12 (4), 1780-1783 (2012).
  8. Eslamian, M., Saghir, M. Z. Novel thermophoretic particle separators: numerical analysis and simulation. Applied Thermal Engineering. 59 (1-2), 527-534 (2013).
  9. Miansari, M., Friend, J. R. Acoustic Nanofluidics via Room-Temperature Lithium Niobate Bonding: A Platform for Actuation and Manipulation of Nanoconfined Fluids and Particles. Advanced Functional Materials. 26 (43), 7861-7872 (2016).
  10. Minzioni, P., et al. Roadmap for optofluidics. Journal of Optics. 19 (9), 093003(2017).
  11. Connacher, W., et al. Micro/nano acoustofluidics: materials, phenomena, design, devices, and applications. Lab on a Chip. 18 (14), 1952-1996 (2018).
  12. Ren, Z., et al. Etching characteristics of LiNbO3 in reactive ion etching and inductively coupled plasma. Journal of Applied Physics. 103 (3), 034109(2008).
  13. Winnall, S., Winderbaum, S. Lithium niobate reactive ion etching. Defence Science and Technology Organization. , Salisbury (Australia). No. DSTO-TN-0291 (2000).
  14. Hu, H., Ricken, R., Sohler, W. Etching of lithium niobate: micro-and nanometer structures for integrated optics. Topical Meeting Photorefractive Materials, Effects, and Devices-Control of Light and Matter, Bad Honnef. , (2009).
  15. Jackel, J. L., Howard, R. E., Hu, E. L., Lyman, S. P. Reactive ion etching of LiNbO3. Applied Physics Letters. 38 (11), 907-909 (1981).
  16. Smith, S. E. Investigation of nanoscale etching and poling of lithium niobate. , Montana State University-Bozeman, College of Engineering. Doctoral dissertation (2014).
  17. Tomita, Y., Sugimoto, M., Eda, K. Direct bonding of LiNbO3 single crystals for optical waveguides. Applied Physics Letters. 66 (12), 1484-1485 (1995).
  18. Howlader, M. M. R., Suga, T., Kim, M. J. Room temperature bonding of silicon and lithium niobate. Applied Physics Letters. 89 (3), 031914(2006).
  19. Chang, C. M., et al. A parametric study of ICP-RIE etching on a lithium niobate substrate. 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems. , 485-486 (2015).
  20. Queste, S., et al. Deep reactive ion etching of quartz, lithium niobate and lead titanate. JNTE (Journées Nationales sur les Technologies) Proceedings. , (2008).
  21. Xu, J., Wang, C., Tian, Y., Wu, B., Wang, S., Zhang, H. Glass-on-LiNbO3 heterostructure formed via a two-step plasma activated low-temperature direct bonding method. Applied Surface Science. 459, 621-629 (2018).
  22. Tulli, D., Janner, D., Pruneri, V. Room temperature direct bonding of LiNbO3 crystal layers and its application to high-voltage optical sensing. Journal of Micromechanics and Microengineering. 21 (8), 085025(2011).
  23. Sridhar, M., Maurya, D. K., Friend, J. R., Yeo, L. Y. Focused ion beam milling of microchannels in lithium niobate. Biomicrofluidics. 6 (012819), (2012).
  24. Shilton, R. J., Yeo, L. Y., Friend, J. R. Drilling inlet and outlet ports in brittle substrates. Chips and Tips. , Available from: http://blogs.rsc.org/chipsandtips/2011/10/10/drilling-inlet-and-outlet-ports-in-brittle-ubstrates/?doing_wp_cron=1563672390.4860339164733886718750 (2011).

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Reprints and Permissions

Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article

Request Permission

Explore More Articles

156 acoustofluidics nanofluidics nanofabrication

This article has been published

Video Coming Soon

JoVE Logo

Privacy

Terms of Use

Policies

Contact Us

Recommend to library

JoVE NEWSLETTERS

Research

Education

Authors

Librarians

ABOUT JoVE

Copyright © 2025 MyJoVE Corporation. All rights reserved