作者聚焦：使用 Quattro-Parallel 悬臂阵列的主动探针原子力显微镜简介

基于新型微机电系统探头的扫描探针显微镜称为主动悬臂。与无源悬臂相比，集成驱动和传感的悬臂具有多项优势，无源悬臂依赖于压电激励和光束偏转测量。该领域的最新发展是实现用于高通量并行SPM成像的有源悬臂阵列。

有源悬臂阵列使用集成压阻式传感器，提供与光学读出方法相当的灵敏度，没有衍射限制，从而允许更小、更软、更紧凑的 AFM 探针。该技术的结果为使用高速多通道电子设备操作和构建高通量原子力显微镜铺平了道路。该技术的进步可以促进未来大规模并联主动悬臂系统的更快、更可靠的运行。