著者スポットライト:Quattro-Parallel Cantilever Arraysを用いたアクティブプローブ原子間力顕微鏡の紹介

新しい微小電気機械システムプローブに基づく走査型プローブ顕微鏡は、アクティブカンチレバーと呼ばれます。作動とセンシングが統合されたカンチレバーは、圧電励起と光ビーム偏向測定に依存するパッシブカンチレバーに比べていくつかの利点があります。この分野での最新の開発は、ハイスループットの並列SPMイメージングのためのアクティブカンチレバーアレイの実現です。

アクティブカンチレバーのアレイは、統合されたピエゾ抵抗センサーを使用して、回折限界のない光学読み出し法に匹敵する感度を提供し、より小さく、より柔らかく、よりコンパクトなAFMプローブを可能にします。この技術の成果は、高速マルチチャンネルエレクトロニクスを用いたハイスループット原子間力顕微鏡の操作と構築への道を開きました。この技術の進歩により、将来的には超並列アクティブカンチレバーシステムのより高速で信頼性の高い動作が促進されます。