La microscopía de sonda de barrido basada en novedosas sondas de sistemas microelectromecánicos se denomina voladizos activos. Los voladizos con accionamiento y detección integrados ofrecen varias ventajas sobre los voladizos pasivos, que se basan en la excitación piezoeléctrica y la medición de la deflexión del haz óptico. El desarrollo más reciente en este campo es la realización de matrices de voladizos activos para la obtención de imágenes SPM paralelas de alto rendimiento.
Las matrices de voladizos activos utilizan sensores piezorresistivos integrados para ofrecer una sensibilidad comparable a los métodos de lectura óptica sin límites de difracción para permitir sondas AFM más pequeñas, blandas y compactas. Los resultados de esta técnica allanaron el camino para la operación y construcción de microscopios de fuerza atómica de alto rendimiento utilizando electrónica multicanal de alta velocidad. Los avances en esta técnica pueden facilitar en el futuro un funcionamiento más rápido y fiable de sistemas en voladizo activos masivamente paralelos.