该协议描述了具有各种应用的低成本,离散,光纤耦合和空气间隔的法布里 - 珀罗标准具的构建,例如在痕量气体光谱中。可以在任何具有标准光学实验室设备的设施中进行制造。
法布里-佩罗标准具 (FPE) 已进入许多应用。在光谱学、电信和天文学等领域,FPE 因其高灵敏度和出色的过滤能力而被使用。然而,具有高精细度的空气间隔标准具通常由专门的设施建造。它们的生产需要洁净室、特殊的玻璃处理和镀膜机械,这意味着市售 FPE 的价格很高。本文提出了一种利用标准光子实验室设备制造光纤耦合FPE的新型且经济高效的方法。该协议应作为构建和表征这些FPE的分步指南。 我们希望这将使研究人员能够针对各种应用领域对FPE进行快速且具有成本效益的原型设计。此处介绍的FPE用于光谱应用。如代表性结果部分所示,通过环境空气中水蒸气的原理测量证明,该FPE的精细度为15 , 足以对痕量气体进行光热检测。
在其最基本的形式中,FPE 由两个平面平行的部分反射镜面1 组成。在下面的解释中,当提到反射镜时,光学基板和反射涂层是一体的。在大多数应用中,使用的反射镜具有一个楔形表面2,以防止不必要的标准具效应。图1说明了空气间隔标准具的干涉图样的形成(图1A),以及不同镜面反射率的反射率函数(图1B)。
光通过一面镜子进入腔体,经过多次反射,并通过反射和透射离开腔体。由于本文重点介绍在反射率下操作的FPE的制造,因此进一步的解释专门涉及反射。离开腔体的波会干扰,具体取决于相位差, q = 4πnd/λ。这里, n 是腔内的折射率, d 是镜间距,λ是干涉仪光源的波长,这里称为探针激光器。当光程差与波长的整数倍匹配时, 将出现最小反射率。理想平面平行标准具的精细程度仅由镜面反射率 R1 和 R2 3 决定:
然而,真正的标准具会受到许多损失,这会降低理论上可实现的技巧4,5,6。镜平行度的偏差7,激光束的非正常入射,光束形状8,镜面杂质和散射等导致精细度降低。特征干涉图样可以用艾里函数1来描述:
半峰全宽(FWHM)以及反射率函数的自由光谱范围(FSR)可以计算如下:
图1:法布里-佩罗干涉仪理论 。 (A)具有楔形窗口的空气间隔标准具的多光束干涉示意图。平面波E0 φ以一定角度通过减反射(AR)涂层表面进入空腔,随后在间隔一定距离d的高反射(高R)表面之间经历多次反射。每次反射时,部分光在透射或反射中与标准具耦合,在那里它与其他波相干扰。(B)理想法布里-佩罗标准具对不同镜面反射率(y轴)的反射率函数。 请点击此处查看此图的大图。
FPE可以在广泛的应用中找到9,10,11。在这里介绍的案例中,FPE用于光热干涉测量(PTI)设置。在PTI中,通过干涉测量测量小密度和折射率变化,这是由周期性激发引起的,然后通过第二激光对目标气体进行快速热化12。热量以及折射率变化的大小与气体浓度成正比。当测量FPE在其最陡点(操作点)的反射率函数强度时,这些折射率变化会移动反射率函数,从而改变测量的强度。由于可以假设反射率函数在工作点周围的区域中是线性的,因此测量信号与气体浓度成正比。传感器的灵敏度由反射率函数的斜率决定,因此与精细度成正比。PTI 与 FPE 结合使用已被证明是一种灵敏且选择性的方法,可用于检测痕量气体和气溶胶13,14,15,16,17,18。过去,许多用于压力和声学测量的传感器依赖于使用可移动部件(如膜)来代替FPE19的第二面镜子。膜的偏转导致反射镜距离的变化,从而导致光程长度的变化。这些仪器的缺点是容易产生机械振动。近年来,使用固体FPE的光学麦克风的开发已达到20级商业水平。通过避免使用可移动部件,被测物从距离变为法布里-佩罗腔内的折射率,从而显着提高了传感器的坚固性。
市售的空隙FPE的成本超出了原型设计和测试以及大批量生产仪器集成的可接受范围。大多数构建和使用这种FPE的科学出版物只讨论制造的主题最少21,22。在大多数情况下,特定的设备和机器(例如,洁净室,涂层设施等)是必要的;例如,对于完全光纤集成的FPE,需要特殊的微加工设备。为了降低制造成本并能够测试多种不同的 FPE 配置以提高其对 PTI 设置的适用性,开发了一种新的制造方法,将在以下协议中详细描述。通过仅使用市售的标准散装光纤和电信光纤组件,制造成本可以降低到不到400欧元。每个使用标准光子设备的设施都应该能够复制我们的制造方案,并使其适应他们的应用。
1. 测量单元的三维打印
图 2:测量单元的标记 CAD 模型渲染。 为了更清楚起见,此处提供了剖面图。 请点击此处查看此图的大图。
2. 准备垫片
3. 标准具的组装
图 3:测量单元和 FPE 的渲染。 (A) 3D 打印单元以及带有相应安装帽的 FPE 的组装过程渲染。(B) 按正确的顺序呈现大块光学组件。垫片在两个镜面之间形成一个空气间隔的空腔。请点击此处查看此图的大图。
4. 光纤对准平台的组装
图 4:紫外光固化过程中使用 GRIN 透镜耦合的 FPE 的对准平台图片。 以灰色书写的组件用于 PTI 测量,对于对齐过程不是必需的。 请点击此处查看此图的大图。
5. 光电设置
图 5:对准程序的光电设置示意图。 红线代表光纤,黑线是电子电缆,蓝色光束是探针激光器。这里使用平衡探测器,但可以用传统的光电探测器代替。因此,可以省略1 x 2耦合器。 请点击此处查看此图的大图。
6. 纤维-GRIN 镜片对准
7. 纤维-标准具对准
图 6:示例性通用示波器信号。 绿色表示良好的对齐方式,黄色表示较差的对齐方式。对齐越好,三角调制的峰峰值比越高,反射率峰值(谷值)越接近零。 请点击此处查看此图的大图。
8. 标准具表征
如图7所示,可以制造具有明确定义的反射函数的FPE。
图 7:成品 FPE 的测量反射率函数。 执行对应于激光波长扫描的温度扫描以测量FPE的反射率函数。这用于评估制造设备的半峰全宽 (FWHM) 和自由光谱范围 (FSR) 等指标。相对反射率是指光通过FPE后背反射到光纤中的相对比例。 请点击此处查看此图的大图。
FPE的测量指标列于 表1 中,并与具有相同规格的理想标准具的计算值进行比较。理想FPE的公式可以在介绍部分找到。
量过的 | 理想的 FPE | |
手腕 | 12.8 | 17.1 |
富华姆 | 0.0268海里 | 0.0234海里 |
FSR | 0.3441海里 | 0.4004海里 |
敏感性 | 14 1/纳米 | 21 1/纳米 |
表 1:制造的 FPE 标准具的测量和计算指标的比较。
为了验证指定应用的能力,FPE用于环境空气中水蒸气的PTI测量。因此,波长为 1,364 nm 的激发激光垂直于探针激光器被引导到细胞中。两个激光器在FPE内相交。激发激光器以 125 Hz 的频率进行正弦调制。通过恒定电流 将 探头激光器稳定在FPE的最陡坡上,可以实现传感器的最高灵敏度。对于水蒸气测量,电池在打开的窗户下操作,并暴露在环境空气中,浓度为13,762 ppmV,由参考设备测量(温度= 21.4°C,压力= 979.9 hPa,相对湿度= 52.2%)。通过快速傅里叶变换(FFT)提取信号,并与关闭激发激光器的背景信号进行比较,如图 8所示。可以获得超过 7,000 的信噪比,对应于大约 5 ppmV (3σ) 的检测限。
图 8:环境空气中水蒸气的 PTI 测量值。 黑色表示125 Hz激光激发测量的FFT信号。蓝色表示无激励的背景信号。插图更详细地显示了 125 Hz 处的测量峰值。 请点击此处查看此图的大图。
补充编码文件 1:Measurement_cell。斯普尔特。 测量单元的 CAD 文件。该单元可以适应特定应用的要求,并随后进行3D打印。 请点击此处下载此文件。
补充编码文件 2:cap_etalon。斯普尔特。 用于将标准具固定在测量单元内的CAD文件。 请点击此处下载此文件。
补充编码文件 3:cap_window。斯普尔特。 用于将激光窗口固定到测量单元上的CAD文件。 请点击此处下载此文件。
由于按照此处给出的协议制造的FPE针对特定应用进行了优化,因此本章解释了可能的调整和关键步骤。首先,FPE和测量单元是为PTI测量而设计的。因此,在电池中增加了气体入口和出口以及垂直于探针激光器的激发激光器通道。电池的所有开口要么 通过 O形圈进行气密处理,要么 通过UVFS 窗口覆盖,以允许激光传播。如果使用方式不同,则可以重新设计电池( 如补充编码文件1中所示)并适应特定应用。步骤 1.4 中的线程在打印后完成。螺纹也可以是3D打印的,但由于这些螺纹往往会快速磨损,因此只打印具有适当芯孔直径的孔,然后进行螺纹加工。
步骤2.1中间隔条的材料选择至关重要。垫片的平行度决定了标准罩镜的平行度,因此会影响技巧7。本研究使用了材料表中提供的 1/2 英寸 UVFS 精密窗口,平行度为 ≤5 弧秒,在通光孔径上的表面平整度为 λ/10。UVFS的热膨胀系数为0.55 x 10−6/°C。 例如,通过使用热膨胀系数低于0.1 x 10−6/°C的Zerodur5间隔条,可以进一步提高温度稳定性;但是,这样做的缺点是成本较高。
FPE由一个全反射镜和一个分光镜组成。分光镜有一个70%的反射面,以及一个防反射涂层的背面。这使得光进出标准具的耦合成为可能。此外,分光镜的基板具有一个楔形面,以防止不必要的标准具效应。出于同样的原因,镜子的背面被粗糙。
在步骤5.1中,描述了用于跟踪对准过程的光电设置。所有使用的光纤都是带有FC / APC连接器的标准SMF-28光纤。由于PTI的指定应用,本研究中很容易获得平衡光电探测器,但这通常不是必需的。可以使用传统的光电探测器代替;在这种情况下,使用 1 x 2 耦合器已经过时。这些更改不会影响设置的其他组件,如图 5 所示。如步骤5.4所述,探针激光器的三角电流调制对应于波长扫描。必须选择足以扫描FPE的至少一个反射率峰值的电流范围。因此,一个 FSR 可以作为经验法则。理想FPE的FSR计算可以在介绍部分找到。结合相应手册中给出的激光器的电流调谐系数(nm/mA),可以计算出覆盖一个FSR的电流范围。例如,这项工作中使用的激光器的电流调谐系数为0.003 nm / mA,发射波长为1,550 nm。具有 3 mm 镜间距 d 的理想 FPE 的预期 FSR 约为 0.4 nm。这提供了133 mA的电流调谐范围。
在这项工作中,调制频率设置为100 Hz,以便于示波器显示。由于所需的电流调谐范围相当大,因此可以使用固定光纤衰减器来保持在所用检波器的功率限制范围内。衰减器可以直接安装在隔离器之后。
步骤6和步骤7中使用的UV固化粘合剂对激光透明,折射率为1.56。如步骤7.1中所述,对准过程取决于可用的光电探测器。此设置中使用的平衡检测器产生负电压“信号”输出。出于通用原因,在步骤7.10和 图6中的描述中假设为正电压输出。对于排列良好的标准具,反射率峰值将趋于零,而三角函数将增加其峰峰值比。
对于步骤8.1中的标准具表征,使用数值计算软件(见 材料表)。对每个温度阶跃的测量电压进行平均并绘制图表,如图 7所示。为了将温度步进转换为波长步进,使用探针激光器的温度调谐系数。信号分析库集成了寻峰算法,可用于此目的。由于数据分析在很大程度上取决于数据格式,因此此处不提供代码,但可以根据要求由相应的作者提供。
这里介绍的制造技术的一个可能的局限性是变化环境中的热稳定性和机械稳定性。由于本教学论文的范围是用于实验室应用的FPE的低成本原型设计,因此此处未给出有关机械和温度稳定性的测试。如果FPE用于移动应用或不断变化的环境,则必须采取额外的措施,以便相对于标准具对光纤GRIN镜片系统进行机械稳定。
这里展示了一种制造和表征FPE的新方法,每个光子实验室都提供标准光学元件。所提出的FPE具有大约15的精细度和足以检测约5 ppmV水蒸气的灵敏度。除了介绍的PTI应用外,该FPE还可用于诸如构建光学麦克风20之类的应用,这些应用通常用于无损检测23,折射率测量24,25或湿度计26,仅举几例。
不存在利益冲突。
这里介绍的工作是在FFG资助的项目“绿色传感”和北约SPS计划“用于检测CBRN事件的光子纳米粒子传感器”的框架内进行的。这项工作还得到了格拉茨工业大学开放获取出版基金的支持。
Name | Company | Catalog Number | Comments |
Auto-Balanced Photoreceiver Nirvana | New Focus, Inc. | 2017 | Balanced Photodetector |
Benchtop laser diode/TEC controller, 1A/96 W | Thorlabs | ITC4001 | |
Butterfly laser diode mount | Thorlabs | LM14S2 | |
Clamping fork | Thorlabs | CF175 | |
compactRIO | National Instruments | For data aquisition | |
Dust remover | RS Components | 168-1644 | |
FC/APC to FC/APC Single L-Bracket Mating Sleeve | Thorlabs | ADAFCB3 | Multiple needed |
Fiber cleaning fluid | Thorlabs | RCS3 | |
Fiber optic SM circulator | AFW technologies | CIR-3-15-L-1-2 | |
Fiber optic SM coupler 1 x 2, 90/10 | AFW technologies | FOBC-1-15-10-L-1-S-2 | Only if balanced photodetector is used |
Fiber optic SM isolator | AFW technologies | ISOD-15-L-1-2 | |
Fiber optic storage reels | Thorlabs | FSR1 | Multiple needed |
Fixed fiber optic attenuator | Thorlabs | FA15T-APC | Different attenuation levels used |
GRIN/Ferrule Sleeve, 1.818 mm Internal Diameter, 10 mm Length, Borosilicate Glass | Thorlabs | 51-2800-1800 | Fiber-GRIN-lens system |
GRIN Lens, Ø1.8 mm, 0.23 Pitch, 8°, 1560 nm Design Wavelength, AR Coated: 1250 - 1650 nm | Thorlabs | GRIN2315A | Fiber-GRIN-lens system |
Handheld UV-LED lamp | RS Components | 220-6819 | Lamp for curing the adhesive |
High precision stage and base | Newport | 9062-X-M | Three nedded |
Hose conector | RS Components | M5 threaded | |
Large Goniometer, 44.5 mm Distance to Point of Rotation, ±5°, Metric | Thorlabs | GNL18/M | Two needed |
L-Bracket Mating Sleeve | Thorlabs | ADAFCB3 | |
Magnetic button clamps | Thorlabs | BM075 | Multiple needed |
Micrometer screw | Newport | 9355 | Three nedded |
MIL-A-3920 Optical Adhesive with Resiliency, 1 oz. | Thorlabs | NOA61 | UV-curing adhesive |
Mounting Base, 50 mm x 75 mm x 10 mm | Thorlabs | BA2/M | |
O-Rings | Haberkorn | Sizes given in text | |
Passive component fiber tray | Thorlabs | BFCT | Multiple needed |
Pedestal base adapter | Thorlabs | BE1 | |
Pigtailed Ferrule, Ø1.8 mm, 8°, FC/APC, AR Coated: 1310/1550 nm | Thorlabs | SMPF0115-APC | Fiber-GRIN-lens system |
Post holder | Thorlabs | PH30/M | |
Post-Mountable Ø2.5 mm Ferrule Clamp, M4 Tap | Thorlabs | FCM/M | |
Python | Python | 3.9 | Numerical data analysis software |
Right-angled-bracket | Newport | 9062-A-M | |
Self-centering lens mount | Thorlabs | SCL03 | |
Silberschnitt 3001 | Bohle | 3001 | Glas cutter set |
SM1-threaded standard cage plate | Thorlabs | CP33/M | |
UV-curing device | Formlabs | Form Cure | |
1550 nm 20 mW butterfly DFB laser diode | AeroDiode | 1550LD-5-0-0-2 | |
3D-printer | Formlabs | 3+ | |
Ø1/2" UVFS Broadband Precision Window, Uncoated, t = 3 mm | Thorlabs | WG40530 | Spacers |
Ø1/2" Broadband Dielectric Mirror, 1280 - 1600 nm | Thorlabs | BB05-E04 | Mirror |
Ø1/2" 70:30 (R:T) UVFS Plate Beamsplitter, Coating: 1.2 - 1.6 µm, t = 3 mm | Thorlabs | BST06 | Beamsplitter |
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