锂氮化锂表面声波设备的制造

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June 18th, 2020

DOI :

10.3791/61013-v

June 18th, 2020


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Introduction

0:28

SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method

3:21

SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method

5:59

Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves

7:18

Conclusion

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