微电极结构产生的交流电动现象

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July 28th, 2008

DOI :

10.3791/813-v

July 28th, 2008


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17 AC

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11:29

Experiments: 2 μm Polystyrene Microspheres

0:56

Physics: Dielectrophoresis

4:17

Low Conductivity

7:31

Step Three: Photolithography

9:54

Experimental Setup: Polystyrene Microspheres

0:08

Title

3:08

Physics: AC Electrothermal Effect

3:43

Numerical Simulation: FInite Element Method

5:17

Device Fabrication: Wet Etch Method

6:30

Step Two: Metal Deposition

14:55

Castellated Electrodes: Low Conductivity

19:19

Potential Well: High Conductivity

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