Zu Beginn kleben Sie den SU8-Master-Siliziumwafer für das mikrofluidische Kanaldesign auf die Innenseite einer 14 Zentimeter großen Petrischale aus Kunststoff und reinigen ihn mit Stickstoffgas. Wiegen Sie geeignete Mengen Polydimethylsiloxan oder PDMS-Base und PDMS-Härter in einen Pappbecher. Mischen Sie die beiden mit einem Holzspatel, bis die Mischung eine trübe weiße Farbe annimmt.
Gießen Sie die PDMS-Mischung in die Kunststoff-Petrischale, in der sich der Siliziumwafer befindet. Stellen Sie dann die Petrischale in einen Vakuum-Exsikkator, der mit einem Drei-Wege-Absperrhahn ausgestattet ist. Drehen Sie das Ventil des Absperrhahns, um das Vakuum mit der Exsikkatorkammer zu verbinden und Luftblasen aus der Mischung zu entfernen.
Sobald alle Luftblasen aus den Kanälen entfernt sind, stellen Sie die Petrischale für vier Stunden bei 70 Grad Celsius in einen Ofen. Nachdem die Petrischale auf Raumtemperatur abgekühlt ist, legst du sie auf eine Schneidematte. Schneiden Sie mit einem Skalpell den Teil des PDMS über dem Siliziumwafer aus.
Legen Sie das ausgeschnittene PDMS zwischen zwei Blätter der Laborfolie. Der Spalt zwischen der Einkerbung des Mikrokanals und der Folie hilft dabei, den Ein- und Auslass des mikrofluidischen Kanals zu lokalisieren. Als nächstes schneidest du mit einer Rasierklinge einen einzelnen Kanal aus dem großen PDMS heraus und machst mit entsprechenden Biopsiestanzen entsprechende Ein- und Auslasslöcher in den Kanal.
Legen Sie den gelochten Kanal mit der Kanalseite nach oben auf einen sauberen Objektträger. Platzieren Sie ein Glassubstrat mit Dünnschicht-Indium-Zinnoxid- oder ITO-interdigitalen Elektroden mit den Elektroden nach oben auf demselben Objektträger. Legen Sie dann den Objektträger vorsichtig in einen Plasmareiniger.
Warten Sie nach dem Schließen des Gasventils und dem Einschalten der Pumpe zwei Minuten, um einen Sensorwert von 600 bis 800 Millitorr zu erhalten. Schalten Sie dann den Netzschalter ein und warten Sie 30 Sekunden, bevor Sie den HF-Netzschalter von niedrig auf hoch drehen und eine Minute lang warten. Um das Set auszuschalten, folgen Sie dann der umgekehrten Reihenfolge.
Unmittelbar nach dem Öffnen der Kammer des Plasmareinigers wird das PDMS angehoben und um 180 Grad gedreht, so dass die Kanalseite nach unten zeigt. Platzieren Sie den Kanal auf der Oberseite des ITO-Substrats, um den Klebeprozess zu starten. Drücken Sie mit einer Pinzette etwa drei Sekunden lang vorsichtig auf die Ecken des PDMS.
Geben Sie das Ansaugmedium mit einer 23-Gauge-Nadel in eine Ein-Milliliter-Spritze. Befeuchten Sie den Kanal langsam und vorsichtig, indem Sie die Nadel direkt in die Einlassmulde einführen, bevor Sie das Medium freisetzen, ohne Luftblasen einzuführen. Nach einer Inkubationszeit von mindestens drei Minuten wird das Primärmedium mit einer 10-Mikroliter-Pipettenspitze entfernt.
Zum Schluss wird der Kanal dreimal mit Dielektrophoresemedium gewaschen, indem das Medium in den Kanal eingeführt wird.