Croissance épitaxiale de perovskite Strontium Titanate sur Germanium via Atomic Layer Deposition
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09:45 min
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July 26th, 2016
DOI :
July 26th, 2016
•Chapitres dans cette vidéo
0:05
Title
1:20
Cleaning the Germanium Substrate
2:46
Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
4:30
Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
7:23
Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
8:41
Conclusion
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