原子発光分光法 (AES) の機器には、サンプルを気相の原子とイオンに変換する原子化装置など、さまざまなコンポーネントが含まれます。原子化装置には、連続型と離散型という 2 つの主なタイプがあります。連続型はプラズマや炎のように一定の流れでサンプルを導入しますが、離散型はシリンジまたはオートサンプラーを使用して個々のサンプルを注入します。最も一般的な離散型は電熱型です。
噴霧化は、サンプルをエアロゾルの形で導入するプロセスです。ネブライザは液体サンプルから細かい液滴のスプレーを生成し、効率的な噴霧化を可能にします。いったん噴霧されると、炎またはプラズマ内のサンプルは原子、分子、イオンの定常集団を形成します。プラズマからの放射は、モノクロメータ、ポリクロメータ、分光器などの波長分離装置を使用して、構成波長に分離されます。分離された放射線は、トランスデューサまたはアレイ検出器によって電気信号に変換され、その後、コンピュータシステムによって処理および分析されます。
誘導結合プラズマ (ICP) 放出システムは、炎の代わりにアルゴンプラズマトーチと呼ばれる高温プラズマを使用します。これにより、より幅広い用途と迅速な多元素分析が可能になります。直流プラズマ ソース (DCP) では、不活性ガスの加熱は DC アークによって実現され、高速ガス流でプラズマが確立されます。DCP 設計では、通常、アルゴン流の交差点に励起領域がある逆 V 字型の電極アセンブリが使用され、この時点でネブライザを使用してサンプルを注入します。
多元素測定には、異なる放出ラインを順番にスキャンするシーケンシャル分光計や、ポリクロメータまたは分光器を使用して複数の波長を同時に測定する同時分光計など、さまざまな機器が利用できます。原子発光分析装置の機器には、連続波長測定用のモノクロメータを備えた連続光路や、複数の発光線を同時に測定するための複数の出口スリットと光電管を備えた同時直接読み取りポリクロメータなど、さまざまな光路オプションが用意されています。
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