高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたBi2Te3および_Sb2Te3熱電薄膜の作製

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04:22 min

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May 17th, 2024

DOI :

10.3791/66248-v

May 17th, 2024

•

Nurfarhana Ahmad Musri¹, Yoganash Putthisigamany¹, Puvaneswaran Chelvanathan¹, Norasikin Ahmad Ludin¹, Nadhrah Md Yatim², Ubaidah Syafiq¹

¹Solar Energy Research Institute (SERI), Universiti Kebangsaan Malaysia, ²Faculty of Science and Technology, Universiti Sains Islam Malaysia

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Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates

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