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Herstellung von thermoelektrischen Bi2Te3- und Sb2Te 3-Dünnschichten unter Verwendung der Hochfrequenz-Magnetron-Sputtertechnik

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04:22 min

May 17th, 2024

DOI :

10.3791/66248-v

May 17th, 2024


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Engineering

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Introduction

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Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates

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