유도 결합 플라즈마(ICP)는 시료의 다양한 원소를 감지하고 분석하는 기술인 원자 방출 분광법(AES)에 사용되는 일반적인 플라즈마 소스입니다. 이 방법을 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광법(ICP-AES)이라고도 합니다.
유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광법(ICP-AES) 장비에는 순차, 동시 다중 채널 및 푸리에 변환 장비의 세 가지 주요 유형이 있으며 후자는 덜 일반적으로 사용됩니다. 순차 ICP-AES는 각 요소를 개별적으로 분석합니다. 여기서 기기는 한 요소의 라인에서 다른 요소의 라인으로 이동하도록 프로그래밍되어 있으며 라인 강도를 만족스럽게 측정하기 위해 각 요소에서 몇 초씩 일시 중지합니다. 반면, 다중 채널 장비는 여러 요소에 대한 방출선 강도를 동시에 또는 거의 측정하도록 설계되었습니다. 순차 장비는 더 간단하지만 더 많은 시간과 샘플 소비가 필요하므로 장기적으로 비용이 더 많이 듭니다.
순차 및 다중 채널 방출 분광계는 기존 격자 분광계 또는 에셸 분광기를 사용할 수 있습니다. 순차 장비에 자주 사용되는 격자 단색 장치는 밀리미터당 2400 또는 3600개의 홈이 있는 홀로그램 격자를 사용합니다. 격자는 디지털로 제어되는 스테퍼 모터로 회전하여 다양한 파장을 출구 슬릿에 순차적으로 정확하게 집중시킵니다. 슬루 스캔 분광계는 관심 라인 근처의 파장을 매우 빠르게 스캔한 후 작은 단계로 라인을 가로질러 스캔하는 속도를 늦추는 순차 기기입니다. 이 방법은 유용하지 않은 파장 영역에서 소요되는 시간을 최소화합니다.
반면에 에셸 분광기는 스캐닝 장비 또는 동시 다중 채널 분광기로 작동할 수 있습니다. 동시 다중 채널 장비에는 다생화장치 또는 분광기가 통합되어 있습니다. 다생화장치에는 감지를 위한 일련의 광전자 증배관이 포함되어 있지만 분광기는 2차원 전하 주입 장치(CID) 또는 전하 결합 장치(CCD)를 변환기로 사용합니다. 일부 다중 채널 방출 분광계에서 광전자 증배관은 격자 다색화기의 초점 곡선을 따라 고정 슬릿 뒤에 위치합니다.
AES에서 널리 사용되지는 않지만 푸리에 변환 분광계는 넓은 파장 범위, 속도, 고해상도, 매우 정확한 파장 측정, 넓은 동적 범위, 소형 크기 및 대규모 광학 처리량과 같은 이점을 제공합니다. 전반적으로 AES 장비는 순차 스캐닝부터 동시 다중 채널 감지 및 푸리에 변환 분석에 이르기까지 다양한 기능을 제공하므로 연구원과 분석가는 특정 분석 요구 사항에 가장 적합한 접근 방식을 선택할 수 있습니다.
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