Fabrication of the Capacitive Pressure Sensor

용량 성 압력 센서를 조립하기 위해 interdigitated 프린지 효과 디자인으로 소프트 전극을 제작하십시오. 백금 실리콘 연질 폼의 두 가지 구성 요소를 1:1 및 6:1 중량비로 혼합하고 빠르게 저어 두 가지 타설 크기의 부드러운 실리콘 폼 유전체 층을 준비합니다. 혼합물을 3D 프린팅 된 몰드에 붓고 여러 개의 구멍이있는 보드를 사용하여 덮습니다.

혼합물이 경화되면 구멍을 통해 나오는 실리콘 폼을 자르고 보드를 제거합니다. 마지막으로, 제조된 유전체 폼을 interdigitated soft electrode layer 위에 올려 놓고 압력 센서 제작을 마무리합니다. 선폭이 200마이크로미터인 장치는 더 강한 프린지 필드 효과로 인해 감도가 더 높았습니다.

그리고 더 높은 부분 A 대 부분 B 중량비를 갖는 발포체는 또한 더 낮은 공기 분율을 갖는 발포체보다 더 높은 감도를 가졌다. 주기적 테스트에서 제작된 소프트 정전식 센서가 1000회의 주기적 압력 부하를 통해 높은 반복성을 유지하는 것으로 나타났습니다.