Preparação de macroporosas Epitaxial quartzo Filmes sobre Silicon Chemical Solution Deposition por

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December 21st, 2015

DOI :

10.3791/53543-v

December 21st, 2015


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Preparation of the Sol

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Gel Film Deposition on Si(100) Substrates

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Gel Film Crystallization by Thermal Treatment

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Results: Characterization of Macroporous Epitaxial Quartz Films

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