Litografia de feixe de íons focada para etch nano-arquiteturas em microeletrodos

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January 19th, 2020

DOI :

10.3791/60004-v

January 19th, 2020


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Bioengenharia

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Title

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Aligning the Focus Ion Beam (FIB) to the Silicon Probes

9:46

Writing an Automated Process for Etching

11:28

Results: FIB Etched Nano-architecture on the Surfaces of Intracortical Probes and Microelectrodes Affects Neuron Density and Electrophysiology

13:08

Conclusion

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