Meike Hauschildt

Zhongquan Liao^1,2, 

Martin Gall¹, 

Kong Boon Yeap^1,3, 

Christoph Sander¹, 

André Clausner¹, 

Uwe Mühle¹, 

Jürgen Gluch¹, 

Yvonne Standke¹, 

Oliver Aubel⁴, 

Armand Beyer⁴, 

Meike Hauschildt⁴, 

Ehrenfried Zschech^1,2 

¹, Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems, 

²Dresden Center for Nanoanalysis, Technische Universität Dresden, 

³, Globalfoundries Fab 8, 

⁴, Globalfoundries Fab 1