La durée de vie du transporteur est un paramètre important pour l’analyse et les matériaux des ondes semi-conducteurs. Nous avons besoin d’une méthode commune pour l’aberration de la durée de vie du transporteur. Ici, nous introduisons la désintégration de photoconductivité de micro-ondes ce que l’on appelle micro-PCD.
micro-PCD est généralement obsolète micro-PCD est généralement obsolète parce qu’il est à long comportement et longue méthode perturbatrice. Un autre avantage de cette méthode est l’insensibilité à ce qui suit l’aberration des matériaux de toute structure. Takato Asada, un étudiant de mon laboratoire, démontrera la procédure.
Pour commencer cette procédure, préparez une épicouche en carbure en silicium n-type 4H. À l’aide d’une rondelle ultrasonique, laver l’échantillon avec de l’acétone pendant cinq minutes, suivre à l’eau pendant cinq minutes. Par la suite, utilisez un pistolet à azote pour éliminer l’humidité à la surface de l’échantillon.
Ensuite, préparez une molaire d’acide sulfurique, de chlorure d’hydrogène, de sulfate de sodium, d’hydroxyde de sodium ou un pour cent de poids d’acide fluorhydrique. Préparez une solution aqueuse à mesurer. Verser ensuite la solution aqueuse dans une cellule de quartz.
Transférez l’échantillon préparé dans la cellule et plongez-le dans la solution aqueuse. Pour préparer l’équipement de mesure, allumez l’alimentation électrique du laser pulsé de 266 nanomètres pour exciter la source lumineuse. Réglez ensuite le mode laser en veille.
Connectez le laser pulsé et un oscillateur avec un câble BNC. Allumez l’oscillateur et entrez une onde d’impulsion de 100 hertz au laser pulsé. Par la suite, connectez une photodiode à l’oscilloscope avec le câble BNC pour déclencher l’acquisition.
Ensuite, allumez la photodiode. Ensuite, mettez les lunettes de sécurité. Irradier le laser pulsé et placer l’ouverture du guide d’ondes micro-ondes sur la trajectoire optique de la lumière laser à la direction perpendiculaire à la lumière.
Installez un demi-miroir sur la trajectoire optique du laser pulsé et réfléchissez le laser pulsé jusqu’à la photodiode. Par la suite, allumez l’oscilloscope et fixez le seuil de déclenchement sur une tension suffisante pour détecter le signal de la photodiode. Vérifiez ensuite la fréquence de déclenchement avec un oscilloscope et accordez-la si nécessaire.
Par la suite, réglez le mode laser en veille. Connectez une diode de barrière schottky dans un guide d’ondes micro-ondes pour la détection réfléchie des micro-ondes et un canal d’entrée de signal de l’oscilloscope avec un câble BNC. Appliquez ensuite une tension de fonctionnement de 9,5 volts à une diode de canon.
Placez la cellule de quartz sur le support devant l’ouverture aussi près que possible et fixez-la avec du ruban adhésif. Pour mesurer la durée de vie du transporteur, allumez l’oscillation de la lumière laser et effacez la lumière à l’échantillon. Placez une plaque à demi-ondes, un polariseur et un compteur d’énergie sur le chemin optique.
Effacez le laser d’impulsion au compteur de puissance. Vérifiez l’intensité d’excitation du laser. Ajustez ensuite l’angle demi-onde pour le contrôle de l’intensité de l’excitation.
Ensuite, retirez le compteur d’énergie du chemin optique. Ajustez les échelles de temps et de tension de l’oscilloscope de sorte que le signal de pointe soit affiché sur l’oscilloscope. Par la suite, réglez l’amplitude et la phase du micro-ondes à l’intermédiaire d’un accordeur E-H.
Vérifiez l’oscilloscope et recherchez l’accordeur E-H où le signal de pointe est au maximum. L’ajustement raté de l’accordeur E-H entraîne une perte de signal. Cette étape doit être effectuer avec le plus grand soin.
Maintenant, les surtunings compromis produisent des enregistrements d’accordeur et une mesure incorrecte. L’échec du réglage ne peut pas être confirmé dans les processus de données. Ajustez l’échelle de temps de l’oscilloscope et esquissez une courbe de décomposition dans la zone de mesure de l’oscilloscope.
Moyenne du signal pour un nombre arbitraire de fois pour améliorer le rapport signal-bruit. Enregistrez ensuite les données de mesure sous forme de fichier électronique sur un lecteur de mémoire. Pour traiter les données, importez les données du signal sur un ordinateur personnel et tracez les courbes de décomposition obtenues à partir de l’expérience en fonction du temps.
Calculez la valeur moyenne du niveau de bruit de fond, soustrayez-le du signal de décomposition et tracez-le en fonction du temps. Trouvez la valeur maximale du signal de décomposition, puis divisez le signal de décomposition par la valeur maximale. Cette intrigue montre des courbes de désintégration micro-PCD du carbure de silicium n-type 4H dans l’air et dans des solutions aqueuses.
Une lumière d’excitation de 266 nanomètres a été irradié à la phase de silicium du carbure de silicium 4H dans des solutions aqueous. La constante de temps des courbes de décomposition était plus longue avec l’échantillon immergé dans les solutions aqueuses acides, ce qui implique que les solutions acides passivated états de surface sur la phase de silicium et la recombinaison de surface réduite des porteurs excédentaires. S’il vous plaît garder à l’esprit Ces propriétés actuelles sont insonorisées.
Avec une mesure de la conductivité élevée insonorisée, les forces du signal seront faibles. Dans de tels cas, la bifurcation du signal sera regrade. La mesure à haute température peut être effectuée en soufflant hotware tout en appuyant sur l’échantillon sur la plaque chaude.
Grâce à la mesure à haute température, nous spéculons sur les propriétés de différentes 15 transporteurs à vie. Cette méthode a été en exclusive dans l’industrie des semi-conducteurs conventionnels. Avec cette méthode, nous pouvons caractériser 40 ohms mêmes matériaux conductrices et leurs propriétés de surface complémentaires.
Les rayons pulsés sont dangereux. Assurez-vous d’utiliser des lunettes de sécurité et ne portez pas de montres pour empêcher la réflexion de la lumière.
