عمر الناقل هو معلمة هامة لتحليل موجة أشباه الموصلات والمواد. نحن بحاجة إلى طريقة شائعة لاحراف عمر الناقل. هنا، نقدم الميكروويف الموصلة الضوئية تسوس ما يسمى الدقيقة PCD.
الدقيقة PCD عادة قديمة الدقيقة PCD هو عادة قديمة لأنها طويلة السلوك وطريقة طويلة التخريبية. ميزة أخرى من هذه الطريقة هي عدم الحساسية إلى أي ما يلي انحراف المواد من أي هياكل. و سيكون من خلال هذا الإجراء تاكاتو Asada، طالب من مختبري.
لبدء هذا الإجراء، وإعداد ن-نوع 4H السيليكون كربيد epilayer. باستخدام غسالة بالموجات فوق الصوتية، وغسل العينة مع الأسيتون لمدة خمس دقائق، اتبعها بالماء لمدة خمس دقائق. في وقت لاحق، واستخدام بندقية النيتروجين لإزالة الرطوبة على سطح العينة.
بعد ذلك، قم بإعداد مُضرس واحد من حمض الكبريتيك، كلوريد الهيدروجين، كبريتات الصوديوم، هيدروكسيد الصوديوم، أو وزن واحد من حمض الهيدروفلوريك. إعداد محلول مائي لقياسه. ثم صب محلول مائي في خلية الكوارتز.
نقل العينة المعدة في الخلية، وتزج في محلول مائي. لإعداد معدات القياس، قم بتشغيل مصدر الطاقة بالليزر النابض 266 نانومتر لإثارة مصدر الضوء. ثم قم بتعيين وضع الليزر في وضع الاستعداد.
قم بتوصيل الليزر النبضي والمذبذب بكابل BNC. بدوره على مذبذب وإدخال موجة نبض 100 هيرتز إلى الليزر النابض. وفي وقت لاحق، قم بتوصيل الصمام الضوئي بمنظار المنظار مع كابل BNC لإثارة عملية الاستحواذ.
ثم تشغيل الصمام الضوئي. بعد ذلك، ضع نظارات السلامة. تشع أشعة الليزر النبض ووضع الفتحة من دليل موجة الميكروويف على المسار البصري للضوء الليزر في الاتجاه عمودي على الضوء.
تثبيت مرآة نصف على المسار البصري بالليزر النابض وتعكس الليزر نبض إلى الصمام الضوئي. بعد ذلك، قم بتشغيل منظار الإشعال وتعيين عتبة الزناد على الجهد الكهربائي الذي يكفي للكشف عن إشارة من الصمام الضوئي. ثم تحقق من تردد الزناد مع منظار وضبطه إذا لزم الأمر.
بعد ذلك، قم بتعيين وضع الليزر في وضع الاستعداد. قم بتوصيل الصمام الثنائي الحاجز schottky في دليل موجة الميكروويف للكشف عن الميكروويف المنعك وقناة إدخال إشارة من سكوب مع كابل BNC. المقبل تطبيق 9.5 فولت الجهد التشغيل إلى صمام ثنائي بندقية.
ضع خلية الكوارتز على الحامل أمام الفتحة في أقرب وقت ممكن، ثم قم بإصلاحها مع الشريط. لقياس عمر الناقل، قم بتشغيل ذبذبة ضوء الليزر وعصر الضوء على العينة. ضع لوحة نصف موجة ومستقطب ومتر طاقة على المسار البصري.
اعصر الليزر النبضي إلى عداد الطاقة. تحقق من شدة الإثارة من الليزر. ثم ضبط زاوية نصف موجة للسيطرة على كثافة الإثارة.
بعد ذلك، قم بإزالة عداد الطاقة من المسار البصري. ضبط الوقت ومقاييس الجهد من منظار بحيث يتم عرض إشارة الذروة على منظار. بعد ذلك، ضبط السعة والمرحلة من الميكروويف من خلال موالف E-H.
تحقق من منظار المنظار وابحث عن موالف E-H حيث تكون إشارة الذروة في الحد الأقصى. فشل التعديل من الناتج موالف E-H في إشارة فقدت. يجب أن يتم تنفيذ هذه الخطوة بعناية فائقة.
الآن، اختراق over tuneings سجلات موالف العائد والقياس غير صحيح. لا يمكن تأكيد فشل توليف في عمليات البيانات. ضبط مقياس الوقت من منظار وتخطيط منحنى الاضمحلال في منطقة القياس على منظار.
متوسط الإشارة لعدد عشوائي من المرات لتحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء. ثم احفظ بيانات القياس كملف إلكتروني إلى محرك ذاكرة. لمعالجة البيانات، قم باستيراد بيانات الإشارة إلى جهاز كمبيوتر شخصي و رسم منحنيات الاضمحلال التي تم الحصول عليها من التجربة كدالة للوقت.
حساب متوسط قيمة مستوى الضوضاء الخلفية، وطرحه من إشارة الاضمحلال، ومؤامرة كدالة من الزمن. أوجد قيمة الذروة لإشارة الاضمحلال ثم قسّم إشارة الاضمحلال على قيمة الذروة. هذه المؤامرة يظهر منحنيات الاضمحلال الدقيقة PCD من نوع N-4H كربيد السيليكون في الهواء وفي حلول مائي.
تم إشعاع ضوء الإثارة من 266 نانومتر إلى مرحلة السيليكون من كربيد السيليكون 4H في المحاليل مائي. وكان ثابت الوقت من منحنيات الاضمحلال أطول مع العينة مغمورة في المحاليل مائي الحمضية، مما يعني أن الحلول الحمضية الدول السطحية تخميل على مرحلة السيليكون وانخفاض إعادة تركيب سطحية من الناقلات الزائدة. يرجى أن نضع في اعتبارنا هذه الخصائص الحالية عازلة للصوت.
مع قياس الموصلية عالية عازلة للصوت، وسوف تكون نقاط القوة إشارة صغيرة. في مثل هذه الحالات، سيتم إعادة تشعب الإشارة. يمكن إجراء قياس درجة الحرارة العالية عن طريق تهب hotware أثناء الضغط على العينة على لوحة ساخنة.
من خلال قياس درجة الحرارة العالية، ونحن التكهن خصائص مختلفة 15 الناقل العمر. وقد تم هذا الأسلوب في الملكية في صناعة أشباه الموصلات التقليدية. مع هذا الأسلوب، يمكننا أن نميز 40 أوم نفس المواد موصل وخصائص سطحها التكميلية.
الأشعة النبضية خطرة تأكد من استخدام نظارات السلامة وعدم ارتداء الساعات لمنع انعكاس الضوء.
