אידוי תרמי ואקום משמש במחקר ותעשייה, והוא ללא ספק הטכניקה הנפוצה ביותר לייצר דיודות פולטות אור אורגני. היתרון העיקרי של טכניקה זו הוא הייצור של מבנים באיכות גבוהה בקלות לשכפל, אשר ניתן לתרגם למכשירים יעילות גבוהה. התחל עם שני מצעים עם תבנית.
אלה 24 מילימטר על ידי 24 מילימטר ITO מצופה מצעי זכוכית היו בדוגמת עם ארבעה פסים מילימטר. לשטוף כל מצע עם אצטון במשך כ 10 שניות, ולאחר מכן לייבש אותם עם אקדח חנקן. לאחר מכן, להטביע את המצעים במיכל של אצטון, מניחים את המיכל באמבטיה קולית במשך 15 דקות.
כאשר נעשה, להעביר את המצעים למיכל עם אלכוהול isopropyl. אל תשכח לאותת לשני המכולות בצד הפונה לסרטי ITO. מניחים את המיכל הזה באמבטיה הקולית עוד 15 דקות.
לאחר האמבטיה הקולית השנייה, להסיר את המצעים ולייבש אותם עם אקדח חנקן. מניחים מצעים יבשים בפלטפורמה המתאימה לניקוי פלזמה. לפני שתמשיך, ודא שאין שאריות או כתמים על המצעים.
השתמש בריבוי מטרים באזורי ה Pad כדי להבטיח ש- ITO פונה קדימה. לאחר מכן, ללכת מנקה פלזמת חמצן, והניח את צד ITO מצעים למעלה. תנקה אותם לשש דקות.
לאחר ניקוי פלזמה, היכונו לצעדי אידוי. חבר את המצעים למחזיק המצע עם מסכה A, המשמשת לאידוי כל השכבות האורגניות, מוודאת ש- ITO פונה כלפי מטה. אם יש ספק, לבדוק שוב עם מולטימטר.
יש מסכה שנייה מוכנה, מסכה B, לאידוי של אלומיניום. לאחר מכן הנח את מסכה א' על מסכה ב', קח את מחזיק המצעים ואת המסכות לאנטכמבר של תא הכפפות, שם נמצא תא האידוי. לאחר מכן, הכינו את האבקה האורגנית השונה וחומרים אחרים הדרושים למכשיר זה, והוסיפו אותן לתא.
כאשר עובדים בתא כפפות, לפני הוספת משהו חדש לתא, לפנות ול מילוי שלוש פעמים antechamber, כדי למנוע כל חמצן מלהיכנס לתא הכפפות. מניחים מסכה א' על מדף התצהיר. מניחים את מסכה ב' על מדף חלופי.
לבסוף, מניחים את האבקה האורגנית באזורים שלהם. לאחר מכן, לסגור את התא וליזום את הליך ואקום. כאשר הלחץ נמוך, להתחיל את הזרימה של מים קירור סיבוב מצע.
זהו ייצוג של התצוגה העליונה וחתך רוחב של פיקסל בתחילת רצף האידוי. הפקדה 40 ננומטר של NPB שחומם מראש כאשר שיעור האידוי שלה הוא סביב 1 אנגסטרום לשנייה. לאחר כור ההיתוך NPB מתקרר, שיתוף להתאדות 18 ננומטר של CBP שחומם מראש, ו 2 ננומטר של DPTZ-DBTO2 שחומם מראש, באמצעות שיעורי אידוי שונים.
שלב האידוי השותף חיוני להבטחת ביצועי מכשיר טובים. שיעורי האידוי השותף צריכים להישמר לאורך כל ההליך, כדי לוודא שהיחס זהה לאורך כל השכבה. הבא להתאדות 60 ננומטר של TPBi שחומם מראש בערך אנגסטרום אחד לשנייה.
לאחר מכן, להתאדות ננומטר אחד של פלואוריד ליתיום שחומם מראש. כאשר כור ההיתוך ליתיום פלואוריד הוא מגניב, מניחים מסכה A על מסכה B ולהפקיד 100 ננומטר של אלומיניום שחומם מראש על אנגסטרום אחד לשנייה. לאחר האוורור, הסר את המצע מתא הפינוי.
כך זה נראה לאחר שלבי האידוי, ונצפו דרך מצע הזכוכית. ישנם ארבעה פיקסלים. בתצוגה סכמטית זו, שים לב שהשימוש במסכה B עם גדלי משטח שונים אפשר ארבעה פיקסלים בשני גדלים שונים.
שניים על ארבעה סנטימטרים מרובעים, וארבעה על ארבעה סנטימטרים מרובעים. מעבירים את המצעים לשלב אנקפסולציה, מוציאים אותם מהמחזיק ומפקידים אותם על הבמה כשהסרטים התאדו פונים קדימה. פיזור שף כדי לצייר ריבוע המקיף את כל הפיקסלים התאדו.
לאחר מכן, מניחים אנקפסולציה על גבי השף, כדי לאבטח אותו על המכשיר. כאשר מוכן, UV לרפא את המצעים על פי הוראות שף. אנקפסולציה תבטיח כי המכשיר אינו לדרדר עם חמצן או לחות, בסופו של דבר, להבטיח את איכותו.
איפיין את OLED באמצעות כדור שילוב. לפני האפיון, בדוק את OLED. ודא כי פסים ITO מחוץ לזכוכית אנקפסולציה של OLED נקיים.
מקם את ה- OLED בתחום האינטגרציה. ודא שהאנודה מחוברת לפד ITO, והקטודה מחוברת לכריות האלומיניום. כאשר החיבורים נעשים, סגור את הספירה המשתלבת והמשך במדידות אפיון.
חלקה זו יש את הצפיפות הנוכחית כפונקציה של מתח בשחור. יש לו גם את הזוהר כפונקציה של מתח באדום. המתח שבו האור מזוהה לראשונה הוא ארבעה וולט.
במתחים גבוהים, השפלה המכשיר הופך להיות ברור, עם הירידה זוהר כאן מופיע בסביבות 13 וולט. חלקות אלה מאפשרות השוואה להתקנים אחרים. זוהי היעילות הקוונטית החיצונית כפונקציה של הצפיפות הנוכחית.
להלן היעילות הזוהרת בשחור, המוזכרת בציר השמאלי, והיעילות הנוכחית בכחול, ומתייחסת לציר הימני, כל אחד כפונקציה של מתח. לבסוף, חלקה זו של אור נפלט כפונקציה של אורך גל למתחים שונים מוכיחה כי אורך הגל של פליטת שיא אינו משתנה. הדבר מצביע על כך שהמכשיר יציב מבחינה אופטית.
בעת ניסיון הליך זה, חשוב לזכור כי כל החומרים משטחי המצע רגישים לסביבה. פרמטרים כמו טמפרטורה, לחות, אבק ואפילו חמצן משפיעים על ביצועי ההתקן. לאחר התפתחותו, טכניקת האידוי התרמי ואקום המוצג כאן, סלל את הדרך לדור הנוכחי של OLEDs.
בדור זה, אנו חוקרים פולטים שונים, וערימות ייעוץ יישומים, עבור צגים שטוחים וטלפונים חכמים. פרוטוקול זה מציג דרך פשוטה אך יעילה לבניית ערימות מכשירים עם מספר קטן של שכבות אורגניות, שעדיין מאפשרות ייצור של מערכות יעילות גבוהה. אל תשכח כי עבודה עם ממיסים המשמשים לניקוי יכול להיות מסוכן.
אמצעי זהירות כגון שימוש בכפפות מתאימות, בגדי מעבדה ומשקפי מגן, יש תמיד לנקוט בעת ביצוע הליך זה.
