Vakum termal buharlaşma araştırma ve sanayi de kullanılan ve çok organik ışık yayan diyotlar üretmek için en çok kullanılan tekniktir. Bu tekniğin en büyük avantajı, yüksek verimli cihazlara çevrilebilen yüksek kaliteli ve kolayca tekrarlanabilir yapıların üretimidir. İki desenli yüzeylerle başlayın.
Bu 24 milimetrelik ITO kaplamalı cam yüzeyler dört milimetre çizgili desenli idi. Yaklaşık 10 saniye boyunca aseton ile her substrat durulayın, sonra bir azot tabancası ile kurulayın. Daha sonra, aseton bir kap içinde substratlar batırın, 15 dakika boyunca bir ultrasonik banyo içinde konteyner yerleştirin.
Bittiğinde, isopropil alkol ile bir kap için substratlar aktarın. İTO filmlerinin karşı karşıya olduğu taraftaki her iki konteynere de sinyal vermeyi unutmayın. Başka bir 15 dakika ultrasonik banyoda bu konteyner yerleştirin.
Ikinci ultrasonik banyo sonra, yüzeyleri kaldırmak ve bir azot tabancası ile kuru. Kuru yüzeyleri plazma temizleyicisi için uygun bir platforma yerleştirin. Devam etmeden önce, yüzeylerde kalıntı veya leke olmadığından emin olun.
ITO'nun ileriye dönük olduğundan emin olmak için ped alanlarında bir multimetre kullanın. Sonra, bir oksijen plazma temizleyici gidin ve substratlar ITO tarafı kadar yerleştirilir. Altı dakika temizleyin.
Plazma temizliğinden sonra buharlaşma adımlarını hazırlayın. Tüm organik katmanların buharlaşması için kullanılan Maske A ile substratları alt tabaka tutucuya takın ve ITO'nun aşağı yayıldığından emin olun. Şüpheniz varsa, multimetre ile tekrar test edin.
Alüminyumun buharlaşması için ikinci bir maske hazır, Maske B. Daha sonra Maske A'yı Maske'ye yerleştirin B.Alt tabaka tutucuyu ve maskeleri buharlaşma odasının olduğu torpido gözündeki antehazna götürün. Daha sonra, farklı organik tozlar hazırlamak ve bu cihaz için gerekli diğer malzemeleri, ve odasına ekleyin.
Bir torpido glovebox çalışırken, odaya yeni bir şey eklemeden önce, boşaltmak ve üç kez antechamber doldurmak, torpido kutusuna girmesini herhangi bir oksijen önlemek için. Maske A'yı biriktirme rafına yerleştirin. Maske B'yi alternatif bir rafa yerleştirin.
Son olarak, kendi alanlarına organik tozlar yerleştirin. Sonra, oda kapatın ve vakum prosedürü başlatın. Basınç düşük olduğunda, soğutma suyu ve substrat rotasyon akışını başlatın.
Bu, buharlaşma dizisinin başındaki bir pikselin alt tabaka üst görünümünün ve kesitinin bir temsilidir. Buharlaşma hızı saniyede 1 angstrom civarında olduğunda önceden ısıtılmış NPB 40 nanometre yatırın. NPB potası soğuduktan sonra, 18 nanometre önceden ısıtılmış CBP ve 2 nanometre önceden ısıtılmış DPTZ-DBTO2, farklı buharlaşma hızları kullanılarak birlikte buharlaşır.
Co-evaporatiyon adımı iyi cihaz performansı sağlamak için çok önemlidir. Co-evaporatiyon oranları işlem boyunca muhafaza edilmelidir, oran tüm katman boyunca aynı olduğundan emin olmak için. Sonraki saniyede yaklaşık bir angstrom önceden ısıtılmış TPBi 60 nanometre buharlaşır.
Sonra, önceden ısıtılmış Lityum florür bir nanometre buharlaşır. Lityum florür potası serin olduğunda, Maske A'yı Maske B'ye yerleştirin ve saniyede yaklaşık bir angstroma önceden ısıtılmış 100 nanometre alüminyum koyun. Havalandırmadan sonra, tahliye odasından substrat çıkarın.
Bu buharlaşma adımları sonra görünür nasıl, ve cam substrat ile bakıldığında. Dört piksel vardır. Bu şematik görünümde, Maske B'nin farklı ped boyutlarında kullanılmasının iki farklı boyutta dört piksele izin verdiğini unutmayın.
İkişer dört santimetre kare, dört er santimetre kare. Yüzeyleri kapsülleme aşamasına taşıyın, tutucularından çıkarın ve buharlaşmış filmler öne bakacak şekilde sahneye yerleştirin. Buharlaşan piksellerin tümlerini kapsayan bir kare çizmek için reçin dağıtın.
Ardından, resenin üzerine bir kapsülleme camı yerleştirin ve cihazın üzerine sabitlenin. Hazır olduğunda, UV reçine talimatlarına göre yüzeyleri tedavi eder. Kapsülleme cihazın oksijen veya nem ile bozulmaz garanti edecek, sonunda, kalitesini sağlamak.
ENTEGRE bir küre kullanarak OLED karakterize. Karakterizasyondan önce OLED'i inceleyin. OLED kapsülleme camDışında ITO şeritler temiz olup olmadığını kontrol edin.
OLED'i tümleştirme alanına yerleştirin. Anosun ITO pedine ve katodun alüminyum pedlere bağlı olduğunu doğrulayın. Bağlantılar yapıldığında, tümleştirme küresini kapatın ve karakterizasyon ölçümlerine devam edin.
Bu çizim, siyah gerilimin bir fonksiyonu olarak akım yoğunluğuna sahiptir. Aynı zamanda kırmızı gerilim bir fonksiyonu olarak parlaklık vardır. Işığın ilk algılandığı gerilim dört volt'dur.
Yüksek voltajlarda, cihaz bozulması belirgin hale gelir, parlaklık düşüşü burada yaklaşık 13 volt görünür. Bu çizimler diğer aygıtlarla karşılaştırmasağlar. Bu, mevcut yoğunluğun bir fonksiyonu olarak dış kuantum verimliliğidir.
Burada siyah ışık verimliliği, ve sol eksen ile anılacaktır, ve mavi akım verimliliği, ve sağ eksene atıfta, her voltaj fonksiyonu olarak. Son olarak, farklı gerilimler için dalga boyu fonksiyonu olarak yayılan ışığın bu çizimi, tepe emisyonunun dalga boyunun değişmediğini göstermektedir. Bu, cihazın optik olarak kararlı olduğunu gösteriyor.
Bu yordamı denerken, tüm malzemelerin ve substrat yüzeylerin çevreye duyarlı olduğunu unutmamak önemlidir. Sıcaklık, nem, toz ve hatta oksijen gibi parametreler cihazın performansını etkiler. Gelişiminden sonra, burada gösterilen vakum termal buharlaşma tekniği, MEVCUT NESIL OLED'lerin önünü açtı.
Bu nesilde, düz panel ekranlar ve akıllı telefonlar için farklı yayıcılar ve uygulama tavsiye yığınları keşfediyoruz. Bu protokol, az sayıda organik katmana sahip cihaz yığınları oluşturmanın basit ama etkili bir yolunu gösterir ve bu da yüksek verimli sistemlerin üretimine olanak sağlar. Temizlik için kullanılan çözücülerle çalışmanın tehlikeli olabileceğini unutmayın.
Bu işlemi yaparken uygun eldiven, laboratuvar giysisi ve koruyucu gözlük kullanımı gibi önlemler her zaman alınmalıdır.
