化学溶液法によるシリコン上のマクロポーラスエピタキシャル石英薄膜の作製

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December 21st, 2015

DOI :

10.3791/53543-v

December 21st, 2015


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Title

1:11

Preparation of the Sol

2:43

Gel Film Deposition on Si(100) Substrates

4:04

Gel Film Crystallization by Thermal Treatment

4:55

Results: Characterization of Macroporous Epitaxial Quartz Films

6:30

Conclusion

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