이 작품은 NSF 보조금 DMR-0605716 및 DMR-1101189에 의해 지원되었다. 또한 코넬 나노스케일 과학 기술 센터는 산화물을 재배하고 패턴화하는 데 사용되었습니다. 우리는 그들의 도움에 감사드립니다. 우리 중 한 명은 모티 랄 러스티 교수의 지원에 감사드립니다.

1. 본딩 전, 웨이퍼 준비
1.8을 제외한 이 단계는 코넬 나노스케일 시설 클린룸에서 수행됩니다.
<ol><li>두꺼운 산화물에 젖은 산화 공정을 사용하여 표준 열 산화 용광로에서 산화물을 재배하고, 더 나은 두께 제어를 달성하기 위해, 매우 얇은 산화물에 대한 건조 산화물 공정. 타원면으로 전체 웨이퍼에 균일성을 위해 두께를 확인합니다.</li>
	<li>에칭하려는 형상에 대한 마스크를 만듭니다.</li>
	<li>에칭되는 웨이퍼에 사진 저항을 회전.</li>
	<li>테스트 웨이퍼를 노출, 개발 및 굽고 적절한 현미경으로 검사합니다.</li>
	<li>테스트 웨이퍼가 원하는 대로 노출되면 테스트 웨이퍼에 식히게 합니다. 산화물 두께와 측면 피쳐 치수의 비율은 습식 또는 건식 에치가 적절한지 결정합니다. 젖은 등산은 등위위도 있기 때문에 산화물에서 수직 벽을 생성하지 않습니다. 대부분의 경우 이 문제는 중요하지 않습니다. 수직 벽이 원하는 경우 반응 이온 에칭을 사용할 수 있습니다. 에칭이 성공하면 다른 웨이퍼를 진행합니다. 종종, Si 및 SiO2의 소수성/친성 특성을 사용하여 에칭 공정이 성공적이었는지 확인할 수 있습니다.</li>
	<li>웨이퍼에서 포토레지스트를 제거합니다. 대부분의 포토 레지스트에 대 한, 이 것 들은 처음에 이소 프로필 알코올및 아세톤으로 수행할 수 있습니다. 그러나, 저항의 일부 소량은 여전히 웨이퍼에 남아있을 것입니다. 이 저항은 좋은 결합을 달성하기 위해 완전히 제거될 필요가 있습니다.</li>
	<li>반응성 이온 에테르에서 간단한 20 분 산소 descumming 과정을 사용합니다. 이것은 웨이퍼에 남아있는 모든 포토 레지스트를 제거합니다. 그러나, 이것은 또한 노출된 실리콘에 몇몇 산화물 층을 추가합니다. 이것은 일반적으로 1-4 nm15입니다.</li>
	<li>상단 웨이퍼의 충전 구멍을 드릴. 다이아몬드 팁 드릴 비트와 스마트 컷 윤활으로 수행할 수 있습니다(제조업체 세부 사항에 대한 재료 참조). 탈이온화된 물로 드릴링한 직후 스마트 컷을 헹구는 다. 드릴링은 또한 직경이 0.124cm보다 큰 구멍을 채우기 위해 3-9 μm 그릿이 있는 다이아몬드 페이스트를 사용하여 수행 할 수 있습니다. 스마트 컷은 윤활에 다시 사용할 수 있습니다. 우리는 1,000-2,000 rpm에서 작은 정밀 드릴 프레스를 사용합니다.</li>
</ol>2. 본딩 준비
<ol><li>웨이퍼를 결합하기 위해서는 청결이 가장 중요합니다. 웨이퍼를 청소하기 위해 취해야 할 몇 가지 단계가 있습니다. 첫째, RCA 욕조로 청소하십시오.<ol>
<li>산화 (DI) 물에 웨이퍼를 헹구는.</li>
		<li>"RCA" 산성 목욕에 깨끗. RCA 산성 목욕은 H2O:H2O2:HCl 의 비율로 5:1:1. 웨이퍼를 80°C RCA 산에 15분 동안 놓고 패턴면이 위로 향합니다. 이 단계는 금속 오염을 제거합니다.</li>
		<li>산에서 웨이퍼를 제거하고 DI 수조에서 5 분 동안 헹구습니다.</li>
		<li>다음에 "RCA"베이스에 청소. RCA 베이스는 H2O:H2O2:NH4OH 이며 10:2:1의 비율. 패턴면이 위로 향하여 80°C RCA 베이스에 웨이퍼를 15분 동안 놓습니다. 이 단계는 유기 오염을 제거합니다.</li>
		<li>디 수조에서 웨이퍼를 헹구고 ~ 15분 동안 헹구습니다.</li>
	</ol>
</li>
	<li>웨이퍼는 DI 수조에서 제거하고 적절한 결합이 발생하기 위해 깨끗하게 유지해야합니다. 이 작업은 두 단계로 수행됩니다.<ol>
<li>먼저, 그림 3B에표시된 깨끗한 마이크로 챔버에 테플론 척에 서로 마주보고 패턴 에칭 면과 웨이퍼를 배치합니다. ~1mm 테플론 탭으로 구분됩니다. 웨이퍼 사이에 탈이온된 물을 분무하면서 입자 오염을 제거하기 위해 ~2분 동안 천천히 회전합니다(~10-60rpm). 이 시점에서 웨이퍼 사이에 는 물 필름이 남게됩니다. 이렇게 하면 다음 단계 이전에 먼지 오염이 방지됩니다.</li>
		<li>웨이퍼를 투명한 아크릴 뚜껑으로 덮고 웨이퍼를 3,000rpm에서 ~30분 동안 건조시로 돌립니다. 250W 적외선 열램프를 사용하여 건조 과정을 돕습니다. 급속한 회전은 도 3C에서와같이 물 필름의 배출과 함께 입자 오염 물질을 자극합니다.</li>
	</ol>
</li>
	<li>웨이퍼 위로 뚜껑을 제거하기 전에 뚜껑을 회전하여 웨이퍼를 분리하는 탭을 제거합니다. 이것은 미세 클린 챔버에있는 동안 가벼운 로컬 접촉으로 웨이퍼를 가져올 것이다. 이제 웨이퍼는 캐리어의 미세 클린 챔버에서 안전하게 제거 될 수 있습니다. 웨이퍼 사이의 약 1 μm의 매우 작은 간격은이 단계 동안 먼지 오염을 최소화할 것입니다. 또한 비대칭 결합을 시작하기 때문에이 시점에서 핀셋으로 웨이퍼를 선택하지 마십시오. 대신, 탈착식 캐리어를 사용하여 웨이퍼를 아버 프레스로 운반합니다.</li>
</ol>3. 웨이퍼 본딩
<ol><li>두 웨이퍼를 아버 프레스와 상당히 단단하고 매끄러운 (Nerf) 공을 사용하여 함께 누릅니다. Nerf 공은 중간에서 바깥쪽으로 웨이퍼에 압력을 가하는 데 사용됩니다. 이 방법으로 적용된 압력은 접합 파가 중심에서 퍼지면서 갇힌 공기를 밀어낼 수 있게 합니다. 센터에서 접합을 시작하면 웨이퍼가 서로 윤곽을 잡을 때 쌓이는 응력을 최소화할 수 있습니다. 웨이퍼는 약 1 μm의 자유 상태 평탄도를 가지며 결합에서 달성 된 간격은 몇 nm 내에서 균일합니다. 따라서 웨이퍼는 이를 달성하기 위해 자유 상태에서 왜곡되어야 합니다.<ol>
<li>1 μm 하이 패스 필터가 있는 적외선 광원 및 검출기를 사용하여 간섭 프린지를 찾아 본딩을 확인하십시오. 샘플 이미지는 그림 4및 5에표시됩니다. 간섭 프린지(뉴턴 링)가 결합이 불량한 경우 나타납니다. 본딩이 좋으면 3.3단계로 진행할 수 있습니다. 결합이 가난하고 부균일하지 않은 경우 다음과 같이 진행하십시오.</li>
		<li>셀을 광학 플랫에 놓고 필터 페이퍼로 덮어 상단 웨이퍼를 보호하고 쿠션한 다음 웨이퍼 집게와 함께 웨이퍼를 누릅니다. 구속된 "거품"을 중간(충전 구멍이 있는 곳) 또는 가장자리로 밀어 넣습니다. 웨이퍼가 중앙에 약간 오프셋 된 수 있기 때문에 가장자리 근처에 힘을 적용할 때주의하십시오. 따라서 가장자리 근처의 압력으로 인해 맨 아래 웨이퍼가 오버행하면 상단 웨이퍼가 균열될 수 있습니다.</li>
		<li>접합 요철이 지속되고 먼지 입자가 분명하면 면도날을 면도날로 연결하여 웨이퍼를 분할합니다. 프로세스를 처음부터 반복합니다(2.1.1 단계). 이 시점까지, 결합은 되돌릴 수 있습니다. 웨이퍼는 허용 가능한 결합을 얻기 위해 노력하는 동안 RT에서 여러 번 재결합 할 수 있습니다.</li>
	</ol>
</li>
	<li>허용 가능한 RT 본딩을 얻은 후 웨이퍼를 음침하게 합니다. 900 °C 이상의 온도는 적절한 어닐링5,6의특정하기 위해 도달해야합니다.<ol>
<li>충전 구멍이 척의 펌핑 구멍 위에 중심이 되는 것과 같이 셀을 석영 진공 척으로 스테이지합니다. 척은 아닐링 공정 전과 도중 세포를 대피시키는 데 사용되는 석영 펌핑 튜브에 연결됩니다. 이 튜브는 용광로 외부로 확장됩니다. 세포를 대피하면 세포에 적용되는 하나의 대기의 압력이 발생합니다. 이것은 결합에 도움이 될 것입니다. 용광로 온도가 너무 빨리 상승하면 압력이 축적되는 것을 방지하기 위해 펌핑이 필요합니다. 셀의 압력을 크게 낮추는 데 걸리는 시간은 셀 내의 형상에 따라 달라집니다.</li>
		<li>세포 의 외부에 산화물의 성장을 방지하기 위해, 비 반응 가스로 용광로 챔버를 제거, 일반적으로 4그는, 어떤 산화물이 재배되지 않도록.</li>
		<li>균주가 휴식을 취할 수있는 시간을 허용하려면 ~ 4 시간 동안 250-1,200 ° C의 온도를 램프하는 것이 중요합니다. 1,200°C에 적어도 4시간 동안 투숙한 후, 용광로를 끕니다.</li>
		<li>시스템이 RT로 냉각되도록 허용합니다.</li>
	</ol>
</li>
	<li>도 6에도시된 바와 같이 적외선 광원 및 검출기를 사용하여 셀을 다시 한 번 분석한다. 어닐링이 잘 진행되면, 세포는 처음에 용광로에 넣을 때보다 좋거나 종종 더 좋아 보일 것입니다. 가난한 결합을 나타내는 용납 할 수없는 프린지가있는 경우, 전체 과정은 처음부터 반복되어야한다; 그러나 이것은 새로운 웨이퍼로 수행해야합니다. 일단 어닐링되면 웨이퍼 사이의 결합은 영구적이며 분할이 불가능합니다.</li>
</ol>

<ol>
	<li>Gasparini, F. M., Kimball, M. O., Mooney, K. P., Diaz-Avila, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Finite-size+scaling+of+He-4+at+the+superfluid+transition.">Finite-size scaling of He-4 at the superfluid transition.</a> Rev. Mod. Phys. 80, 1009-1059 (2008).</li><li>Mehta, S., Kimball, M. O., Gasparini, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Superfluid+transition+of+He-4+for+two-dimensional+crossover,+heat+capacity,+and+finite-size+scaling.">Superfluid transition of He-4 for two-dimensional crossover, heat capacity, and finite-size scaling.</a> J. Low Temp. Phys. 114, 467-521 (1999).</li><li>Reppy, J. D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Superfluid-Helium+in+Porous-Media.">Superfluid-Helium in Porous-Media.</a> J. Low Temp. Phys. 87, 205-245 (1992).</li><li>Mehta, S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Silicon+wafers+at+sub-mu+m+separation+for+confined+He-4+experiments.">Silicon wafers at sub-mu m separation for confined He-4 experiments.</a> Czech. J. Phys. 46, 133-134 (1996).</li><li>Tong, Q. Y., Cha, G. H., Gafiteanu, R., Gosele, U. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=.">.</a> Low-Temperature Wafer Direct Bonding. J. Microelectromech. S. 3, 29-35 (1994).</li><li>Tong, Q. Y., Gosele, U. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Semiconductor+Wafer+Bonding+-+Recent+Developments.">Semiconductor Wafer Bonding - Recent Developments.</a> Mater. Chem. Phys. 37, 101-127 (1994).</li><li>Gosele, U., Tong, Q. Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Semiconductor+wafer+bonding.">Semiconductor wafer bonding.</a> Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 215-241 (1998).</li><li>Rhee, I., Petrou, A., Bishop, D. J., Gasparini, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Bonding+Si-Wafers+at+Uniform+Separation.">Bonding Si-Wafers at Uniform Separation.</a> Physica B. 165, 123-124 (1990).</li><li>Rhee, I., Gasparini, F. M., Petrou, A., Bishop, D. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Si+Wafers+Uniformly+Spaced+-+Bonding+and+Diagnostics.">Si Wafers Uniformly Spaced - Bonding and Diagnostics.</a> Rev. Sci. Instrum. 61, 1528-1536 (1990).</li><li>Perron, J. K., Kimball, M. O., Mooney, K. P., Gasparini, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Critical+behavior+of+coupled+4He+regions+near+the+superfluid+transition.">Critical behavior of coupled 4He regions near the superfluid transition.</a> Phys. Rev. B. 87, (2013).</li><li>Perron, J., Gasparini, F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Specific+Heat+and+Superfluid+Density+of+4He+near+T+&#955;+of+a+33.6+nm+Film+Formed+Between+Si.">Specific Heat and Superfluid Density of 4He near T &#955; of a 33.6 nm Film Formed Between Si.</a> , 1-10 (2012).</li><li>Perron, J. K., Gasparini, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Critical+Point+Coupling+and+Proximity+Effects+in+He-4+at+the+Superfluid+Transition.+.">Critical Point Coupling and Proximity Effects in He-4 at the Superfluid Transition. .</a> Phys. Rev. Lett.. 109, (2012).</li><li>Gasparini, F. M., Kimball, M. O., Mehta, S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Adiabatic+fountain+resonance+for+He-4+and+He-3-He-4+mixtures.">Adiabatic fountain resonance for He-4 and He-3-He-4 mixtures.</a> J. Low Temp. Phys. 125, 215-238 (2001).</li><li>Corruccini, R. J., Gniewek, J. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Thermal+expansion+of+technical+solids+at+low+temperatures;+a+compilation+from+the+literature.">Thermal expansion of technical solids at low temperatures; a compilation from the literature.</a> U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards. , (1961).</li><li>Kahn, H., Deeb, C., Chasiotis, I., Heuer, A. H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Anodic+oxidation+during+MEMS+processing+of+silicon+and+polysilicon:+Native+oxides+can+be+thicker+than+you+think.">Anodic oxidation during MEMS processing of silicon and polysilicon: Native oxides can be thicker than you think.</a> J. Microelectromech. S. 14, 914-923 (2005).</li><li>Tong, Q. Y., Gosele, U. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Thickness+Considerations+in+Direct+Silicon-Wafer+Bonding.">Thickness Considerations in Direct Silicon-Wafer Bonding.</a> J. Electrochem. Soc. 142, 3975-3979 (1995).</li><li>Corbino, O. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Azioni+Elettromagnetiche+Doyute+Agli+Ioni+dei+Metalli+Deviati+Dalla+Traiettoria+Normale+per+Effetto+di+un+Campo.">Azioni Elettromagnetiche Doyute Agli Ioni dei Metalli Deviati Dalla Traiettoria Normale per Effetto di un Campo.</a> Nuovo Cim. 1, 397-420 (1911).</li><li>Diaz-Avila, M., Kimball, M. O., Gasparini, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Behavior+of+He-4+near+T-lambda+in+films+of+infinite+and+finite+lateral+extent.">Behavior of He-4 near T-lambda in films of infinite and finite lateral extent.</a> J. Low Temp. Phys. 134, 613-618 (2004).</li><li>Dimov, S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Anodically+bonded+submicron+microfluidic+chambers.">Anodically bonded submicron microfluidic chambers.</a> Rev. Sci. Instrum. 81, (2010).</li><li>Duh, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microfluidic+and+Nanofluidic+Cavities+for+Quantum+Fluids+Experiments.">Microfluidic and Nanofluidic Cavities for Quantum Fluids Experiments.</a> J. Low Temp. Phys. 168, 31-39 (2012).</li></ol>

우리는 공개 할 것이 없습니다.

직접 웨이퍼 본딩과 함께 적합한 실리콘 리소그래피를 개발함으로써 직경 5cm의 실리콘 웨이퍼의 전체 영역에 매우 균일한 작은 치수로 진공 밀착 인클로저를 만들 수 있었습니다. 이러한 인클로저는 우리가 액체의 행동을 연구 할 수 있었다 4그는 초유체로 정상적인 액체에서 위상 전환의 이웃. 이러한 연구는 유한 한 크기 스케일링의 예측을 확인 했습니다., 뿐만 아니라 탐구 남아 있는 ...

깨끗한 실리콘 웨이퍼가 RT에서 친밀한 접촉으로 옮겨질 때, 그들은 반 데르 발스 힘을 통해 서로에게 매력을 느끼고 약한 지역 채권을 형성합니다. 이 결합은 더 높은 온도에서 어닐링에 의해 훨씬 더 강하게 만들 수있습니다 5,6. 본딩은 SiO 2 ~ SiO 2 ~ SiO2 ~ SiO2의 표면으로 성공적으로 수행할 수있습니다. Si 웨이퍼의 본딩은 절연체 장치, 실리콘 기반 센서 및 액추에이터 및 광학 장치7의실리콘에 가장 일반적으로 사용됩니다. 여기에 설명된 작품은 웨이퍼 직접 접합을 사용하여 전체 웨이퍼 영역8,9에걸쳐 균일하게 간격이 있는 잘 간격된 인클로저를 달성함으로써 다른 방향으로 결합합니다. 유체가 도입될 수 있는 잘 정의된 형상을 갖는 것은 유체의 특성에 대한 감금의 효과를 결정하기 위해 측정을 수행할 수 있게 합니다. 유체 역학 적 흐름은 작은 치수가 수십 나노미터에서 여러 마이크로 미터로 제어 할 수있는 곳에서 연구 될 수있다.
SiO2는 용광로에서 습식 또는 건조한 열 산화물 공정을 사용하여 시 웨이퍼에서 재배할 수 있습니다. 그런 다음 SiO2는 리소그래피 기술을 사용하여 원하는 대로 패턴화하고 에칭할 수 있습니다. 우리의 작품에 사용 된 패턴은 평면 또는 필름 지오메트리에 결합시 결과 널리 간격 지원 게시물의 패턴을 포함한다 (그림 1참조). 또한 (1 μm)3 또는 (2 μm)3 차원1 (그림 2참조)중 하나 인 1 차원 특성 및 상자 배열을위한 패턴 채널을 가지고 있습니다. 일반적으로 웨이퍼에 10-6000,000,000,000,000,000,000,000,000,000,000,000,000,000,000상자로 감금을 설계할 때는 모든 개별 상자를 채울 수 있는 방법이 있어야 합니다. 30nm 이상 두 웨이퍼를 벗어난 디자인의 상단 웨이퍼의 별도의 패터닝이 가능합니다. 또는 이와 마찬가지로 얕은 채널을 상단 웨이퍼에 설계하여 모든 상자가 연결되도록 할 수 있습니다. 상단 웨이퍼에서 자란 산화물의 두께는 하단 웨이퍼의 두께와 다릅니다. 이렇게 하면 디자인에 또 다른 유연성과 복잡성이 추가됩니다. 두 웨이퍼를 패턴화할 수 있으므로 더 다양한 감금 형상을 실현할 수 있습니다.
본딩 웨이퍼 또는 셀에서 기하학적 피처의 크기는 다를 수 있습니다. 30nm의 작은 평면 필름을 가진 세포는 성공적으로10,11만들어졌다. 이 아래 두께에서 웨이퍼가 지지 포스트 주위를 구부려 셀을 "밀봉"하는 오버 본딩이 일어날 수 있습니다. 최근에는 액체 4에대한 일련의 측정을10,12개의분리 거리가 있는 배열(2 μm)3박스로 수행되었다. 2 μm보다 깊이가 훨씬 큰 특징은 산화물을 성장하는 데 필요한 시간이 증가하기 때문에 매우 실용적이지 않습니다. 그러나 산화물은 3.9 μm9만큼두꺼운 측정을 했습니다. 측면 차원의 작은 부분에 대한 제한은 리소그래피 기능의 한계에서 발생합니다. 측면 치수의 크기에 대한 제한은 웨이퍼의 크기에 의해 결정됩니다. 우리는 측면 치수가 거의 전체 웨이퍼 직경에 걸쳐 평면 세포를 성공적으로 만들었습니다, 그러나 하나는 쉽게 폭 수십 나노미터의 순서에 여러 개의 작은 구조를 패터닝 상상할 수 있습니다. 그러나 이러한 구조는 전자 빔 리소그래피를 필요로합니다. 우리는이 시간에이 작업을 수행하지 않았습니다.
우리의 모든 작업에서 접합 웨이퍼는 진공 꽉 인클로저를 형성했다. 이는 웨이퍼의 둘레에서 폭 3~4mm의 SiO2의 고체 고리를 패턴 산화물로 유지함으로써 달성되고, 도 1을참조하십시오. 이것은, 결합시, 꽉 씰을 형성한다. 입력과 출력이 필요한 유체 역학 연구에 관심이 있다면 이 설계를 쉽게 수정할 수 있습니다.
접합 세포의 파열 압력도 테스트되었습니다. 우리는 375 μm 두께의 웨이퍼로 최대 9 개의 대기가 적용될 수 있음을 발견했습니다. 그러나, 우리는 이것이 더 큰 산화물 지역에 결합해서 또는, 아마도, 두꺼운 웨이퍼를 위해 어떻게 향상될 수 있는지 공부하지 않았습니다.
실리콘 세포를 충진선으로 상호 대면하는 절차와 저온에서 제한된 헬륨의 특성을 측정하는 기술은 Mehta 외에서주어진다. 2 와 가스파리니 외. 13 우리는 실리콘에 대한 선형 차원의 변화는 셀(14)을냉각시 0.02 %에 불과하다는 점에 유의한다. 이것은 RT에서 형성된 패턴에 대해 무시할 수 있습니다.

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="1111">
	<colgroup>
		<col />
		<col />
		<col />
		<col />
	</colgroup>
	<tbody>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;width:215px;">SmartCut</td>
			<td style="width:192px;">North American Tool</td>
			<td style="width:104px;">FL 130</td>
			<td style="width:600px;">Not much is needed per cell. Smaller sizes are available.</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Silicon Wafers</td>
			<td>Semiconductor Processing Co</td>
			<td></td>
			<td>There are many suppliers. Pay attention to thickness and thickness variation when ordering.</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Deionized Water</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Peroxide</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Hydrochloric Acid</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Ammonium Hydroxide</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Nitrogen Gas</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Helium Gas</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Diamond Paste</td>
			<td>Beuler Metadi II</td>
			<td>e.g. 406533032</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Diamond Drills</td>
			<td>Starlite</td>
			<td>e.g. 115010</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Pyrex Dishes</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Filter Paper</td>
			<td>Whatman</td>
			<td>1001-110</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Acetone</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Methanol</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Quartz tubes for flushing furnace</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
		<tr height="20">
			<td height="20" style="height:20px;">Rubber vacuum hose</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td>General Availability</td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

fabrication of uniform nanoscale cavities via silicon direct wafer bonding

밀폐된 4의열 용량 및 초유체 분획의 측정은 소각 패턴 및 접합 실리콘 웨이퍼를 사용하여 람다 전이 근처에서 수행되었습니다. 이러한 유형의 실험3에자주 사용되는 다공성 물질의 감금과는 달리, 접합 웨이퍼는 감금을 위해 미리 설계된 균일 한 공간을 제공합니다. 각 셀의 형상은 잘 알려져 있으며, 이는 데이터 해석에서 큰 모호성 소스를 제거합니다.
매우 평평한, 5cm 직경, 375 μm 두께의 시 웨이퍼는 전체 웨이퍼에 약 1 μm 변이를 통해 상업적으로 얻을 수 있습니다(예를 들어, 반도체 가공 회사에서). 열 산화물은 z 방향으로 감금 치수를 정의하기 위해 웨이퍼에서 재배됩니다. 그런 다음 소각 기술을 사용하여 산화물에 패턴이 새겨져 결합 시 원하는 인클로저를 만듭니다. 구멍은 액체의 도입을 측정할 수 있도록 웨이퍼(상단) 중 하나에 드릴링됩니다. 웨이퍼는 RCA 솔루션에서2를 세척한 다음 미세 클린 챔버에 넣어 식수4로헹구는 미세 한 챔버에 넣습니다. 웨이퍼는 RT에서 결합된 다음 ~1,100°C에서 어닐링됩니다. 이것은 강력하고 영구적 인 유대를 형성한다. 이 공정은 나노미터에서 마이크로미터 스케일까지 제한된 액체의 열 및 유체 역학적 특성을 측정하기 위한 균일한 인클로저를 만드는 데 사용할 수 있습니다.

제대로 결합 된 웨이퍼에는 결합되지 않은 영역이 없습니다. 어닐링 후 웨이퍼를 분할하려고 하면 결합의 강도로 인해 세포가 조각으로 부서집니다. 제대로 접합 웨이퍼의 적외선 이미지는 그림 5 및 6에표시됩니다. 종종 안과 는 특히 지역 미결합 영역이 웨이퍼의 평탄도 부족으로 인한 경우 세포의 균일성을 향상시킵니다. 그림 5에서 광반점과 테두리는 접...

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Fabrication of Uniform Nanoscale Cavities via Silicon Direct Wafer Bonding

균일한 인클로저를 실현하기 위해 두 개의 실리콘 웨이퍼를 영구적으로 접합하는 방법이 설명되어 있다. 여기에는 웨이퍼 준비, 세척, RT 본딩 및 어닐링 프로세스가 포함됩니다. 생성된 접합 웨이퍼(cells)는 인클로저 ~1%1,2의균일성을 갖는다. 그 결과 형상을 통해 제한된 액체와 가스를 측정할 수 있습니다.

실리콘 다이렉트 웨이퍼 본딩을 통한 균일한 나노스케일 캐비티 제조

Measurements of the heat capacity and superfluid fraction of confined 4He have been performed near the lambda transition using lithographically patterned ...

fabrication-uniform-nanoscale-cavities-via-silicon-direct-wafer

Research

JoVE Journal

Engineering

7.0K 조회수.  The State University of New York at Buffalo. 균일한 인클로저를 실현하기 위해 두 개의 실리콘 웨이퍼를 영구적으로 접합하는 방법이 설명되어 있다. 여기에는 웨이퍼 준비, 세척, RT 본딩 및 어닐링 프로세스가 포함됩니다. 생성된 접합 웨이퍼(cells)는 인클로저 ~1%1,2의균일성을 갖는다. 그 결과 형상을 통해 제한된 액체와 가스를 측정할 수 있습니다.

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Fabrication And Characterization Of Photonic Crystal Slow Light Waveguides And Cavities

Slow light has been one of the hot topics in the photonics community in the past decade, generating great interest both from a fundamental point of view and for its considerable potential for practical applications. Slow light photonic crystal waveguides, in particular, have played a major part and have been successfully employed for delaying optical signals1-4 and the enhancement of both linear5-7 and nonlinear devices.8-11
Photonic crystal cavities achieve similar effects to that of slow light waveguides, but over a reduced band-width. These cavities offer high Q-factor/volume ratio, for the realization of optically12 and electrically13 pumped ultra-low threshold lasers and the enhancement of nonlinear effects.14-16 Furthermore, passive filters17 and modulators18-19 have been demonstrated, exhibiting ultra-narrow line-width, high free-spectral range and record values of low energy consumption.
To attain these exciting results, a robust repeatable fabrication protocol must be developed. In this paper we take an in-depth look at our fabrication protocol which employs electron-beam lithography for the definition of photonic crystal patterns and uses wet and dry etching techniques. Our optimised fabrication recipe results in photonic crystals that do not suffer from vertical asymmetry and exhibit very good edge-wall roughness. We discuss the results of varying the etching parameters and the detrimental effects that they can have on a device, leading to a diagnostic route that can be taken to identify and eliminate similar issues.
The key to evaluating slow light waveguides is the passive characterization of transmission and group index spectra. Various methods have been reported, most notably resolving the Fabry-Perot fringes of the transmission spectrum20-21 and interferometric techniques.22-25 Here, we describe a direct, broadband measurement technique combining spectral interferometry with Fourier transform analysis.26 Our method stands out for its simplicity and power, as we can characterise a bare photonic crystal with access waveguides, without need for on-chip interference components, and the setup only consists of a Mach-Zehnder interferometer, with no need for moving parts and delay scans.
When characterising photonic crystal cavities, techniques involving internal sources21 or external waveguides directly coupled to the cavity27 impact on the performance of the cavity itself, thereby distorting the measurement. Here, we describe a novel and non-intrusive technique that makes use of a cross-polarised probe beam and is known as resonant scattering (RS), where the probe is coupled out-of plane into the cavity through an objective. The technique was first demonstrated by McCutcheon et al.28 and further developed by Galli et al.29

Use of photonic crystal slow light waveguides and cavities has been widely adopted by the photonics community in many differing applications. Therefore fabrication and characterization of these devices are of great interest. This paper outlines our fabrication technique and two optical characterization methods, namely: interferometric (waveguides) and resonant scattering (cavities).

광자 크리스탈 느린 경 Waveguides 그리고 안의 공간의 제조 및 특성

Slow light has been one of the hot topics in the photonics community in the past decade, generating great interest both from a fundamental point of view ...

연구

공학

Concurrent Quantitative Conductivity and Mechanical Properties Measurements of Organic Photovoltaic Materials using AFM

Organic photovoltaic (OPV) materials are inherently inhomogeneous at the nanometer scale. Nanoscale inhomogeneity of OPV materials affects performance of photovoltaic devices. Thus, understanding of spatial variations in composition as well as electrical properties of OPV materials is of paramount importance for moving PV technology forward.1,2 In this paper, we describe a protocol for quantitative measurements of electrical and mechanical properties of OPV materials with sub-100 nm resolution. Currently, materials properties measurements performed using commercially available AFM-based techniques (PeakForce, conductive AFM) generally provide only qualitative information. The values for resistance as well as Young's modulus measured using our method on the prototypical ITO/PEDOT:PSS/P3HT:PC61BM system correspond well with literature data. The P3HT:PC61BM blend separates onto PC61BM-rich and P3HT-rich domains. Mechanical properties of PC61BM-rich and P3HT-rich domains are different, which allows for domain attribution on the surface of the film. Importantly, combining mechanical and electrical data allows for correlation of the domain structure on the surface of the film with electrical properties variation measured through the thickness of the film.

Organic photovoltaic (OPV) materials are inherently inhomogeneous at the nanometer scale. Nanoscale inhomogeneity of OPV materials affects performance of photovoltaic devices. In this paper, we describe a protocol for quantitative measurements of electrical and mechanical properties of OPV materials with sub-100 nm resolution.

동시 수량 전도성과 AFM을 사용하여 유기 태양 광 재료의 기계적 성질 측정

Organic photovoltaic  (OPV) materials are inherently inhomogeneous at the nanometer scale. Nanoscale  inhomogeneity of OPV materials affects performance ...

Patterning via Optical Saturable Transitions - Fabrication and Characterization

This protocol describes the fabrication and characterization of nanostructures using a novel nanolithographic technique called Patterning via Optical Saturable Transitions (POST). In this technique the chemical properties of organic photochromic molecules that undergo single-photon reactions are exploited, enabling rapid top-down nanopatterning over large areas at low light intensities, thereby, allowing for the circumvention of the far-field diffraction barrier.4 Simple, cost-effective, high throughput and resolution alternatives to nanopatterning are being explored, such as, two-photon polymerization5,6, beam pen lithography (BPL)7, scanning electron beam lithography (SEBL), and focused ion beam (FIB) patterning. However, multi-photon approaches require high light intensities, which limit their potential for high throughput and offer low image contrast. Although, electron and ion beam lithographic processes offer increased resolution, the serial nature of the process is limited to slow writing speeds, which also prevents patterning of features over large areas. Beam-pen lithography is an approach towards parallel near-field optical lithography. However, the gap between the source of the beam and the surface of the photoresist needs to be controlled extremely precisely for good pattern uniformity and this is very challenging to accomplish for large arrays of beams. Patterning via Optical Saturable Transitions (POST) is an alternative optical nanopatterning technique for patterning sub-wavelength features1-3. Since this technique uses single photons instead of electrons, it is extremely fast and does not require high light intensities1-3, opening the door to massive parallelization.

We report that the diffraction limit of conventional optical lithography can be overcome by exploiting the transitions of organic photochromic derivatives induced by their photoisomerization at low light intensities.1-3 This paper outlines our fabrication technique and two locking mechanisms, namely: dissolution of one photoisomer and electrochemical oxidation.

광학 가포 전환을 통해 패터닝 - 제조 및 특성

This protocol describes the fabrication and characterization of nanostructures using a novel nanolithographic technique called Patterning via Optical ...

Thermal Measurement Techniques in Analytical Microfluidic Devices

Thermal measurement techniques have been used for many applications such as thermal characterization of materials and chemical reaction detection. Micromachining techniques allow reduction of the thermal mass of fabricated structures and introduce the possibility to perform high sensitivity thermal measurements in the micro-scale and nano-scale devices. Combining thermal measurement techniques with microfluidic devices allows performing different analytical measurements with low sample consumption and reduced measurement time by integrating the miniaturized system on a single chip. The procedures of thermal measurement techniques for particle detection, material characterization, and chemical detection are introduced in this paper.

Here, we present three protocols for thermal measurements in microfluidic devices.

분석 미세 유체 장치의 열 측정 기술

Thermal measurement techniques have been used for many applications such as thermal characterization of materials and chemical reaction detection. ...

Prescribed 3-D Direct Writing of Suspended Micron/Sub-micron Scale Fiber Structures via a Robotic Dispensing System

A 3-axis dispensing system is utilized to control the initiating and terminating fiber positions and trajectory via the dispensing software. The polymer fiber length and orientation is defined by the spatial positioning of the dispensing system 3-axis stages. The fiber diameter is defined by the prescribed dispense time of the dispensing system valve, the feed rate (the speed at which the stage traverses from an initiating to a terminating position), the gauge diameter of the dispensing tip, the viscosity and surface tension of the polymer solution, and the programmed drawing length. The stage feed rate affects the polymer solution&#8217;s evaporation rate and capillary breakup of the filaments. The dispensing system consists of a pneumatic valve controller, a droplet-dispensing valve and a dispensing tip. Characterization of the direct write process to determine the optimum combination of factors leads to repeatedly acquiring the desired range of fiber diameters. The advantage of this robotic dispensing system is the ease of obtaining a precise range of micron/sub-micron fibers onto a desired, programmed location via automated process control. Here, the discussed self-assembled micron/sub-micron scale 3D structures have been employed to fabricate suspended structures to create micron/sub-micron fluidic devices and bioengineered scaffolds.

Here, we present a protocol to fabricate freely-suspended, micron/sub-micron scale polymer fibers and &#8220;web-like&#8221; structures generated via automated direct writing procedure by means of a 3-axis dispensing system.

일시 중단 된 마이크론 / 서브 마이크론 스케일 섬유 구조의 3 차원 직접 쓰기는 로봇 디스펜스 시스템을 통해 처방

A 3-axis dispensing system is utilized to control the initiating and terminating fiber positions and trajectory via the dispensing software. The polymer ...

Solvent Bonding for Fabrication of PMMA and COP Microfluidic Devices

Thermoplastic microfluidic devices offer many advantages over those made from silicone elastomers, but bonding procedures must be developed for each thermoplastic of interest. Solvent bonding is a simple and versatile method that can be used to fabricate devices from a variety of plastics. An appropriate solvent is added between two device layers to be bonded, and heat and pressure are applied to the device to facilitate the bonding. By using an appropriate combination of solvent, plastic, heat, and pressure, the device can be sealed with a high quality bond, characterized as having high bond coverage, bond strength, optical clarity, durability over time, and low deformation or damage to microfeature geometry. We describe the procedure for bonding devices made from two popular thermoplastics, poly(methyl-methacrylate) (PMMA), and cyclo-olefin polymer (COP), as well as a variety of methods to characterize the quality of the resulting bonds, and strategies to troubleshoot low quality bonds. These methods can be used to develop new solvent bonding protocols for other plastic-solvent systems.

Solvent bonding is a simple and versatile method for fabricating thermoplastic microfluidic devices with high quality bonds. We describe a protocol to achieve strong, optically clear bonds in PMMA and COP microfluidic devices that preserve microfeature details, by a judicious combination of pressure, temperature, an appropriate solvent, and device geometry.

PMMA의 제조 및 COP 미세 유체 장치에 대한 솔벤트 본딩

Thermoplastic microfluidic devices offer many advantages over those made from silicone elastomers, but bonding procedures must be developed for each ...

A Novel Method for In Situ Electromechanical Characterization of Nanoscale Specimens

Electrically assisted deformation (EAD) is increasingly being used to improve the formability of metals during processes such as sheet metal rolling and forging. Adoption of this technique is proceeding despite disagreement concerning the underlying mechanism responsible for EAD. The experimental procedure described herein enables a more explicit study compared to previous EAD research by removing thermal effects, which are responsible for disagreement in interpreting previous EAD results. Furthermore, as the procedure described here enables EAD observation in situ and in real time in a transmission electron microscope (TEM), it is superior to existing post-mortem methods that observe EAD effects post-test. Test samples consist of a single crystal copper (SCC) foil having a free-standing tensile test section of nanoscale thickness, fabricated using a combination of laser and ion beam milling. The SCC is mounted to an etched silicon base that provides mechanical support and electrical isolation while serving as a heat sink. Using this geometry, even at high current density (~3,500 A/mm2), the test section experiences a negligible temperature increase (&#60;0.02 &#176;C), thus eliminating Joule heating effects. Monitoring material deformation and identifying the corresponding changes to microstructures, e.g. dislocations, are accomplished by acquiring and analyzing a series of TEM images. Our sample preparation and in situ experiment procedures are robust and versatile as they can be readily utilized to test materials with different microstructures, e.g., single and polycrystalline copper.

A Novel Method for In Situ Electromechanical Characterization of Nanoscale Specimens

Isolating electrical and thermal effects on electrically assisted deformation (EAD) is very difficult using macroscopic samples. Metallic sample micro- and nanostructures together with a custom test procedure have been developed to evaluate the impact of applied current on the formation without joule heating and evolution of dislocations on these samples.

에 대한 소설 방법<em&gt; 현장에서</em&gt; 나노 크기 시편의 전자 기계적 특성 분석

Electrically assisted deformation (EAD) is increasingly being used to improve the formability of metals during processes such as sheet metal rolling and ...

Fabrication of Magnetic Nanostructures on Silicon Nitride Membranes for Magnetic Vortex Studies Using Transmission Microscopy Techniques

Electron and x-ray magnetic microscopies allow for high-resolution magnetic imaging down to tens of nanometers. However, the samples need to be prepared on transparent membranes which are very fragile and difficult to manipulate. We present processes for the fabrication of samples with magnetic micro- and nanostructures with spin configurations forming magnetic vortices suitable for Lorentz transmission electron microscopy and magnetic transmission x-ray microscopy studies. The samples are prepared on silicon nitride membranes and the fabrication consists of a spin coating, UV and electron-beam lithography, the chemical development of the resist, and the evaporation of the magnetic material followed by a lift-off process forming the final magnetic structures. The samples for the Lorentz transmission electron microscopy consist of magnetic nanodiscs prepared in a single lithography step. The samples for the magnetic x-ray transmission microscopy are used for time-resolved magnetization dynamic experiments, and magnetic nanodiscs are placed on a waveguide which is used for the generation of repeatable magnetic field pulses by passing an electric current through the waveguide. The waveguide is created in an extra lithography step.

A protocol for the fabrication of magnetic micro- and nanostructures with spin configurations forming magnetic vortices suitable for transmission electron microscopy (TEM) and magnetic transmission x-ray microscopy (MTXM) studies is presented.

자기 소용돌이 연구 전송 현미경 검사 법 기술을 사용 하 여 실리콘 질 화 막에 자석 Nanostructures의 제조

Electron and x-ray magnetic microscopies allow for high-resolution magnetic imaging down to tens of nanometers. However, the samples need to be prepared ...

Fabrication of Three-Dimensional Graphene-Based Polyhedrons via Origami-Like Self-Folding

The assembly of two-dimensional (2D) graphene into three-dimensional (3D) polyhedral structures while preserving the graphene's excellent inherent properties has been of great interest for the development of novel device applications. Here, fabrication of 3D, microscale, hollow polyhedrons (cubes) consisting of a few layers of 2D graphene or graphene oxide sheets via an origami-like self-folding process is described. This method involves the use of polymer frames and hinges, and aluminum oxide/chromium protection layers that reduce tensile, spatial, and surface tension stresses on the graphene-based membranes when the 2D nets are transformed into 3D cubes. The process offers control of the size and shape of the structures as well as parallel production. In addition, this approach allows the creation of surface modifications by metal patterning on each face of the 3D cubes. Raman spectroscopy studies show the method allows the preservation of the intrinsic properties of the graphene-based membranes, demonstrating the robustness of our method.

Fabrication of Three-Dimensional Graphene-Based Polyhedrons via Origami-Like Self-Folding

Here, we present a protocol for fabrication of 3D graphene-based polyhedrons via origami-like self-folding.

3 차원 그래 핀 기반 Polyhedrons을 통해 종이 접기 같은 자체 접는의 제조

The assembly of two-dimensional (2D) graphene into three-dimensional (3D) polyhedral structures while preserving the graphene's excellent inherent ...

Fabrication of Robust Nanoscale Contact between a Silver Nanowire Electrode and CdS Buffer Layer in Cu(In,Ga)Se2 Thin-film Solar Cells

Silver nanowire transparent electrodes have been employed as window layers for Cu(In,Ga)Se2 thin-film solar cells. Bare silver nanowire electrodes normally result in very poor cell performance. Embedding or sandwiching silver nanowires using moderately conductive transparent materials, such as indium tin oxide or zinc oxide, can improve cell performance. However, the solution-processed matrix layers can cause a significant number of interfacial defects between transparent electrodes and the CdS buffer, which can eventually result in low cell performance. This manuscript describes how to fabricate robust electrical contact between a silver nanowire electrode and the underlying CdS buffer layer in a Cu(In,Ga)Se2 solar cell, enabling high cell performance using matrix-free silver nanowire transparent electrodes. The matrix-free silver nanowire electrode fabricated by our method proves that the charge-carrier collection capability of silver nanowire electrode-based cells is as good as that of standard cells with sputtered ZnO:Al/i-ZnO as long as the silver nanowires and CdS have high-quality electrical contact. The high-quality electrical contact was achieved by depositing an additional CdS layer as thin as 10 nm onto the silver nanowire surface.

Fabrication of Robust Nanoscale Contact between a Silver Nanowire Electrode and CdS Buffer Layer in CuIn,GaSe2 Thin-film Solar Cells

In this protocol, we describe the detailed experimental procedure for the fabrication of a robust nanoscale contact between a silver nanowire network and CdS buffer layer in a CIGS thin-film solar cell.