Monolayer Contact Doping of Silicon Surfaces and Nanowires Using Organophosphorus Compounds

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December 2nd, 2013

DOI :

10.3791/50770-v

December 2nd, 2013


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Monolayer Contact Doping

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0:05

Title

1:32

Surface Cleaning

2:50

Monolayer Formation

3:43

Nanowire Synthesis

5:02

Nanowire Drop-casting onto Substrate and Rapid Thermal Anneal

6:24

Sheet Resistance Measurements, Nanowire Device Fabrication and Characterization

8:03

Results: Sheet Resistance Measurements and Nanowire FET I-V Curves Using Monolayer Contact Doped Materials

9:08

Conclusion

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