الجرافين بمساعدة شبه فان دير والز Epitaxy من فيلم ALN على الركيزة الياقوتية نانو منقوشة لضوديات الأشعة فوق البنفسجية الباعثة للضوء

هذا البروتوكول الجديد لنيتريد الألومنيوم النمو السريع على نانو منقوشة الياقوت مع طبقة الجرافين يمكن استخدامها لتوليد سريع وغير مكلفة من المصابيح عالية الأداء عالية الأداء الأشعة فوق البنفسجية العميقة. باستخدام الجرافين دي ثعبان البحر كما قالب نيتريد الألومنيوم، ويظهر إمكانات النمو في تطبيق الألومنيوم، النيتريات الغاليوم القائمة على المصابيح. للبدء، شطف NPSS مع الأسيتون والإيثانول والماء الأيونية ثلاث مرات.

وجفف NPSS ببندقية النيتروجين. تحميل NPSS في ثلاثة منطقة، فرن درجة حرارة عالية، مع منطقة درجة حرارة مسطحة طويلة. وتسخن الفرن إلى 1050 درجة مئوية.

استقرار درجة الحرارة لمدة 10 دقائق تحت 500 سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة من الأرجون و 300 سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة من الأرجون من الهيدروجين. ثم أدخل 30 سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة من الأرجون من الميثان في غرفة التفاعل لنمو الجرافين على NPSS لمدة ثلاث ساعات. في نهاية رد فعل النمو، إيقاف الميثان والسماح لNPSS لتبرد بشكل طبيعي.

شطف الركيزة المبردة بالماء الأيونيد. وجفف NPSS ببندقية النيتروجين. ثم، حفر الجرافين NPSS بواسطة بلازما النيتروجين مع معدل تدفق النيتروجين من 300 سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة لمدة 30 ثانية.

وقوة 50 واط في غرفة النقش الأيونية التفاعلية. لنمو MOCVD من النيتروجين الألومنيوم على NPSS الجرافين، تحرير وصفة MOCVD لنمو النيتروجين الألومنيوم. وتحميل NPSS الجرافين ونظيره NPSS في غرفة MOCVD محلية الصنع.

بعد التدفئة لمدة 12 دقيقة، وسوف تستقر درجة الحرارة عند 1200 درجة مئوية. ثم أدخل 7000 سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة من الهيدروجين والمحيط. 70 سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة تريثيلالومين.

و 500 سنتيمتر مكعب قياسي لكل دقيقة من الأمونيا لمدة ساعتين المضي قدما في نمو MOCVD من الألومنيوم الغاليوم النيتروجين الآبار الكم وفقا لاتجاهات المخطوطات. عند الانتهاء، وخفض درجة حرارة الغرفة إلى 800 درجة مئوية والركوع طبقات من نوع ف مع النيتروجين لمدة 20 دقيقة.

لالألمنيوم الغاليوم النيتروجين المستندة إلى الأشعة فوق البنفسجية العميقة تصنيع LED، تدور المقاومة 4620 على الرقاقات وأداء الطباعة الحجرية مع ثماني ثوان من التعرض للأشعة فوق البنفسجية، 30 ثانية من الوقت النامية ودقيقتين من الوقت الشطف. لحفر البلازما المقترنة الاستقرائي من النيتروجين P-غاليوم، تعيين قوة النقش إلى 450 واط، وضغط النقش إلى أربعة millitorrs ومعدل النقش إلى 5.6 نانومتر في الثانية الواحدة. ضع العينة المحفورة في الأسيتون عند درجة حرارة 80 درجة مئوية لمدة خمس دقائق.

تليها الغسيل في الإيثانول والمياه الأيونية. الغزل السلبية صور مقاومة NR9 والطباعة الحجرية لوقت التعرض للأشعة فوق البنفسجية من 12 ثانية، ووقت النامية من 20 ثانية ووقت الشطف من دقيقتين. غسل العينة مع الأسيتون والإيثانول والمياه ديوند ثلاث مرات.

وأودع التيتانيوم الذهب التيتانيوم التيتانيوم بواسطة تبخر شعاع الإلكترون. تدور السلبية صور مقاومة NR9 والطباعة الحجرية تحت نفس الإعدادات. وغسل العينات ثلاث مرات مع الأسيتون والإيثانول والمياه ديوند دون ultrasonication.

إيداع النيكل والذهب عن طريق تبخر شعاع الإلكترون. وغسل العينة مع الإيثانول والمياه ديوند ثلاث مرات. إيداع 300 نانومتر من ثاني أكسيد السيليكون عن طريق ترسب بخار كيميائي معزز بالبلازما عند درجة حرارة ترسب 300 درجة مئوية ومعدل ترسب 100 نانومتر في الدقيقة.

تدور صور مقاومة 304 والطباعة الحجرية في وقت التعرض للأشعة فوق البنفسجية من ثماني ثوان، وقت النامية من دقيقة واحدة ووقت الشطف من دقيقتين قبل غمر الرقائق في 23٪ حمض الهيدروفلوريك لمدة 15 ثانية. غسل العينة ثلاث مرات مع الإيثانول والمياه الأيونية. وجفف الرقاقة ببندقية النيتروجين

بعد الطباعة الحجرية الصورة مع NR9 كما هو موضح، إيداع الذهب التيتانيوم الألومنيوم بواسطة تبخر شعاع الإلكترون. وغسل العينة ثلاث مرات مع الإيثانول والمياه ديوند. بعد الغسيل الماضي طحن وتلميع الياقوت إلى 130 ميكرومتر بواسطة تلميع الميكانيكية.

وغسل العينة مع محلول إزالة الصبح والمياه ديوند. ثم استخدام الليزر لقطع رقاقة كله إلى 0.5 من قبل 0.5 ملليمتر قطعة الجهاز. واستخدمي الـ dicer الميكانيكية لقطع الرقاقة إلى رقائق.

يمكن استخدام التصوير المجهري للمسح والإرسال لتحديد مورفولوجيا النيتروجين الألومنيوم على الجرافين وNPSS. يمكن استخدام رامين لحساب كثافات الخلع والإجهاد المتبقي. يستخدم الكهربائي لتوضيح الإضاءة من المصابيح الأشعة فوق البنفسجية العميقة ملفقة.

تذكر أن رقاقة يجب أن تكون نظيفة قبل كل تعديل جديد. لذلك فمن الضروري لشطف رقاقة تماما قبل كل خطوة.