Nanomoulding von Functional Materials, ein vielseitiges Complementary Pattern Replication Methode zur Nanoimprinting

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•

10:49 min

•

January 23rd, 2013

DOI :

10.3791/50177-v

January 23rd, 2013

•

Corsin Battaglia¹^,², Karin Söderström¹, Jordi Escarré¹, Franz-Josef Haug¹, Matthieu Despeisse¹, Christophe Ballif¹

¹Institute of Microengineering (IMT), Photovoltaics and Thin Film Electronics Laboratory, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), ²Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California, Berkeley

Zusammenfassung

Kapitel in diesem Video

0:05

Title

1:40

Master Preparation

3:29

Mould Fabrication

6:24

Zinc Oxide Deposition

7:28

Layer Transfer

8:25

Results: Nanomoulding of Zinc Oxide through Chemical Vapor Deposition

9:59

Conclusion

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