Synthese und Charakterisierung von Hoch c-Achsen-ZnO-Dünnfilm durch Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition-System und seine UV-Photodetektor Anwendungs
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08:18 min
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October 3rd, 2015
DOI :
October 3rd, 2015
•Kapitel in diesem Video
0:05
Title
2:07
Substrate Preparation and Cleaning
2:37
PECVD Chamber Preparation and Synthesis of ZnO Thin Films
5:10
RTA Process
5:58
Results: Synthesis and Characterization of ZnO Thin Films
7:30
Conclusion
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