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합성 및 플라즈마에 의해 높은 c 축 된 ZnO 박막의 특성은 화학 기상 증착 시스템과 자외선 광 검출기 응용 프로그램 강화

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08:18 min

October 3rd, 2015

DOI :

10.3791/53097-v

October 3rd, 2015


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104 ZnO

이 비디오의 챕터

0:05

Title

2:07

Substrate Preparation and Cleaning

2:37

PECVD Chamber Preparation and Synthesis of ZnO Thin Films

5:10

RTA Process

5:58

Results: Synthesis and Characterization of ZnO Thin Films

7:30

Conclusion

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