A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Method Article
בעידן האימונותרפיה והפרופיל הגנומי של התא הבודד, ביולוגיה של סרטן דורשת כלים חדשניים במבחנה וחישוביים לחקר הממשק הגידולי-חיסוני בהקשר מרחבי-זמני נכון. אנו מתארים פרוטוקולים לניצול תרביות מיקרופלואידיות מיקרופלואידיות של גידולים חיסוניים בסביבות דו-ממדיות ותלת-ממדיות, התואמים לניטור דינמי ורב-פרמטרי של תפקודים תאיים.
מודלים מורכבים של מחלות דורשים כלים חדשניים המסוגלים לספק תובנות פיזיולוגיות ופתולוגיות רלוונטיות וניתנות לפעולה, ולחשוף תהליכים בלתי נראים אחרת. מבחני תאים מתקדמים המחקים באופן הדוק את נוף in vivo מבססים את עצמם כדרכים חדשות לדמיין ולמדוד את יחסי הגומלין הדו-כיווניים בין הגידול למארח המשפיעים על התקדמות הסרטן. כאן אנו מתארים שני פרוטוקולים רב-תכליתיים ליצירת תרביות דו-ממדיות ותלת-ממדיות הניתנות לשליטה גבוהה במיקרו-מכשירים, המחקים את המורכבות של מיקרו-סביבה גידולית (TME), תחת מעקב חיסוני טבעי ומונע טיפול. בחלק 1, ניתנת הגדרה ניסיונית לניטור crosstalk בין תאי גידול דבקים לבין אוכלוסיות חיסוניות צפות, על ידי מיקרוסקופ שדה בהיר בהילוך מהיר. כתרחיש אפליקטיבי, אנו מנתחים את ההשפעות של טיפולים אנטי-סרטניים, כגון מה שמכונה גורמים אימונוגניים למוות של תאי סרטן על גיוס והפעלה של תאים חיסוניים. בסעיף 2, מיקרו-סביבות תלת-ממדיות של גידולים חיסוניים מורכבים בפריסה תחרותית. חדירה חיסונית דיפרנציאלית מנוטרת על ידי תמונות פלואורסצנטיות עד 72 שעות, כדי להעריך אסטרטגיות טיפוליות משולבות. בשתי ההגדרות, שלבי עיבוד תמונה מתוארים כדי לחלץ שפע של פרמטרים של תאי מערכת החיסון (למשל, נדידת תאי מערכת החיסון ואינטראקציה, תגובה לחומרים טיפוליים). שיטות פשוטות וחזקות אלה יכולות להיות מותאמות עוד יותר כדי לדמות את המורכבות של TME המקיפה את ההטרוגניות והפלסטיות של תת-סוגים של תאי סרטן, סטרומה ותאי חיסון, כמו גם את יחסי הגומלין שלהם כמניעים של אבולוציה של סרטן. התאימות של טכנולוגיות אלה המתפתחות במהירות עם הדמיה של תאים חיים עם תוכן גבוה יכולה להוביל ליצירת מערכי נתונים אינפורמטיביים גדולים, ולהביא אתגרים חדשים. ואכן, המשולש "תרביות משותפות/מיקרוסקופיה/ניתוח נתונים מתקדם" סולל את הדרך לפרמטריזציה מדויקת של הבעיה שעשויה לסייע לפרוטוקולים טיפוליים מותאמים אישית. אנו צופים כי שילוב עתידי של חיסון לסרטן על שבב עם בינה מלאכותית לעיבוד בתפוקה גבוהה יהווה סינרגיה גדולה קדימה במינוף היכולות ככלי חיזוי ופרה-קליניים לאונקולוגיה מדויקת ומותאמת אישית.
האבולוציה של ענפי רפואה שונים כדיסציפלינות ניסיוניות הייתה תלויה ביכולת לתמרן את אוכלוסיית התאים ואת תפקודי האיברים בתנאים מבוקרים1. שורשיה של יכולת זו נעוצים בזמינותם של מודלים מדידים המסוגלים לשחזר תהליכים המתרחשים בגופנו.
בעידן האימונותרפיה ופרופיל גנומי חד-תאי 2, הביולוגיה של הסרטן צריכה לנצל את המודלים המתפתחים במבחנה וחישוביים לחקר הממשק הגידולי-חיסוני בהקשר מרחבי-זמני תקין 2,3.
מיקרו-סביבהגידולית 4 (TME) היא רקמה מורכבת שבה תאים סרטניים מתקשרים ברציפות ומתפתחים באופן דינמי עם תאים אחרים (תאי מערכת החיסון, סטרומה ואנדותל) ושאינם תאיים (המטריצה החוץ תאית, ECM). האופי הדינמי של הנוף המורכב הזה מכתיב אם תאי מערכת החיסון משחקים כחברים או אויבים של תאים ממאירים, ובכך משפיע מאוד הן על התקדמות המחלה והן על התגובה לטיפול. כיום, מאמצים גדולים של אונקו-אימונולוגים, ביואינפורמטיקאים ומומחים לביולוגיה מערכתית מתכנסים כדי להתמודד עם המשמעות הקלינית של הטרוגניות סרטן 5,6, הן במרחב (כלומר, באזורים גידוליים נפרדים) והן בזמן (כלומר, בשלבי התקדמות גידול מובהקים)5,6, ולאפיין פנוטיפ סרטן ותאי חיסון ולתפקד ברמה של תא יחיד. כדוגמה לסינרגיה זו, טכניקות מתקדמות של ראייה ממוחשבת משמשות כיום באופן שגרתי למיפוי מרחבי של חדירת מערכת החיסון בדגימות היסטולוגיות 7,8.
בחזית המודלים הניסיוניים, המגשרים בין מחקרים בבעלי חיים לבין שיטות מסורתיות במבחנה, ההתקדמות במיקרופלואידיקה ובטכניקות של תרבית משותפת מעניקה גישה לסוגים שונים של מודלים תאיים מהונדסים מיקרו כגון אורגנואידים, מערכות מיקרו-פיזיולוגיות 9,10,11 (MPS) ואיברים על שבב12,13,14 (OOC). הם חולקים את התכונה המשותפת להתמקד במבט "התמונה הגדולה" של המערכות האקולוגיות הסלולריות ולהרחיב את הפוטנציאל במבחנה לשלוט בגורמים מיקרו-סביבתיים תוך ניצול מיקרוסקופ15 בעל תוכן גבוה וגישות עיבוד תמונה.
כיום, מערכות MPS ו- OOC חדישות החלו לכלול היבטים אימונולוגיים , המשלבים תת-סוגים שונים של תאים חיסוניים ברקמות קיימות ובתרביות משותפות, כדי לחקור ולמדוד מגוון תהליכים כמו מחלות דלקתיות, ריפוי פצעים, חסינות רירית ותגובה לרעלים או מוצרי מזון יומיומיים16. דגמי TME-on-a-chip 10,11,12,13,14,15,16,17, המשולבים גם עם מיקרו-כלים מתבלבלים 18,19,20,21, פותחו כדי לחקור אינטראקציות תלויות סוג תא, הפרעות פיזיקליות וכימיות והפעילות ציטוטוקסית של חדירת לימפוציטים22, כמו גם חומרים אימונומודולטוריים רלוונטיים מבחינה קלינית23.
כאן, אנו מספקים פרוטוקולים רב-תכליתיים, החל מטעינת תאים בשבבים ועד לכלי עיבוד תמונה, לניצול תרביות מיקרופלואידיות מתקדמות של גידולים וגידולים בדו-ממד (סעיף 1) ובתלת-ממד (סעיף 2)הגדרות 16, התואמות לניטור והדמיה דינמיים ורב-פרמטריים של24 פונקציות תאיות. זה מושג תוך שמירה על קלות השימוש והגמישות הן בניהול דגימות והן בניתוח נתונים, תוך ניצול תוכנת התוכנה החופשית של פיג'י וארגזי הכלים שלה25,26.
המכשיר המיקרופלואידי, המתואר בסעיף 1, נועד לבצע תרביות דו-ממדיות של סרטן דבק ותאים חיסוניים צפים. פלטפורמה זו אומתה למדידה חוץ גופית של התנהגות תאי מערכת החיסון בנוכחות מוטציות גנטיות27 ו/או ליקויים חיסוניים28. כאן, אנו מדגימים שלבים למעקב אחר תאי מערכת החיסון בתמונות שדה בהיר בהילוך מהיר, על ידי ניצול שיטה חצי-אוטומטית המבוססת על Trackmate (תוסף המיושם בתוכנת פיג'י). הליך זה מאפשר חילוץ של תיאורים קינמטיים של נדידת מערכת החיסון 29 ותגובה (כלומר, זמני אינטראקציה) כדי להתמקד בתאים סרטניים, מטופלים או לא עם גורמים למוות של תאים אימונוגניים27.
חשוב לציין כי פרמטרים אלה, המופקים מתמונות מסדרות זמן, ניתנים לעיבוד באמצעות מכונות מתמטיות מתקדמות. כדוגמה לפוטנציאל של גישה זו, הקבוצות שלנו פרסמו לאחרונה ניתוח המבוסס על שיטות מתמטיות מתהליכים סטוכסטיים ומכניקה סטטיסטית כדי למדל תכונות רשת תאית ולספק תיאור פרמטרי של התנהגות תאי מערכת החיסון (כלומר, הליכה אקראית מוטה או לא מתואמת, תנועה מתואמת מאוד או לא מתואמת30,31).
ההגדרה התלת-ממדית, המסופקת בחלק השני, מבוססת על פרוטוקול תרבית משותפת כדי ליצור מחדש TMEs מורכבים יותר של מערכת החיסון המשובצים בשני אזורי ג'ל עם שילובים שונים של סוגי תאים ותרופות באופן תחרותי. כאן, מתוארים שלבי עיבוד תמונה כדי למדוד, בנקודות זמן שונות, את החדירה של תאי חיסון מוכתמים בתאי מלנומה A375M אנושיים המעובדים בתוך מטריג'ל, כדי להעריך שילובים של חומרים אנטי-סרטניים32. קו A375M, קו תאים נגזר A375P המאופיין בפנוטיפ גרורתי מאוד נבחר כדי להעריך את יכולתם הגרורתית בנוכחות תאי חיסון32.
המודלים המתוארים יכולים להיות תואמים באופן מלא עם מקורות תאים שונים (מורין ובני אדם אימורטליזציה או קווי תאים ראשוניים, אורגנואידים, xenografts, בין היתר). במחקרים האחרונים של המעבדה שלנו, על ידי שילוב של מיקרוסקופ וידאו בתוכן גבוה עם ניתוח תמונה, הפריסה התלת-ממדית התחרותית יושמה כדי לחקור: i) תגובה חיסונית אנטי-גידולית (ציטוטוקסיות בתיווך תאים תלוית נוגדנים, ADCC) ולנתח את התפקיד של פיברובלסטים בעמידות לטיפול בטרסטוזומאב במודלים של סרטן שד HER2+ על שבב33; 2) פעולתם של תאים מיאלואידים (כלומר, מקרופאגים הקשורים לסרטן) במנגנוני התחמקות הגידול וגיוס תאי T34; iii) יעילותם של משטרים אימונותרפיים, המבוססים במיוחד על תאים דנדריטיים מותנים אינטרפרון-α (IFN-DCs), המעובדים עם תאי סרטן המעי הגס שטופלו בתרופות במטריצות קולגן, ולהעריך תנועה יעילה ואת אירועי הפאגוציטוזה הבאים35; iv) נדידה כימוטקטית של אאוזינופילים שמקורם במח עצם לעבר תאי מלנומה IL-33 שטופלו או לא טופלו36.
מודלים מתקדמים אלה יכולים לשמש חלונות תצפית להבנת תפקיד מרקם החיסון בגרורות סרטניות ובמנגנוני עמידות, אך נדרשים מאמצים לתרגם את הממצאים למרפאות, ובכך לסגור את הפער במחקר בסיסי37.
כתרחיש מתפתח, רתימת כוחה של מיקרוסקופיה אוטומטית בעלת תוכן גבוה בשילוב עם שימוש במיקרו-מערכות רלוונטיות יותר מבחינה פיזיולוגית פותחת אתגרים פוטנציאליים חדשים לטיפול, עיבוד ופרשנות של מאות, ואפילו אלפי, ג'יגה-בייט של נתונים רב-פרמטריים, שניתן להפיק מקמפיין ניסיוני יחיד. משמעות הדבר היא קשר ישיר של ניסויי OOC עם אלגוריתמים מבוססי בינה מלאכותית 38,39,40,41,42 (AI) הן לניתוח אוטומטי מתקדם, והן ליצירת תכונות שיכולות להזין בתורן מודלים סיליקו של יחסי גומלין בין סרטן למערכת החיסון 43, עם יישומים חדשים ומלהיבים באופק, כגון פיתוח מבחני סינון תרופות מנבאים 44.
זרם הולך ומתרחב של מאמצים מתמקד בעיצוב מודלים של מחלות במשותף עם אופטימיזציה של אסטרטגיות ליישום מסכי הפרעה בקנה מידה גדול עם קריאות multi-omics תא יחיד. זה ללא ספק יעזור לפיתוח, ובתקווה, ליישום הקליני, המלווה במידה מתאימה של סטנדרטיזציה של שיטה, של גישה אונקו-אימונולוגיה-על-שבב שיטתית כדי לקבל תובנות חדשות על הפרעות חיסוניות ומנגנוני הפצת סרטן.
1. תכנון שבבים לתאים דבקים וצפים בתרביות דו-ממדיות
הערה: פריסת התרבית המשותפת הדו-ממדית (איור 1A-C) מאופיינת בשלושה תאים (בגובה 100 מיקרומטר) המחוברים ביניהם באמצעות שתי קבוצות של מערכים מיקרו-ערוציים (500 x 12 x 10 מיקרומטר3, L×W×H). תא הביניים יוצר שני תאים סגורים ללא מוצא אשר חוסמים תאים חיסוניים צפים העולים על גדותיהם לאתר הגידול במהלך שלב ההעמסה 2.5. סוג התקן זה שימושי למדידות דו-ממדיות בזמן אמת של תנועתיות חד-תאית (דבקה או צפה), ושל אינטראקציות תא-תא 16,27,28,30,31. מחקר נדידת תאים טיפוסי (שנערך בין מספר שעות למספר ימים) משלב מיקרוסקופ תאים חיים עם אלגוריתמים לעיבוד תמונה45, על מנת לתרגם את רצפי התמונות הנרכשים לתכונות מספריות25. בהתבסס על דפוסי הנדידה, ניתן להעריך מספר אינדיקטורים ביופיזיים, כגון תזוזה ומהירות של תאים, כמו גם משך האינטראקציות בין תאי החיסון לתאי המטרה24.
2. מודל תלת ממדי של סרטן על שבב בבדיקה תחרותית
הערה: תכנון השבב התלת-ממדי, המתוארבאיור 4, מורכב מ-5 תאים עיקריים: אחד מרכזי לצריכת תאי מערכת החיסון הצפים, שני אזורים צדדיים להטמעת תאי גידול במטריצות הידרוג'ל (בגובה 150-250 מיקרומטר) ותאי זילוח מדיה. תאי החיסון ותאי הגידול מחוברים באמצעות שתי קבוצות של מערכים צרים של מיקרו-ערוצים (200×12×10 מיקרומטר3, L×W×H, איור 4E). באופן קבוע, מיקרו-עמודים של איזוצלות טרפזיות במרווחים של 100 מיקרומטר (כ-25-30 ממשקים עבור כל אזור ג'ל צדדי, איור 4C) פועלים כמחסומים לתמיסת ג'ל מוגבלת במהלך ההזרקה, תוך ניצול האיזון בין מתח פני השטח לכוחות נימים60,61 ומחברים אזורי גידול לשני תאי המדיה הצדדיים הנוספים כדי ליצור ממשק ג'ל-נוזל (איור 5). המאפיינים המפורטים של המבחן התחרותי התלת-ממדי מוצגים באיור 4. נדידה מועדפת של תאי מערכת החיסון לעבר שני תאי ההידרוג'ל המארחים תאי גידול שעברו טיפולים שונים ניתנת לניטור ולכימות. ניתן ליישם את הפריסה התחרותית המסוימת כדי לחקור שפע של פנוטיפים שונים של ביולוגיה של סרטן (למשל, עמידים לתרופות לעומת אגרסיביים, ראשוניים או גרורתיים, מגיבים לעומת לא מגיבים). בנוסף, ניתן לשלב בקלות את האזורים המשובצים בג'ל עם אוכלוסיות תאים שונות כדי ליצור מחדש TME הטרוגניים יותר, כולל רכיבי סטרומה (פיברובלסטים, תאי אנדותל)23 או כדי לדמות סביבה חיסונית34 ספציפית (למשל, מקרופאגים) לניתוח מנגנונים של עמידות לתרופות והתחמקות מגידולים.
הערה: צביעת קספז גרעינית ופעילה, באמצעות ערכות מסחריות לבדיקות חיות/מתות (למשל, Thermo Fisher Scientific, ריאגנטים אינקוציטים), ניתנת ליישום כדי להעריך אירועי מוות מיטוטי או אפופטוטי, כפי שדווח ב- Nguyen et al.33.
חדירה חיסונית של הגידול היא פרמטר של התגובה האנטי-סרטנית של המארח. גידולים הם הטרוגניים בהרכב, צפיפות, מיקום ומצב תפקודי של לויקוציטים חודרים, אשר אינטראקציות עם תאים סרטניים יכולות לעמוד בבסיס מידע רלוונטי מבחינה קלינית לחיזוי מהלך המחלה והתגובה לטיפול. במובן זה, טכנולוגיות מיקרופלואיד?...
השיטות המתוארות מנסות לעצב גישה כללית כדי לשחזר, עם מידת מורכבות ניתנת לשינוי, שני היבטים משמעותיים בתחום האונקו-אימונולוגיה, אשר יכולים להפיק תועלת מאימוץ מודלים רלוונטיים יותר במבחנה. הראשון נוגע לצד אוכלוסיית תאי הגידול, שם התמודדות עם מאפייני תא בודד עשויה להוביל לתיאור טוב יותר של ה?...
למחברים אין מה לחשוף. AS נתמך על ידי Fondazione Italiana per la Ricerca sul Cancro (AIRC, Start-Up 2016 #18418) ו- Ministero Italiano della Salute (RF_GR-2013-02357273). GS ו- FM נתמכים על ידי האגודה האיטלקית לחקר הסרטן (AIRC) מס '21366 ל- G.S.).
Name | Company | Catalog Number | Comments |
Cell culture materials | |||
50 mL tubes | Corning-Sigma Aldrich, St. Louis, MO | CLS430828 | centrifuge tubes |
5-aza-2'-deoxycytidine DAC | Millipore-Sigma; St. Louis, MO | A3656 | DNA-hypomethylating agent |
6-well plates | Corning-Sigma Aldrich, St. Louis, MO | CLS3506 | culture dishes |
75 cm2 cell culture treated flask | Corning, New York, NY | 430641U | culture flasks |
A365M | American Type Culture Collection (ATCC), Manassas, VA | CVCL_B222 | human melanoma cell line |
Doxorubicin hydrochloride | Millipore-Sigma; St. Louis, MO | D1515 | anthracycline antibiotic |
Dulbecco's Modified Eagle Medium DMEM | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECM0728L | Culture medium for SK-MEL-28 cells |
Dulbecco's Phosphate Buffer Saline w/o Calcium w/o Magnesium | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECB4004L | saline buffer solution |
Fetal Bovine Serum | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECS0180L | ancillary for cell culture |
Ficoll | GE-Heathcare | 17-1440-02 | separation of mononuclear cells from human blood. |
hemocytometer | Neubauer | Cell counter | |
Heparinized vials | Thermo Fisher Scientific Inc., Waltham, MA | Vials for venous blood collection | |
interferon alpha-2b | Millipore-Sigma; St. Louis, MO | SRP4595 | recombinant human cytokine |
L-Glutamine 100X | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECB3000D | ancillary for cell culture |
Liquid nitrogen | |||
Lympholyte cell separation media | Cedarlane Labs, Burlington, Canada | Separation of lymphocytes by density gradient centrifugation | |
Lymphoprep | Axis-Shield PoC AS, Oslo, Norway | ||
Matrigel | Corning, New York, NY | 354230 | growth factor reduced basement membrane matrix |
MDA-MB-231 | American Type Culture Collection (ATCC), Manassas, VA | HTB-26 | human breast cancer cell line |
Penicillin/ Streptomycin 100X | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECB3001D | ancillary for cell culture |
Pipet aid | Drummond Scientific Co., Broomall, PA | 4-000-201 | Liquid handling |
PKH26 Red Fluorescent cell linker | Millipore-Sigma; St. Louis, MO | PKH26GL | red fluorescent cell dye |
PKH67 Green fluorescent cell linker | Millipore-Sigma; St. Louis, MO | PKH67GL | green fluorescent cell dye |
RPMI-1640 | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECM2001L | Culture medium for MDA-MB-231 cells |
serological pipettes (2 mL, 5 mL, 10 mL, 25 mL, 50 mL) | Corning- Millipore-Sigma; St. Louis, MO | CLS4486; CLS4487; CLS4488; CLS4489; CLS4490 | Liquid handling |
sterile tips (1-10 μL, 10-20 μL, 20-200 μL, 1000 μL) | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECTD00010; ECTD00020; ECTD00200; ECTD01005 | tips for micropipette |
Timer | |||
Trypan Blue solution | Thermo Fisher Scientific Inc., Waltham, MA | 15250061 | cell stain to assess cell viability |
Trypsin | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECM0920D | dissociation reagent for adherent cells |
Cell culture equipment | |||
EVOS-FL fluorescence microscope | Thermo Fisher Scientific Inc., Waltham, MA | Fluorescent microscope for living cells | |
Humified cell culture incubator | Thermo Fisher Scientific Inc., Waltham, MA | 311 Forma Direct Heat COIncubator; TC 230 | Incubation of cell cultures at 37 °C, 5% CO2 |
Juli Microscope | Nanoentek | ||
Laboratory refrigerator (4 °C) | FDM | ||
Laboratory Safety Cabinet (Class II) | Steril VBH 72 MP | Laminar flow hood | |
Optical microscope | Zeiss | ||
Refrigerable centrifuge | Beckman Coulter | ||
Thermostatic bath | |||
Microfabrication materials | |||
3-Aminopropyl)triethoxysilane (Aptes) | Sigma Aldrich | A3648 | silanizing agent for bonding PDMS to plastic coverslip |
Chromium quartz masks / 4"x4", HRC / No AZ | MB W&A, Germany | optical masks for photolithography | |
Glass coverslip, D 263 M Schott glass, (170 ± 5 µm) | Ibidi, Germany | 10812 | |
Hydrogen Peroxide solution 30% | Carlo Erba Reagents | 412081 | reagents for piranha solution |
Methyl isobutyl ketone | Carlo Erba Reagents | 461945 | PMMA e-beam resist developer |
Microscope Glass Slides (Pack of 50 slides) 76.2 mm x 25.4 mm | Sail Brand | 7101 | substrates for bonding chips |
Miltex Biopsy Punch with Plunger, ID 1.0mm | Tedpella | dermal biopsy punches for chip reservoirs | |
PMMA 950 kDa | Allresist,Germany | AR-P. 679.04 | Positive electronic resists for patterning optical masks |
Polymer untreated coverslips | Ibidi, Germany | 10813 | substrates for bonding chips |
Prime CZ-Si Wafer, 4”, (100), Boron Doped | Gambetti Xenologia Srl, Italy | 30255 | |
Propan-2-ol | Carlo Erba Reagents | 415238 | |
Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) | Sigma Aldrich | 484431-4L | SU-8 resists developer |
SU-8 3005 | Micro resist technology,Germany | C1.02.003-0001 | Negative Photoresists |
SU-8 3050 | Micro resist technology,Germany | C1.02.003-0005 | Negative Photoresists |
Suite of Biopunch, ID 4.0 mm, 6.0 mm, 8.0 mm | Tedpella | 15111-40, 15111-60, 15111-80 | dermal biopsy punches for chip reservoirs |
Sulfuric acid 96% | Carlo Erba Reagents | 410381 | reagents for piranha solution |
SYLGARD 184 Silicone Elastomer Kit | Dowsil, Dow Corning | 11-3184-01 | Silicone Elastomer (PDMS) |
Trimethylchlorosilane (TMCS) | Sigma Aldrich | 92360-100ML | silanizing agent for SU-8 patterned masters |
Microfabrication equipment | |||
100 kV e-beam litography | Raith-Vistec EBPG 5HR | ||
hotplate | |||
Optical litography system | EV-420 double-face contact mask-aligner | ||
Reactive Ion Etching system | Oxford plasmalab 80 plus system | ||
Vacuum dessicator |
Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article
Request PermissionThis article has been published
Video Coming Soon
Copyright © 2025 MyJoVE Corporation. All rights reserved