重度不足減衰フリンジフィールド静電MEMSアクチュエータに時間改善スイッチング用リアルタイムDC-ダイナミックバイアス方式

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11:44 min

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August 15th, 2014

DOI :

10.3791/51251-v

August 15th, 2014

•

Joshua Small¹, Adam Fruehling², Anurag Garg³, Xiaoguang Liu¹, Dimitrios Peroulis³

¹Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, Davis, ²Digital Light Projection (DLP) Technology Development, Texas Instruments, ³Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering, Purdue University

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0:05

Title

1:08

Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams

8:28

Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing

10:23

Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge

11:16

Conclusion

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