JoVE Journal

Engineering

Aby wyświetlić tę treść, wymagana jest subskrypcja JoVE.

live

Speed

×

MEDIA_ELEMENT_ERROR: Format error

Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators

The robust device design of fringing-field electrostatic MEMS actuators results in inherently low squeeze-film damping conditions and long settling times when performing switching operations using conventional step biasing. Real-time switching time improvement with DC-dynamic waveforms reduces the settling time of fringing-field MEMS actuators when transitioning between up-to-down and down-to-up states.

Używamy plików cookie, aby ulepszyć Twoje wrażenia z korzystania z naszej witryny.

Kontynuując korzystanie z naszej witryny lub klikając „Kontynuuj”, wyrażasz zgodę na akceptację naszych plików cookie.