Real-Time DC-dinâmico método de polarização para a mudança de melhoria no tempo em Severamente subamortecido Fringing-campo eletrostático MEMS Atuadores

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•

11:44 min

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August 15th, 2014

DOI :

10.3791/51251-v

August 15th, 2014

•

Joshua Small¹, Adam Fruehling², Anurag Garg³, Xiaoguang Liu¹, Dimitrios Peroulis³

¹Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, Davis, ²Digital Light Projection (DLP) Technology Development, Texas Instruments, ³Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering, Purdue University

Resumo

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F sica

Edi o 90

sistemas microeletromec nicos

atuadores

tempo de comuta o

tempo de estabiliza o

os dispositivos eletrost ticos

micro usinagem

dispositivos de filme fino

Capítulos neste vídeo

0:05

Title

1:08

Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams

8:28

Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing

10:23

Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge

11:16

Conclusion

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