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Real-Time DC-dynamique Méthode de sollicitation pour Temps de commutation amélioration de franges champ gravement sous-amorti électrostatiques MEMS Actionneurs

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11:44 min

•

August 15th, 2014

DOI :

10.3791/51251-v

August 15th, 2014

•

Joshua Small¹, Adam Fruehling², Anurag Garg³, Xiaoguang Liu¹, Dimitrios Peroulis³

¹Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, Davis, ²Digital Light Projection (DLP) Technology Development, Texas Instruments, ³Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering, Purdue University

Résumé

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Physique

Num ro 90

les syst mes micro lectrom caniques

actionneurs

temps de commutation

temps de stabilisation

dispositifs lectrostatiques

le micro usinage

dispositifs couches minces

Chapitres dans cette vidéo

0:05

Title

1:08

Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams

8:28

Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing

10:23

Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge

11:16

Conclusion

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